KR970054250A - 마스크 롬의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 마스크 롬(mask ROM) 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 게이트 산화막의 질을 확보하고, 모빌리티 특성이 우수한 마스크 롬을 형성할 수 있는 마스크 롬 제조방법에 관한 것으로, 마스크 롬의 컴펜세이션 트랜지스터의 제조방법에 있어서, 반대 타입의 이온 주입 공정시 마스크 패턴을 형성한 다음 이온 주입 공정을 실시하므로써, 게이트 산화막의 질을 확보하고, 채널 전체를 P 타입화 하지 않고, 소오스, 드레인 영역의 소정 부분에만 P 타입화 하여 소자의 모빌리티 특성을 확보하므로써, 마스크 롬의 질을 향상시킬 수 있는 마스크 롬 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 (가) 내지 (다)는 본 발명의 마스크 롬 제조방법 중 컴펜세이션 트랜지스터의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.
Claims (2)
- 소자 분리 영역이 구비된 전도성을 띤 반도체 기판상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 산화막 상부에 워드라인을 형성하는 단계; 상기 노출된 기판 영역에 LDD 불순물을 이온 주입하는 단계; 상기 결과물 상부에 산화막을 형성하고, 이를 블랭킷 식각하여 워드 라인 측벽 스페이서를 형성하는 단계; 상기 노출된 기판에 기판 타입과 반대 타입의 고농도 불순물을 이온 주입하는 단계; 상기 결과물의 워드 라인 상부와 고농도 불순물이 이온 주입된 영역 상부에 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스크 패턴에 의하여 노출된 부분에 기판과 같은 타입의 불순물을 이온 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 롬 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 마스크 패턴으로 노출된 기판부에 LDD 불순물을 이온 주입하는 단계에서, 상기 이온 주입시 틸트를 주어 주입하는 것을 특징으로 하는 마스크 롬 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR100763556B1 (ko) * | 2006-07-10 | 2007-10-04 | 삼성전자주식회사 | 마스크롬 셀, 이를 포함하는 노아형 마스크롬 소자 및 그제조 방법. |
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