CN106016977B - 干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种干燥装置，属于显示屏制造领域。所述干燥装置包括：第一腔体、第二腔体和管道，管道两端分别与第一腔体、第二腔体相连通，管道能够导通或关断，当管道关断时，第一腔体内的气压大于第二腔体内的气压；当管道导通时，在第一腔体内的气压与第二腔体内的气压的作用下，第一腔体内能够产生气流。本发明解决了产生气流需要耗费大量的电能，能耗较大的问题，减少了产生气流所需的能耗。本发明用于显示屏的制造。

Description

干燥装置

技术领域

本发明涉及显示屏制造领域，特别涉及一种干燥装置。

背景技术

随着显示屏制造技术的发展，显示屏得到了广泛的应用。在制造显示屏时，通常需要对衬底基板进行多次干燥处理。

相关技术中，为了去除衬底基板表面的小颗粒(如灰尘)，通常需要对衬底基板进行清洗，并在清洗完衬底基板后，使用风刀和一个干燥装置(如鼓风机)依次对衬底基板表面进行干燥处理，去除衬底基板表面的水分子。示例的，在对衬底基板表面进行干燥处理时，首先，可以使用风刀对衬底基板表面进行第一次干燥处理，去除衬底基板表面的一部分水分子，如：使用风刀对衬底基板表面吹风；然后，可以使用鼓风机对衬底基板表面进行第二次干燥处理，如：控制鼓风机中的电机带动鼓风机中的叶片转动，从而使得衬底基板表面有气流流过，且气流在流过衬底基板表面时，带走衬底基板表面的另一部分水分子。

由于相关技术中，在对衬底基板表面进行第二次干燥处理时，衬底基板表面的气流是由于鼓风机中电机带动叶片的转动产生的，因此，产生气流需要耗费大量的电能，能耗较大。

发明内容

为了解决产生气流需要耗费大量的电能，能耗较大的问题，本发明提供了一种干燥装置。所述技术方案如下：

提供了一种干燥装置，所述干燥装置包括：第一腔体、第二腔体和管道，所述管道两端分别与所述第一腔体、所述第二腔体相连通，所述管道能够导通或关断，

当所述管道关断时，所述第一腔体内的气压大于所述第二腔体内的气压；当所述管道导通时，在所述第一腔体内的气压与所述第二腔体内的气压的作用下，所述第一腔体内能够产生气流。

可选的，所述管道内填充有干燥过滤块。

可选的，所述干燥装置还包括抽真空器，

所述抽真空器连接所述第二腔体，用于控制所述第二腔体内的气压小于所述第一腔体内的气压。

可选的，所述干燥装置还包括加热器，所述加热器用于提高所述第二腔体内的温度。

可选的，所述第一腔体包括m个第一子腔体，所述第二腔体包括n个第二子腔体，所述m和所述n均为大于或等于1的整数，

所述管道的第一端分别与所述m个第一子腔体中的每个第一子腔体连通，所述管道的第二端分别与所述n个第二子腔体中的每个第二子腔体连通。

可选的，所述管道包括中心子管道、m个第一子管道和n个第二子管道，

所述中心子管道的侧壁上设置有贯穿所述中心子管道侧壁的m个第一开口，以及贯穿所述中心子管道侧壁的n个第二开口，所述中心子管道内填充有干燥过滤块；

所述m个第一子管道的第一端与所述m个第一子腔体一一对应连通，所述m个第一子管道的第二端与所述m个第一开口一一对应连通；

所述n个第二子管道的第一端与所述n个第二开口一一对应连通，所述n个第二子管道的第二端与所述n个第二子腔体一一对应连通。

可选的，所述m个第一子管道中的每个第一子管道的第一端设置有第一开关，每个第一开关用于控制第一子管道的第一端的导通或关断；

所述n个第二子管道中的每个第二子管道的第二端设置有第二开关，每个第二开关用于控制第二子管道的第二端的导通或关断。

可选的，所述m个第一子管道中的每个第一子管道的第二端设置有第三开关，每个第三开关用于控制第一子管道的第二端的导通或关断；

所述n个第二子管道中的每个第二子管道的第一端设置有第四开关，每个第四开关用于控制第二子管道的第一端的导通或关断。

可选的，所述干燥装置还包括控制器，

所述控制器与所述干燥装置中的每个开关相连接，用于控制所述每个开关的开启与闭合。

可选的，当所述管道关断时，所述第一腔体内的气压为标准大气压，所述第二腔体内的气压小于或等于1000帕。

可选的，当所述管道关断时，所述第一腔体为填充有空气的干燥腔体，所述第二腔体为真空干燥腔体。

可选的，所述m等于所述n。

可选的，所述每个第一子腔体内部的下表面设置有用于支撑待干燥组件的顶针；

所述每个第二子腔体内部的下表面设置有用于支撑待干燥组件的顶针。

综上所述，本发明提供了一种干燥装置，包括第一腔体、第二腔体和管道，且管道的两端分别与第一腔体和第二腔体连通，当管道关断时，第一腔体内的气压大于第二腔体内的气压，当管道导通时，在第一腔体内和第二腔体内气压差的作用下，第一腔体内的气体会沿管道向第二腔体中流动，从而在第一腔体内产生气流。若该第一腔体内放置有待干燥组件，则第一腔体内的气流能够对该待干燥组件起到干燥作用。且第一腔体内的气流是由于第一腔体与第二腔体的气压差的作用下产生的，相较于鼓风机中电机带动叶片转动产生气流，所需耗费的能量较少，所以，减少了产生气流所需的能耗。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本发明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施例，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种干燥装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种干燥装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的又一种干燥装置的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种管道的结构示意图。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明实施例提供了一种干燥装置0，该干燥装置0可以包括：第一腔体01、第二腔体02和管道03，第一腔体01内能够放置待干燥组件(图1中未示出)，管道03的两端分别与第一腔体01和第二腔体02相连通，管道03能够导通或关断。

当管道03关断时，第一腔体01内的气压大于第二腔体02内的气压；当管道03导通时，在第一腔体01内的气压与第二腔体02内的气压的作用下，第一腔体01内能够产生气流。

综上所述，由于本发明提供的干燥装置包括第一腔体、第二腔体和管道，且管道的两端分别与第一腔体和第二腔体连通，当管道关断时，第一腔体内的气压大于第二腔体内的气压，当管道导通时，在第一腔体内和第二腔体内气压差的作用下，第一腔体内的气体会沿管道向第二腔体中流动，从而在第一腔体内产生气流。若该第一腔体内放置有待干燥组件，则第一腔体内的气流能够对该待干燥组件起到干燥作用。且第一腔体内的气流是由于第一腔体与第二腔体的气压差的作用下产生的，相较于鼓风机中电机带动叶片转动产生气流，所需耗费的能量较少，所以，减少了产生气流所需的能耗。

示例的，当管道03关断时，第一腔体01内的气压可以为标准大气压(1.01×10⁵帕)，第二腔体内的气压可以小于或等于1000帕。此时，第一腔体01与第二腔体02内的气压差较大，在管道导通时，第一腔体01内产生的气流较大，对第一腔体01内的待干燥组件的干燥效果较好。

可选的，管道03内可以填充有干燥过滤块04。具体的，可以将干燥过滤剂填充在管道03内，使得干燥过滤剂能够封堵管道03，此时，管道03内的干燥过滤剂由于被管道03的内壁挤压，而形成干燥过滤块04。当管道03由关断变为导通时，该第一腔体01内的气体会从第一腔体01内向管道03内流动，最终流入第二腔体02。在第一腔体01内的气体流经管道03内的干燥过滤块04时，若气体内包含水分子或杂质颗粒，则水分子会被干燥过滤块04吸附，杂质颗粒会被干燥过滤块04阻挡，从而使得经过该干燥过滤块04的气体为纯净的气体(不包含水分子和杂质颗粒)，防止了水分子和杂质颗粒进入第二腔体02，保证了第二腔体02的干净。

图2为本发明实施例提供的另一种干燥装置0的结构示意图，如图2所示，在图1的基础上，该干燥装置0还可以包括抽真空器05，该抽真空器05连接第二腔体01，且该抽真空器05可以用于控制第二腔体01内的气压小于第一腔体01内的气压。示例的，该抽真空器05也可以通过其他管道(图2中未标出)与第二腔体01相连通。由于抽真空器05能够对第二腔体02进行抽真空，使得第二腔体02内的气压小于第一腔体01内的气压，所以，在管道03导通，且第一腔体01内的气体从管道03进入第二腔体02内后，如需再次控制第一腔体01内产生气流，可以将管道03关断，并通过抽真空器05对第二腔体02进行抽真空，使得第二腔体02内的气压再次小于第一腔体01内的气压。

进一步的，该干燥装置0还可以包括加热器(图2中未示出)，第二腔体02内能够放置待干燥组件，该加热器可以用于通过对第二腔体02内的气体进行加热，从而提高第二腔体02内的温度。由于加热器能够提高第二腔体02内的温度，所以，当待干燥组件的表面涂覆有光刻胶，并置于第二腔体02内时，可以控制第二腔体02处于密封状态，此时可以对第二腔体02内进行抽真空，使得第二腔体02内的气压再次降低，从而使得干燥组件表面的光刻胶中的溶剂从光刻胶中脱离，使得待干燥组件表面的光刻胶由液态变为固态，进一步的，第二腔体02内的加热器还能够对第二腔体02进行加热，促使待干燥组件表面的光刻胶进一步固化。

示例的，第一腔体01可以与第一腔体01外的环境相连通，当管道03关断时，第一腔体01可以为填充有空气的干燥腔体，第一腔体01内的气压与环境中的气压相同，第二腔体02可以为真空干燥腔体，第二腔体02内的气压小于环境中的气压。也即，在对待干燥组件进行干燥处理前，仅仅需要对第二腔体02进行抽真空，使得第二腔体02内的气压减小，且无需对第一腔体01进行抽真空。

可选的，第一腔体01可以包括m个第一子腔体011，第二腔体02可以包括n个第二子腔体021，m和n均可以为大于或等于1的整数。示例的，图2中以m和n均为6为例，实际应用中，m可以为其他大于或等于1的整数，n也可以为其他大于或等于1的整数。每个第一子腔体011上均可以设置有第一腔体门P，每个第二子腔体021上均可以设置有第二腔体门Q，当第一子腔体011上的第一腔体门P开启时，第一子腔体011与第一子腔体011外的环境相连通，当第二子腔体021上的第二腔体门Q开启时，第二子腔体021与第二子腔体021外的环境相连通。

图3为本发明实施例提供的又一种干燥装置0的结构示意图，图4为本发明实施例提供的一种管道03的结构示意图，请结合图3和图4，管道03可以包括m个第一子管道031、n个第二子管道032和中心子管道033。示例的，m个第一子管道031可以互相平行，n个第二子管道032也可以互相平行，中心子管道033可以同时垂直于第一子管道031和第二子管道032。其中，中心子管道033的侧壁上可以设置有贯穿中心子管道033侧壁的m个第一开口K1，以及贯穿中心子管道033侧壁的n个第二开口K2，中心子管道033内填充有干燥过滤块04。

示例的，本发明实施例中的第一端可以为左端，第二端可以为右端，管道03的第一端分别与m个第一子腔体011中的每个第一子腔体011连通，管道03的第二端可以分别与n个第二子腔体021中的每个第二子腔体021连通，每个第一子腔体011和每个第二子腔体021内均能够放置待干燥组件。具体的，m个第一子管道031的第一端与m个第一子腔体011一一对应连通，m个第一子管道031的第二端与m个第一开口K1一一对应连通。n个第二子管道032的第一端与n个第二开口K2一一对应连通，n个第二子管道032的第二端与n个第二子腔体021一一对应连通。

m个第一子管道031中的每个第一子管道031的第一端设置有第一开关G1，每个第一开关G1用于控制第一子管道031的第一端的导通或关断。当第一开关G1开启时，该第一子管道031的第一端导通，当第一开关G1关断时，该第一子管道031的第一端关断。n个第二子管道032中的每个第二子管道032的第二端设置有第二开关G2，每个第二开关G2用于控制第二子管道032的第二端的导通或关断。当第二开关G2开启时，该第二子管道032的第二端导通，当第二开关G3关断时，该第二子管道032的第二端关断。

m个第一子管道032中的每个第一子管道032的第二端设置有第三开关G3，每个第三开关G3用于控制第一子管道031的第二端的导通或关断。当第三开关G3开启时，该第一子管道031的第二端导通，当第三开关G3关断时，该第一子管道031的第二端关断。n个第二子管道032中的每个第二子管道032的第一端设置有第四开关G4，每个第四开关G4用于控制第二子管道032的第一端的导通或关断。当第四开关G4开启时，该第二子管道032的第一端导通，当第四开关G4关断时，该第二子管道032的第一端关断。

进一步的，请继续参考图2，该干燥装置0还可以包括控制器07，该控制器07可以与干燥装置0中的每个开关(如第一开关、第二开关、第三开关和第四开关中的每个开关)相连接，用于控制每个开关的开启与闭合，进而控制子管道的导通和关断。

一方面，每个子管道(第一子管道或第二子管道)上与腔体(第一子腔体或第二子腔体)连接的一端设置有开关，在无需使用某一第一子腔体时，可以将与该第一子腔体连接的第一子管道上的第一开关关闭，在无需使用某一第二子腔体时，可以将与该第二子腔体连接的第二子管道上的第二开关关闭，防止无需使用的子腔体内，由于气压差的作用而产生气流，从而减少了在控制第一腔体内产生气流时能量的损失。另一方面，由于每个子管道上与中心子管道连接的一端设置有开关，所以在关闭第一子管道上的第一开关时，也可以将第一子管道上的第三开关关闭，在关闭第二子管道上的第二开关时，也可以将第二子管道上的第四开关关闭，防止无需使用的子腔体连接的子管道内产生气流，进一步的减少了能量的损失。

另外，相关技术中鼓风机和真空干燥腔体之间的距离较远，在分别使用鼓风机和真空干燥腔体时，共需要使用两个机械臂夹取衬底基板，制造显示屏的成本较高；本发明实施例中，由于第一腔体和第二腔体通过管道连接在一起，且第一腔体和第二腔体的距离较近，所以在分别执行该两个工艺步骤时，仅仅需要一个机械臂即可，大大减少了显示屏的制造成本。

示例的，该待干燥组件可以为衬底基板，在图2中，第一子腔体011的个数m可以等于第二子腔体021的个数n。由于第一子腔体011的个数和第二子腔体021的个数相等，所以在将多个衬底基板统一放入第一腔体01内，使得每个衬底基板置于一个第一子腔体011内，且在对衬底基板干燥后，可以将衬底基板从第一腔体内取出，并在衬底基板的表面涂覆光刻胶，然后，可以将涂覆有光刻胶的衬底基板统一放入第二腔体02内进行处理，且此时每个衬底基板置于一个第二子腔体021内。

可选的，每个第一子腔体011内部的下表面可以设置有用于支撑待干燥组件的顶针08；每个第二子腔体021内部的下表面也可以设置有用于支撑待干燥组件的顶针08。也即，该干燥装置0中的每个子腔体内均设置有顶针08，顶针08能够支撑置于子腔体内的待干燥组件，使得在对待干燥组件进行干燥时，待干燥组件的每个表面均能够得到有效的干燥。可选的，如图2所示，每个第一子腔体011以及每个第二子腔体021上还可以标注有腔体序号W，以便于工作人员辨识每个子腔体。

相关技术中，为了去除衬底基板表面的小颗粒(如灰尘)，通常需要对衬底基板进行清洗，并在清洗完衬底基板后，使用风刀和一个鼓风机依次对衬底基板表面进行干燥处理，去除衬底基板表面的水分子。然后，可以在衬底基板表面涂覆光刻胶，且为了防止衬底基板在搬运过程中，衬底基板表面的光刻胶流动，需要采用真空干燥机和加热器对衬底基板再次进行干燥固化处理，使得衬底基板表面的光刻胶有液态变为固态。具体的，该真空干燥机可以包括：真空干燥腔体、抽真空器，该加热器可以包括加热腔体和加热器。抽真空器能够对该真空干燥腔体进行抽真空，使得该真空干燥腔体内不存在水分子和杂质颗粒，且在抽真空的过程中，该真空干燥腔体内的气压小于环境中的气压。该加热器能够对加热腔体进行加热，提高加热腔体内的温度。在将衬底基板表面涂覆光刻胶后，可以打开真空干燥腔体，并将涂覆有光刻胶的衬底基板置于真空干燥腔体内，并控制第二腔体处于密封状态，使用抽真空器再次对真空干燥腔体内进行抽真空，使得第二腔体内的气压再次降低，从而使得衬底基板表面的光刻胶中的溶剂从光刻胶中脱离，使得衬底基板表面的光刻胶由液态变为固态。然后，可以将衬底基板从真空干燥腔体内取出，并放入加热腔体中，使用加热器对加热腔体进行加热，促使衬底基板表面的光刻胶进一步固化。

需要说明的是，本发明实施例提供的干燥装置0中的第二腔体02可以与相关技术提供的真空干燥机中的真空干燥腔体相同，本发明实施例提供的干燥装置0中的抽真空器05可以与相关技术提供的真空干燥机中的抽真空器相同，本发明实施例提供的干燥装置0中的加热器可以与相关技术提供的加热腔体中的加热器相同。也即，本发明实施例提供的干燥装置0可以包括相关技术中的真空干燥机和加热器，由于相关技术中，在控制衬底基板表面的光刻胶由液态变为固态前，需要对真空干燥腔体进行抽真空，使得真空干燥腔体内的气压小于环境中的气压，但是，在真空干燥腔体中控制衬底基板表面的光刻胶由液态变为固态的过程中，并没有对真空干燥腔体中的低气压进行有效的利用，因此，造成了能量的浪费。本发明实施例中，通过管道03将第一腔体01和第二腔体02相连通，在对第二腔体02抽真空使得该第二腔体02内保持干净后，第二腔体02内的气压小于第一腔体01内的气压。此时将管道导通，利用该第二腔体02内的低气压，使得该第一腔体01内产生气流，从而实现了将该第二腔体02(真空干燥腔体)内的低气压得到了有效的利用，减少了能量的浪费。且在对衬底基板表面进行干燥时，无需使用鼓风机，因此，进一步的减少了整个干燥过程中的能耗。且本发明实施例中，第二腔体可以同时作为真空干燥腔体和加热腔体，因此，减少了整个工艺过程中腔体的数目，减少了干燥处理的成本及生产时间，有效的提高生产效率。

相关技术中，鼓风机和真空干燥机之间的距离较远，鼓风机旁可以设置有一个机械臂，真空干燥机旁也可以设置有一个机械臂。在使用鼓风机对衬底基板吹风完毕后，可以使用鼓风机旁的机械臂将衬底基板夹持到载台上，并为衬底基板表面涂覆光刻胶。然后，可以使用真空干燥机旁的机械臂将涂覆有光刻胶的衬底基板从载台上夹持到真空干燥腔体内，并使用真空干燥机对衬底基板表面的光刻胶进行处理。由于相关技术中，鼓风机旁和真空干燥机旁分别需要设置一个机械臂，因此，干噪处理的成本较高。本发明实施例中，由于该第一腔体和第二腔体的距离较近，所以，该干燥装置旁可以设置有一个机械臂(图2中未示出)，且该一个机械臂可以同时完成将衬底基板夹持到第一子腔体内并取出，以及将衬底基板夹持到第二子腔体内并取出。由于本发明实施例中的干燥装置仅仅需要使用一个机械臂，因此，干噪处理的成本较低。

示例的，现以第一子腔体的个数和第二子腔体的个数相等，且均等于m，且待干燥组件为m个衬底基板为例，对本发明实施例提供的干燥装置的使用方法进行解释说明：

在使用本发明实施例提供的干燥装置前，可以对该m衬底基板进行清洗。然后，可以使用风刀对该m个衬底基板表面进行初步干燥，并将每个第一子腔体上的腔体门打开，以及使用设置在干燥装置旁的机械臂将该m衬底基板夹持到m个第一子腔体内，使得每个第一子腔体内放置有一个衬底基板，在将衬底基板置入第一子腔体内后，可以将第一子腔体的腔体门关闭。

需要说明的是，在将m个衬底基板夹持到m个第一子腔体内之前，需要将管道关断，也即将管道中的第一开关、第二开关、第三开关以及第四开关均关闭，将m个第二子腔体上的腔体门全部关闭，并使用抽真空器对第二腔体进行抽真空，使得第二腔体内的气压小于环境中的气压(也即每个第一子腔体内的气压)，可选的，可以将第二腔体内的气压减小至1000帕以下。

在将m个第一子腔体上的腔体门均关闭后，可以将管道中的第一开关、第二开关、第三开关以及第四开关均打开，使得管道处于导通的状态，此时，由于第二腔体中的m个第二子腔体内的气压小于第一子腔体内的气压，所以，在m个第二子腔体与m个第一子腔体内气压差的作用下，每个第一子腔体内的气体会沿管道向第二子腔体内流动。且在气体流动的过程中，每个第一子腔体内的流动的气体能够将衬底基板上的水分子带走，从而实现了对衬底基板的干燥。进一步的，由于管道中设置有干燥过滤块，所以，气体中携带的水分子和杂质颗粒无法沿管道进入第二子腔体内，从而保证了第二子腔体的干净。

最后，可以将每个第一子腔体上的腔体门打开，使用设置在干燥装置旁的机械臂将m个衬底基板从m个第一子腔体内取出，依次为m个衬底基板表面涂覆光刻胶，并将每个第二子腔体上的腔体门打开，以及将涂覆有光刻胶的m个衬底基板置于m个第二子腔体内，并在将衬底基板置入第二子腔体内后，关闭第二子腔体上的腔体门，控制抽真空器对第二子腔体再次进行抽真空，从而使得干燥组件表面的光刻胶中的溶液从光刻胶中脱离，使得待干燥组件表面的光刻胶由液态变为固态，进一步的，还可以在抽真空的同时，控制第二腔体内的加热器对m个第二子腔体加热，提高m个第二子腔体内的温度，促使待干燥组件表面的光刻胶进一步固化。

综上所述，由于本发明提供的干燥装置包括第一腔体、第二腔体和管道，且管道的两端分别与第一腔体和第二腔体连通，当管道关断时，第一腔体内的气压大于第二腔体内的气压，当管道导通时，在第一腔体内和第二腔体内气压差的作用下，第一腔体内的气体会沿管道向第二腔体中流动，从而在第一腔体内产生气流。若该第一腔体内放置有待干燥组件，则第一腔体内的气流能够对该待干燥组件起到干燥作用。且第一腔体内的气流是由于第一腔体与第二腔体的气压差的作用下产生的，相较于鼓风机中电机带动叶片转动产生气流，所需耗费的能量较少，所以，减少了产生气流所需的能耗。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种干燥装置，其特征在于，所述干燥装置包括：第一腔体、第二腔体和管道，所述管道两端分别与所述第一腔体、所述第二腔体相连通，所述管道能够导通或关断，

当所述管道关断时，所述第一腔体内的气压大于所述第二腔体内的气压；当所述管道导通时，在所述第一腔体内的气压与所述第二腔体内的气压的作用下，所述第一腔体内能够产生气流；

其中，所述第一腔体包括m个第一子腔体，所述第二腔体包括n个第二子腔体，所述m和所述n均为大于或等于1的整数，

所述管道的第一端分别与所述m个第一子腔体中的每个第一子腔体连通，所述管道的第二端分别与所述n个第二子腔体中的每个第二子腔体连通；

所述管道包括中心子管道、m个第一子管道和n个第二子管道，所述中心子管道的侧壁上设置有贯穿所述中心子管道侧壁的m个第一开口，以及贯穿所述中心子管道侧壁的n个第二开口，所述中心子管道内填充有干燥过滤块，所述m个第一子管道的第一端与所述m个第一子腔体一一对应连通，所述m个第一子管道的第二端与所述m个第一开口一一对应连通，所述n个第二子管道的第一端与所述n个第二开口一一对应连通，所述n个第二子管道的第二端与所述n个第二子腔体一一对应连通。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括抽真空器，

所述抽真空器连接所述第二腔体，用于控制所述第二腔体内的气压小于所述第一腔体内的气压。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括加热器，所述加热器用于提高所述第二腔体内的温度。

4.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，

所述m个第一子管道中的每个第一子管道的第一端设置有第一开关，每个第一开关用于控制第一子管道的第一端的导通或关断；

所述n个第二子管道中的每个第二子管道的第二端设置有第二开关，每个第二开关用于控制第二子管道的第二端的导通或关断。

5.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，

所述m个第一子管道中的每个第一子管道的第二端设置有第三开关，每个第三开关用于控制第一子管道的第二端的导通或关断；

所述n个第二子管道中的每个第二子管道的第一端设置有第四开关，每个第四开关用于控制第二子管道的第一端的导通或关断。

6.根据权利要求5所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括控制器，

所述控制器与所述干燥装置中的每个开关相连接，用于控制所述每个开关的开启与闭合。

7.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，

当所述管道关断时，所述第一腔体内的气压为标准大气压，所述第二腔体内的气压小于或等于1000帕。

8.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，当所述管道关断时，所述第一腔体为填充有空气的干燥腔体，所述第二腔体为真空干燥腔体。

9.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，

所述m等于所述n。

10.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，

所述每个第一子腔体内部的下表面设置有用于支撑待干燥组件的顶针；

所述每个第二子腔体内部的下表面设置有用于支撑待干燥组件的顶针。