KR970052624A - 웨이퍼의 건조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 세정후 그 웨이퍼를 건조하는 웨이퍼의 건조장치에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 IPA증기를 발생하는 제1챔버(20)를 구비한 IPA증기발생부와; 상기 IPA증기발생수단과는 IPA공급라인을 통하여 연결되고, 상기 IPA증기를공급받아 웨이퍼를 건조하는 제2챔버(40)를 구비한 웨이퍼건조부를 구비한다. 상술한 웨이퍼의 건조장치에 의하면, 두개의 챔버(20,40)에 의해서 IPA증기발생공정과 건조공정을 별도로 실행시킬 수 있기 때문에, 하나의 챔버내에서 IPA용액공급-가열-건조-응축 냉각하는 순환에 의해서 발생될 수 있는 파티클의 발생을 완전히 제거할 수 있다. 또한, 제2챔버에서 웨이퍼의 건조공정이 온도변화없이 실행되기 때문에 웨이퍼에 여러 형태의 결함을 유발시키는 문제점을 방지할 수 있다. 따라서, 양호한 웨이퍼의 건조에 의해서 반도체장치의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

웨이퍼의 건조장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼의 건조장치의 구조를 보여주고 있는 단면도.

Claims (6)

  1. IPA(isopropyle alcohol)증기를 이용하여 웨이퍼를 건조하는 웨이퍼의 건조장치에 있어서, 상기 IPA증기를 발생하는 제1챔버(20)를 구비한 IPA증기발생수단과; 상기 IPA증기발생수단과는 IPA공급라인을 통하여 연결되고, 상기 IPA증기를 공급받아 웨이퍼를 건조하는 제2챔버(40)를 구비한 웨이퍼건조수단을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 IPA증가발생수단은 상기 제1챔버(20)의 저부에 설치되어 있고 그리고 상기 제1챔버(20)내에 공급라인(22)을 통하여 주입된 IPA용액을 가열하여 IPA증기를 발생시키는 가열부(23)와, 상기 제1챔버(20)내의 IPA증기압이 일정압력이상일 때 그 IPA증기압을 자동으로 배출시키는 압력게이지(25)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼건조수단은 상기 제2챔버(40)에 설치되어 있되, IPA증기의 유입전에 상기 제2챔버(40)내의 압력을 소정압력이하로 감압시키고 또한 웨이퍼의 건조완료후 N2가스를 유입시키면서 상기 제2챔버내의 IPA증기를 배출시키는 감압/배출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼건조수단은 상기 제2챔버(40)내에 IPA농도를 검출하는 센서(63)를 부가하여, 상기 감압/배출수단에서 상기 센서(63)에 의해서 IPA성분이 검출되지 않을 때까지 계속해서 IPA증기를 배출시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 감압/배출수단을 배출용 밸브(51)와 이 밸브(51)의 개폐에 따라 작동하는 감압펌프(52)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1챔버(20)는 IPA증기를 응축시켜서 외부로 노출되지 않도록 상부에 설치된 냉각라인(24)을 부가하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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