KR970054409A - 반도체 소자의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 MOSFET의 제조방법에 관한 것으로서, 도우핑된 폴리실리콘의 디글레이즈 불량 및 포토마스크 작업시에 생긴 폴리실리콘의 불균일한 자연 산화막을 제거할 수 있으면서도 소자의 고집적화를 가능하게 하는 것을 목적으로 한다. 반도체 기판상의 인이 도우핑된 폴리실리콘상에 감광막 패턴을 형성한 후, HF퓨움(fume)으로 사전에치하여 불균일 자연 산화막을 제거하고, 린스하고, 스핀드라이시키고, HF수증기를 감광막 패턴이 형성되지 않은 노출 부위에 도우프 한다. 그런다음, 감광막 패턴의 형태로 식각을 실시한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 (가) 내지 (마)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 소자의 제조방법을 공정 순서적으로 설명하기 위한 반도체 소자의 요부 단면도이다.
Claims (2)
- 반도체 기판상의 인이 도우핑된 폴리실리콘을 디글레이즈(deglaze)시키는 단계; 상기 폴리실리콘상에 감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 폴리실리콘상의 감광막 패턴이 형성되지 않는 노출 부위를 HF퓨움(fume)으로 사전에치하여 불균일 자연 산호막을 식각하고, 린스하고, 스핀드라이시킨 후 HF 수증기를 도우프하는 단계; 상기의 감광막 패턴 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, HF 퓨움에 의한 사전에치시 불균일 자연 산화막의 에치 타켓이 500A 이상인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950046259A KR970054409A (ko) | 1995-12-02 | 1995-12-02 | 반도체 소자의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950046259A KR970054409A (ko) | 1995-12-02 | 1995-12-02 | 반도체 소자의 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970054409A true KR970054409A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66593558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950046259A KR970054409A (ko) | 1995-12-02 | 1995-12-02 | 반도체 소자의 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970054409A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101413303B1 (ko) * | 2014-03-18 | 2014-06-30 | 주식회사 디에스케이 | 선박용 일체형 유수분리기용 필터 |
-
1995
- 1995-12-02 KR KR1019950046259A patent/KR970054409A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101413303B1 (ko) * | 2014-03-18 | 2014-06-30 | 주식회사 디에스케이 | 선박용 일체형 유수분리기용 필터 |
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