KR970052049A - 스퍼터링 장치의 타깃고정판 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 중의 이온을 전계로 가속하여 타깃 표면에 충돌시켜서 타깃 재료를 기판 또는 피가공물의 표면위에 퇴적시키는 플라즈마 스퍼터링 장치의 타깃 고정판에 관한 것으로, 종래에는, 리테이너(1)에 리테이너 쉴더(2)를 회정시켜 고정시키도록 되어 있기 때문에 작업 중에 리테이너(1)와 리테이너 쉴더(2)가 분리되어 전계에 의해 가속된 이온이 정확하게 타깃에 조준되지 못하거나, 타깃 쿨링(target cooling) 효과가 나빠지게 되어 형성된 막의 질이 불량해지는 문제를 해결하기 위해, 리테이너(1)와 리테이너 쉴더(2) 사이에 구리판(3)을 끼우고 리테이너(1)와 리테이너 쉴더(2)를 스크루(4)로 고정시킨다. 이로써, 타깃 클링 효과를 증대시킬 수 있게 되어 양질의 박막을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 예방 보전 시간을 줄일 수 있기 때문에 설비의 가동율이 향상된다.

Description

스퍼터링 장치의 타깃고정판

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명에 따른 타깃 고정판의 구조를 보여주는 도면.

Claims (1)

1. 스퍼터링 장치의 타깃 고정판에 있어서, 가장자리에 적어도 3개의 스크루들과 체결되기 위한 적어도 3개의 스크루 체결 홈들이 형성되어 있는 리테이너(1)와, 상기 리터이너(1)에 형성된 상기 스크루 체결 홈들과 각각 대응되는 위치에 형성된 적어도 3개의 관통 홈들을 가지는 리테이너 쉴더(2)와, 상기 스크루 체결 홈들 및 상기 관통 홈들과 각각 대응되는 위치에 형성되는 적어도 3개의 요홈들을 가지며 상기 리테이너(1)와 상기 리테이너 쉴더(2) 사이에 끼워지는 원반형의 구리판(3)으로 구성되고; 상기 리테이너(1)와 상기 리테이너 쉴더(2) 및 상기 구리판(3)은 적어도 3개의 스크루들에 의해 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 타깃 고정판.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.