KR970030433A - 기판건조장치 - Google Patents

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하지메 오노다
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Abstract

기판건조장치는 IPA가 수용되는 처리조와, 이 처리조내에 IPA를 공급하는 공급원과 처리조내의 IPA에 침지되고 또 내부에 스팀이 유통되는 열교환튜브를 구비하고 있고, 스팀과 IPA를 열교환시켜서 IPA의 증기를 발생시키는 제1열교환기와, 처리조의 상부 또는 상방에 설치되고 또, 내부에 냉매가 유통되는 열교환튜브를 구비하고 있고, 냉매와 IPA증기를 열교환시켜서 IPA증기를 응축시키는 제2염교환기를 갖는다.

Description

기판건조장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 관한 기판건조장치의 전체를 도시하는 단면블록도.
제2도는 기판건조장치의 주요부를 도시하는 단면블록도.
제3도는 III-III선으로 절단한 기판건조장치를 도시하는 단면도.
제4도는 기판건조방법을 도시하는 플로챠트.
제5도는 IPA 가열시스템의 제어기에 있어서 동작을 도시하는 플로챠트.

Claims (14)

  1. 물에 젖은 복수매의 기판을 일괄로 건조처리하는 기판건조장치(10)는, 물의 비등점보다도 낮은 비등점을 갖는 유기용매가 수용되는 처리조(12)와, 이 처리조(12)내에 유기용매를 공급하는 공급수단과, 상기 처리조(12)내의 유기용매에 침지되고 도 내부에 열매체가 유통되는 열교환튜브를 구비하고 있고, 열매체와 유기용매를 열교환시켜서 유기용매의 증기를 발생시키는 제1열교환기와, 상기 처리조의 상부 또는 상방에 설치되고 또 내부에 냉매가 유통되는 열교환튜브를 구비하고 있고, 냉매와 유기용매의 증기를 열교환시켜서 유기용매의 증기를 응축시키는 제2열교환기, 를 갖는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1열교환튜브(17)내를 유통되는 열매체의 유량을 가변조정하는 유량가변조정기구와, 유기용매의 증기발생영역의 온도를 검출하는 적어도 하나의 온도 센서(23, 24)와 이 온도센서의 검출신호에 의거하여 유량가변조정기구를 제어하는 제어수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  3. 제2항에 있어서, 제어수단은 온도센서에 의해 검출된 검출신호에 의거하는 유량가변조정기구를 제어하고 유기용매의 증기를 상승 또는 하강시키기 위해 열매체의 유량을 증감시키는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  4. 제2항에 있어서, 유량가변기구는 제1열교환튜브내를 유통하는 열매체의 유량을 가변하는 모터구동식의 볼밸브(38)를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  5. 제1항에 있어서, 처리대상이 되는 기판은 반도체 웨이퍼 또는 LCD용 유리기판이며, 유기용매에는 이소프로필알콜을 이용하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  6. 제1항에 있어서, 열매체에는 포화수증기 또는 과포화수증기를 이용하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  7. 제1항에 있어서, 유기용매의 증기를 발생시키는 영역보다 상방에서 기판에 부착한 유기용매를 강제적으로 휘발시키는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  8. 제1항에 있어서, 처리조는 석영유리제 또는 스테인리스강제인 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  9. 제1항에 있어서, 제열교환튜브(17)는 석영유리제 또는 스테인리스강제인 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  10. 제1항에 있어서, 제2열교환튜브(21)는 석영유리제 또는 스테인리스강제인 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  11. 제1항에 있어서, 제2열교환기에 의해 응축된 유기용매를 처리조(12)의 하부로 되돌리기 위한 통(22)을 갖는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  12. 제1항에 있어서, 처리조(12)내의 유기용매에 침지하지 않도록 설치되고, 기판에서 제거된 수분을 받는 받침접시(19)와 이 받침접시(19)에 개구하고 제거수분을 외부로 배출하는 배출통로를 갖는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  13. 제1항에 있어서, 유기용매의 증기발생영역보다도 상방의 영역을 배기하는 배기수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
  14. 제1항에 있어서, 유기용매의 증기발생영역과 그 상방영역과의 사이에서 기판을 이동시키는 반송수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
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