KR970051896A - 반도체장치의 제조방법 - Google Patents
반도체장치의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체장치의 제조에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 사진 공정에 더미노광 공정을 추가하여 노광장치에서의 공정시간을 단축할 수 있는 반도체장치의 제조방법에 관한 것으로, 반도체장치의 제조방법에 있어서, 웨이퍼상에 감광막을 도포하는 감광막도포공정과; 상기 감광막이 도포된 웨이퍼를 더미노광하는 더미노광공정과; 상기 더미노광된 감광막을 주노광하는 노광공정과; 상기 노광공정에서 노광된 감광막 부위를 현상액을 이용하여 제거하는 현상공정과; 상기 현상공정에서 감광막의 노광된 부위가 제거되면서 형성된 감광막 패턴을 검사하는 검사공정을 포함하고 있다. 이와같은 방법에 의해서, 감광막을 패터닝할 수 있는 에너지까지 노광하는 주노광공정에서의 노광시간을 단축할 수 있고, 궁극적으로 반도체 장치의 생산성을 향상할 수 있게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 반도체장치의 사진공정을 단계별로 보여 주고 있는 공정 흐름도.
Claims (5)
- 반도체장치의 제조방법에 있어서, 웨이퍼(10)상에 감광막을 도포하는 감광막도포공정(12)과; 상기 감광막이 도포된 웨이퍼를 더미노광하는 더미노광공정(13)과; 상기 더민노광공정(13)에서 노광된 감광막을 주노광하는 노광공정(14)과; 상기 노광공정(14)에서 노광된 감광막 부위를 현상액을 이용하여 제거하는 현상공정(16)과; 상기 현상공정(16)에서 감광막의 노광된 부위가 제거되면서 형성된 감광막 패턴을 검사하는 검사공정(18)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 더미노광공정(13)은 상기 감광막이 현상액에 용해되지 않는 범위, 즉 화학적 성질이 변화하지 않는 에너지 범위내의 최대값이 Eo 값까지 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 더미노광공정(13)에서의 노광 에너지 값은 웨이퍼의 반송 속도에 의해서 제어되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 더미노광공정(13)은 감광막이 도포된 웨이퍼에 전면적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 감광막은 양성 감광막 또는 음성 감광막중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950059308A KR970051896A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 반도체장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950059308A KR970051896A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 반도체장치의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970051896A true KR970051896A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66618767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950059308A KR970051896A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 반도체장치의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970051896A (ko) |
-
1995
- 1995-12-27 KR KR1019950059308A patent/KR970051896A/ko not_active Application Discontinuation
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