KR970063396A - 불순물 확산장치의 로더부 - Google Patents

불순물 확산장치의 로더부 Download PDF

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KR970063396A
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김광호
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

본 발명은 실리콘 웨이퍼를 확산시키기 위한 확산로에 들어간 로더부를 구성하는 부품인 가스켓 재질을 테프론으로 변경하여 로더부의 튜브와 스티프 도어 사이를 완전하게 밀봉하고 더불어 완충 역할도 할 수 있고 가스켓을 재사용할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 불순물 확산 장치의 로더부에 관한 것이다.

Description

불순물 확산장치의 로더부
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 로더부의 분해 사시도.

Claims (1)

  1. 스티프 도어(1)와, 가스켓(2), 도어 플레이트(3), 가스켓(4), 분할 패킹(5)을 개제하여 상기 스티프 도어와 결합되는 분할 링(6) 및 상기 스트프 도어의 전면에 결합된 헤드(20)로 이루어진 불순물 확산 장치로 로더부에 있어서, 상기 가스켓(2,4)의 재질은 테프론(C2F4)인 것을 특징으로 하는 불순물 확산 장치의 로더부.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR20230144487A (ko) 2022-04-07 2023-10-16 서한일 더블 스크류 날을 이용한 내용물 정량 공급장치

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