KR970063402A - 방진장치 - Google Patents

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Abstract

설치면에 대하여 장치를 지지하고, 장치의 진동을 제어하기 위한 방진마운트가 제공되어 있다. 이러한 방진마운트에는 설치면에 접속된 제1단부 및 설치면에 대하여 장치를 지지할 수 있게 장치에 고정되어 있는 제2단부가 제공되어 있고, 장치로부터 제1작용선에 따라 가하여지는 힘을 받는 지지마운트와 이러한 지지마운트에 인접하여 있고, 설치면에 접속된 제1단부와 장치와 접촉되어 있는 제2단부가 제공되어 있고, 제1작용선에 일치하는 제2작용선에 따라, 진동을 제어하기 위한 제어력을 장치에 가할 수 있게 이동가능한 액츄에이터가 포함되어 있다.

Description

방진장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제9도는 본 발명의 제6실시예에 의한 방진장치의 동작을 설명하는 블록도.

Claims (31)

  1. 적어도 6 자유도를 가진 물체의 진동을 검출하기 위한 진동검출기로서, 물체의 제1기준점의 진동을 표시하는 제1신호를 복수의 제1방향으로 출력하는 제1센서, 물체의 제2기준점의 진동을 표시하는 제2신호를 복수의 제2방향으로 출력하는 제2센서, 물체의 제3기준점의 진동을 표시하는 제3신호를 적어도 하나의 제3방향으로 출력하는 제3센서가 포함되어 있고, 제1, 제2 및 제3기준점이 하나의 평면의 범위를 한정하고, 복수의 제1방향, 복수의 제2방향 및 적어도 하나의 제3방향이 적어도 6 자유도내의 물체의 진동을 검출할 수 있게 선택되고, 연산부가 진동을 검출하기 위하여, 제1, 제2 및 제3신호를 수신할 수 있게 제1, 제2 및 제3센서에 연결되어 있고, 연산부가 적어도 6 자유도 내의 물체의 진동을 제1, 제2 및 제3신호로부터 유도하는 진동검출기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 물체의 진동이 6 자유도를 가지며, 상기 제1신호가 3개의 독립된 선형방향의 진동을 나타내고, 상기 제2신호가 2개의 독립된 선형방향의 진동을 표시하고, 상기 제3신호가 일방향의 진동을 표시하는 진동검출기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 물체의 진동이 6 자유도를 가지며, 상기 제1, 제2 및 제3신호가 각각 2개의 독립된 선형방향의 진동을 표시하는 진동검출기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3센서가 각각 상기 제1, 제2 및 제3기준점의 변위를 검출하는 진동검출기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3센서가 각각 상기 제1, 제2 및 제3기준점의 속도를 검출하는 진동검출기.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3센서가 각각 상기 제1, 제2 및 제3기준점의 가속도를 검출하는 진동검출기.
  7. 설치면에 대하여 장치를 지지하고, 장치의 진동을 제어하기 위한 방진마운트로서, - 설치면에 연결되어 있는 제1단부와 설치면에 대하여 장치를 지지할 수 있도록 장치에 고정되어 있는 제2단부가 제공되어 있고, 장치로부터 제1작용선에 따라 힘을 받아들이는 지지마운트, - 상기 지지마운트에 인접하여 있고, 설치면에 연결된 제1단부와 장치와 접촉하여 있는 제2단부가 제공되어 있고, 진동을 제어하기 위한 제어력을 제1작용선과 일치하는 제2작용선에 따라, 장치에 가할 수 있게 이동가능한 액츄에이터 등이 포함되어 있는 방진마운트.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1작용선의 장치상의 중력에 대하여 평행인 방진마운트.
  9. 제7항에 있어서, 상기 액츄에이터에 음성코일모터가 포함되어 있는 방진마운트.
  10. 제7항에 있어서, 상기 지지마운트에 스프링부재가 포함되어 있는 방진마운트.
  11. 제7항에 있어서, 상기 지지마운트에 점성부재가 포함되어 있는 방진마운트.
  12. 제7항에 있어서, 상기 액츄에이터에, - 상기 지지마운트에 인접하여 있고, 각각 설치면에 고정된 고정체와 장치에 접촉하는 가동체를 포함하는 복수의 작동장치, - 제1작용선으로부터 변위된 추력중심선에 장치에 힘을 가할 수 있도록 작동장치의 가동체를 제어할 수 있게 각 작동장치에 연결되어 있고, 제1작용선에 따라 힘을 가하는 가동효과(cumulative effect)를 가지는 액츄에이터 제어기 등이 포함되어 있는 방진마운트.
  13. 제12항에 있어서, 상기 작동장치에 음성코일모터가 포함되어 있는 방진마운트.
  14. 제12항에 있어서, 상기 추력중심선이 제1작용선으로부터 일정한 각도로 변위되는 방진마운트.
  15. 제12항에 있어서, 상기 추력중심선이 제1작용선으로부터 가로방향으로 변위되는 방진마운트.
  16. 제12항에 있어서, 상기 지지마운트에 스프링부재가 포함되어 있는 방진마운트.
  17. 제12항에 있어서, 상기 지지마운트에 점성부재가 포함되어 있는 방진마운트.
  18. 설치면에 대하여 장치를 지지하고, 적어도 6 자유도를 가진 장치의 진동을 억제하기 위한 방진장치로서, - 설치면에 접속되어 있는 제1단부와 설치면에 대하여 장치를 지지할 수 있게 설치판에 고정되어 있는 제2단부가 제공되어 있고, 장치로부터 제1작용선에 따라 가하여지는 힘을 받는 지지마운트와 이러한 지지마운트에 인접하여 있고, 설치면에 접속되어 있는 제1단부 및 장치와 접촉하여 있는 제2단부가 제공되어 있고, 진동을 억제하기 위한 제어력을 상기 제1작용선과 일치하는 제2작용선에 따라, 장치에 가할 수 있게 이동가능한 액츄에이터가 포함되어 있는 적어도 3개의 방진마운트, - 장치의 진동을 표시하는 진동신호를 출력하는 복수의 센서, - 적어도 6 자유도내의 장치의 운동을 도출하기 위하여 진동신호를 수신할 수 있게 상기 복수의 센서에 연결되어 있고, 진동신호에 따라 액츄에이터의 제어력을 제어하기 위하여 액츄에이터와 통하여 있는 제어기 등이 포함되어 있는 방진장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 복수의 센서에, 장치의 제1기준점의 진동을 표시하는 제1진동신호를 복수의 제1방향으로 출력하는 제1센서, 장치의 제2기준점의 진동을 표시하는 제2진동신호를 복수의 제2방향으로 출력하는 제2센서, 장치의 제3기준점의 진동을 표시하는 제3진동신호를 적어도 하나의 제3방향으로 출력하는 제3센서가 포함되어 있고, 상기 제1, 제2 및 제3기준점이 하나의 평면의 범위를 한정하고, 상기 복수의 제1 및 제2방향과 적어도 하나의 제3방향이 적어도 6 자유도내의 장치의 진동을 검출할 수 있게 선택되고, 제어기가 진동을 검출하기 위하여 상기 제1, 제2 및 제3진동신호를 수신할 수 있게 상기 제1, 제2 및 제3센서에 연결되어 있고, 제어기가 상기 제1, 제2 및 제3신호로 부터 적어도 6 자유도내의 장치의 진동을 도출하는 방진장치.
  20. 방진마운트에 의하여 지지되고, 예정된 감쇠계수와 스프링상수를 가진 물체의 진동을 억제하기 위한 방법으로서, - 예정된 힘을 물체에 가하는 단계, - 예정된 힘에 응답하여 생성되는 물체의 운동을 검출하는 단계, - 방진마운트의 감쇠계수 및 스프링상수와 예정된 힘에 대응하여 생성되는 물체의 검출된 운동으로부터 물체의 기계적 상수를 도출하는 단계, - 물체의 진동을 모니터하는 단계, - 물체의 진동을 억제하기 위하여, 물체의 모니터된 진동과 도출된 기계적 상수에 따라 물체에 제어력을 가하는 단계 등이 포함되어 있는 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 힘을 가하는 단계에 예정된 힘을 순간적으로 물체에 가하는 단계가 포함되어 있는 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 힘을 가하는 단계에 물체의 예정된 범위 및 속도를 생성하는 단계가 포함되어 있는 방법.
  23. 제20항에 있어서, 상기 검출하는 단계에 물체의 변위와 가속도를 검출하는 단계가 포함되어 있는 방법.
  24. 제20항에 있어서, 상기 모니터링 단계에 물체의 변위와 가속도를 모니터하는 단계가 포함되어 있는 방법.
  25. 제20항에 있어서, 상기 힘을 가하는 단계에 예정된 힘을 물체의 제1점에서 물체에 가하는 단계가 포함되어 있고, 상기 검출하는 단계에 예정된 힘에 대응하여 생성되는 물체의 운동을 물체의 제2점에서 검출하는 단계가 포함되어 있고, 상기 모니터링 단계에 물체의 제1점에서 물체의 진동을 모니터하는 단계가 포함되어 있고, 상기 힘을 가하는 단계에, 물체의 진동을 억제하기 위하여, 물체의 모니터된 진동과 도출된 기계적 상수에 따라, 물체의 제2점에서, 제어력을 물체에 가하는 단계가 포함되어 있는 방법.
  26. 제20항에 있어서, 상기 힘을 가하는 단계에, 예정된 힘을 물체의 가하기 위하여, 액츄에이터를 물체의 제1점에서 물체에 접촉되게 하는 단계가 포함되어 있고, 상기 검출하는 단계가 예정된 힘에 대응하여 생성된 물체의 운동을 물체의 제2점에서 검출하는 단계가 포함되어 있고, 상기 모니터링 단계에 물체의 진동을 물체의 제2점에서 모니터하는 단계가 포함되어 있고, 상기 힘을 가하는 단계에 물체의 모니터된 진동과 몸체의 진동을 억제하기 위하여 도출된 기계적 상수에 따라, 제어력을 물체에 가하기 위하여, 액츄에이터를 물체의 제1점에서 물체에 접촉되게 하는 단계가 포함되어 있는 방법.
  27. 제26항에 있어서, 상기 힘을 가하는 단계에, 물체의 도출된 기계적 상수에 따라, 액츄에이터를 작동시키기 위한 파라미터를 구하는 단계와 물체의 모니터된 진동과 물체의 진동을 억제하기 위하여 도출된 파라미터에 따라, 제어력을 물체에 가하기 위하여, 액츄에이터를 물체의 제1점에서 물체에 접촉되게 하는 단계가 포함되어 있는 방법.
  28. 제27항에 있어서, 상기 파라미터에 액츄에이터의 이득이 포함되어 있는 방법.
  29. 제20항에 있어서, 상기 물체에 전기기기가 포함되어 있고, 이러한 전기기기에 전력을 접속시키는 단계가 더 포함되어 있는 방법.
  30. 설치면 위에 설치된 물체의 진동을 억제하기 위한 방진장치로서, - 설치면상에 배치되어 있는 제1단부와 설치면 위의 물체를 지지하기 위하여 물체와 접촉하여 있는 제2단부가 제공되어 있고, 예정된 스프링상수와 감쇠계수를 가진 복수의 방전마운트, - 예정된 힘을 물체에 가하는 복수의 제1액츄에이터, - 예정된 힘에 대응하여 생성되는 물체의 운동을 검출하는 복수의 제1센서, - 상기 제1액츄에이터 및 제1센서와 통하여 있고, 방진마운트의 감쇠계수 및 스프링상수와 예정된 힘에 대응하여 생성되는 물체의 검출된 운동으로부터 물체의 기계적 상수를 도출하는 연산부, - 물체의 진동을 모니터하는 복수의 제2센서, - 물체의 모니터된 진동과 진동을 억제하기 위하여 도출된 물체의 기계적 상수에 따라, 제어력을 물체에 가하는 복수의 제2엑츄에이터 등이 포함되어 있는 방진장치.
  31. 제29항에 있어서, 상기 제1 및 제2엑츄에이터가 동일한 액츄에니터이고, 상기 제1 및 제2센서가 동일한 센서인 방진장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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