KR970054349A - 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법 - Google Patents
대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 불순물이 주입된 실리콘 기판(1)상에 불순물이 도핑된 폴리실리콘막(2)을 증착한 후 상기 폴리실리콘막(2)상에 제1절연막(3)을 형성하는 단계; 상기 제1절연막(3) 및 폴리실리콘막(2)을 일정크기로 패턴하는 단계; 전체구조 상부에 제2절연막을 도포한 후 전면식각하여 상기 패턴된 폴리실리콘막(2) 및 제1절연막(3)의 측벽에 절연막 스페이서(4)를 형성하는 단계; 상기 노출된 실리콘 기판(1)상에 불순물을 주입하여 제1불순물 주입 영역(5)를 형성하는 단계; 및 상기 제1절연막(3), 폴리실리콘막(2), 절연막 스페이서(4), 상기 제1불순물 주입 영역(5)의 일부를 도포하는 감광막 패턴(6) 형성한 후 상기 노출된 실리콘 기판(1) 상에 불순물을 주입하여 제2불순물 주입 영역(7)을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 따른 바이폴라 트랜지스터의 구조도.
Claims (4)
- 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법에 있어서, 불순물이 주입된 실리콘 기판 상에 불순물이 도핑된 폴리실리콘막을 증착한 후 상기 폴리실리콘막 상에 제1절연막을 형성하는 단계; 상기 제1절연막 및 폴리실리콘막을 일정크기로 패턴하는 단계; 전체구조 상부에 제2절연막을 도포한 후 전면식각하여 상기 패턴된 폴리실리콘막 및 제1절연막의 측벽에 절연막 스페이서를 형성하는 단계; 상기 노출된 실리콘 기판 상에 불순물을 주입하여 제1불순물 주입영역을 형성하는 단계; 및 상기 제1절연막, 폴리실리콘막, 절연막 스페이서, 상기 제1불순물주입 영역의 일부를 도포하는 감광막 패턴 형성한 후 상기 노출된 실리콘 기판 상에 불순물을 주입하여 제2불순물 주입 영역을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1불순물 주입 영역에 주입되는 불순물은 보론 이온인 것을 특징으로 하는 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제2불순물 주입 영역에 주입되는 불순물은 As이온인 것을 특징으로 하는 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 폴리실리콘막은 고농도 n타입 불순물이 주입되는 것을 특징으로 하는 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950055944A KR970054349A (ko) | 1995-12-23 | 1995-12-23 | 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950055944A KR970054349A (ko) | 1995-12-23 | 1995-12-23 | 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970054349A true KR970054349A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66617919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950055944A KR970054349A (ko) | 1995-12-23 | 1995-12-23 | 대칭형 바이폴라 트랜지스터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970054349A (ko) |
-
1995
- 1995-12-23 KR KR1019950055944A patent/KR970054349A/ko not_active Application Discontinuation
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