JPH08219548A - 恒温装置 - Google Patents
恒温装置Info
- Publication number
- JPH08219548A JPH08219548A JP4613195A JP4613195A JPH08219548A JP H08219548 A JPH08219548 A JP H08219548A JP 4613195 A JP4613195 A JP 4613195A JP 4613195 A JP4613195 A JP 4613195A JP H08219548 A JPH08219548 A JP H08219548A
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- JP
- Japan
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- tank
- water supply
- heat exchange
- constant temperature
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Heat-Pump Type And Storage Water Heaters (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Weting (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大容量の恒温槽に対応できる恒温装置を提供
する。 【構成】 恒温槽１と、熱交換器３および加熱ヒーター
４を内蔵した熱交換タンク２を設け、この熱交換タンク
２に、冷水を供給する給水ポンプ１０を備えた冷水供給
ライン５とオーバーフローライン１１を接続し、前記恒
温槽１内の液体を前記熱交換タンク２内へ循環させる型
式の恒温装置において、前記恒温槽１の出口１ａと前記
熱交換器３の入口３ａとを循環ポンプ７を備えた供給ラ
イン６で接続するとともに、前記熱交換器３の出口３ｂ
と前記恒温槽１の入口１ｂとを温度センサ９を備えた還
流ライン８で接続し、前記給水ポンプ１０、温度センサ
９および循環ポンプ７をそれぞれ回線１２を介して制御
器１３に接続し、前記温度センサ９の検出温度に基づ
き、加熱時は前記加熱ヒーター４をＰＩＤ制御し、冷却
時は前記給水ポンプ１０を無接点リレー１４を用いてＯ
Ｎ−ＯＦＦ制御する構成。
する。 【構成】 恒温槽１と、熱交換器３および加熱ヒーター
４を内蔵した熱交換タンク２を設け、この熱交換タンク
２に、冷水を供給する給水ポンプ１０を備えた冷水供給
ライン５とオーバーフローライン１１を接続し、前記恒
温槽１内の液体を前記熱交換タンク２内へ循環させる型
式の恒温装置において、前記恒温槽１の出口１ａと前記
熱交換器３の入口３ａとを循環ポンプ７を備えた供給ラ
イン６で接続するとともに、前記熱交換器３の出口３ｂ
と前記恒温槽１の入口１ｂとを温度センサ９を備えた還
流ライン８で接続し、前記給水ポンプ１０、温度センサ
９および循環ポンプ７をそれぞれ回線１２を介して制御
器１３に接続し、前記温度センサ９の検出温度に基づ
き、加熱時は前記加熱ヒーター４をＰＩＤ制御し、冷却
時は前記給水ポンプ１０を無接点リレー１４を用いてＯ
Ｎ−ＯＦＦ制御する構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばＬＳＩ製造工
程でのエッチング液や洗浄液等を所定温度に管理する恒
温装置に関するものである。
程でのエッチング液や洗浄液等を所定温度に管理する恒
温装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ製造工程で用いられているエッチ
ング液や洗浄液等の温度管理用恒温装置は、従来、電子
冷却加熱方式の熱交換装置が用いられてきたが、高価で
あり大容量のものには不適当であった。また、近年液晶
パネルの大型化によりフッ酸エッチング工程で大容量の
恒温槽が要望されている。
ング液や洗浄液等の温度管理用恒温装置は、従来、電子
冷却加熱方式の熱交換装置が用いられてきたが、高価で
あり大容量のものには不適当であった。また、近年液晶
パネルの大型化によりフッ酸エッチング工程で大容量の
恒温槽が要望されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記問題
点に鑑み、液体温度を応答性よく高精度に温度制御が可
能な大容量の恒温槽に対応することができる恒温装置を
提供することを目的とするものである。
点に鑑み、液体温度を応答性よく高精度に温度制御が可
能な大容量の恒温槽に対応することができる恒温装置を
提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたものであって、恒温槽と、熱交
換器および加熱ヒーターを内蔵した熱交換タンクを設
け、この熱交換タンクに、冷水を供給する給水ポンプを
備えた冷水供給ラインとオーバーフローラインを接続
し、前記恒温槽内の液体を前記熱交換タンク内へ循環さ
せる型式の恒温装置において、前記恒温槽の出口と前記
熱交換器の入口とを循環ポンプを備えた供給ラインで接
続するとともに、前記熱交換器の出口と前記恒温槽の入
口とを温度センサを備えた還流ラインで接続し、前記給
水ポンプ、温度センサおよび循環ポンプをそれぞれ回線
を介して制御器に接続し、前記温度センサの検出温度に
基づき、加熱時は前記加熱ヒーターをＰＩＤ制御し、冷
却時は前記給水ポンプを無接点リレーを用いてＯＮ−Ｏ
ＦＦ制御することを特徴としている。
解決するためになされたものであって、恒温槽と、熱交
換器および加熱ヒーターを内蔵した熱交換タンクを設
け、この熱交換タンクに、冷水を供給する給水ポンプを
備えた冷水供給ラインとオーバーフローラインを接続
し、前記恒温槽内の液体を前記熱交換タンク内へ循環さ
せる型式の恒温装置において、前記恒温槽の出口と前記
熱交換器の入口とを循環ポンプを備えた供給ラインで接
続するとともに、前記熱交換器の出口と前記恒温槽の入
口とを温度センサを備えた還流ラインで接続し、前記給
水ポンプ、温度センサおよび循環ポンプをそれぞれ回線
を介して制御器に接続し、前記温度センサの検出温度に
基づき、加熱時は前記加熱ヒーターをＰＩＤ制御し、冷
却時は前記給水ポンプを無接点リレーを用いてＯＮ−Ｏ
ＦＦ制御することを特徴としている。
【０００５】
【作用】この発明によれば、恒温槽内の液体を熱交換タ
ンク内へ循環させ、熱交換器の出口側の液温を温度セン
サで検出し、この検出信号に基づき熱交換タンク内の液
体を加熱または冷却し、熱交換器を介して恒温槽内の液
体を所定温度に調節する。そして、冷却時においては冷
水供給により増加した水はオーバーフローラインより排
水する。
ンク内へ循環させ、熱交換器の出口側の液温を温度セン
サで検出し、この検出信号に基づき熱交換タンク内の液
体を加熱または冷却し、熱交換器を介して恒温槽内の液
体を所定温度に調節する。そして、冷却時においては冷
水供給により増加した水はオーバーフローラインより排
水する。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は、この発明の一実施例を示すもの
であり、恒温槽１と、熱交換器３および加熱ヒーター４
を内蔵した熱交換タンク２を設け、この熱交換タンク２
に冷水を供給する冷水供給ライン５を接続し、前記恒温
槽１内の液体を前記熱交換タンク２内の熱交換器３を介
して循環させる型式の恒温装置である。
細に説明する。図１は、この発明の一実施例を示すもの
であり、恒温槽１と、熱交換器３および加熱ヒーター４
を内蔵した熱交換タンク２を設け、この熱交換タンク２
に冷水を供給する冷水供給ライン５を接続し、前記恒温
槽１内の液体を前記熱交換タンク２内の熱交換器３を介
して循環させる型式の恒温装置である。
【０００７】前記恒温槽１には、例えば液晶パネルをエ
ッチングするフッ酸液を収容している。この恒温槽１の
下部に設けた出口１ａと、前記熱交換タンク２内に設け
た熱交換器３の入口３ａとを供給ライン６で接続し、途
中に循環ポンプ７を設けている。一方、前記熱交換器３
の出口３ｂと前記恒温槽１の入口１ｂとを還流ライン８
で接続し、途中に温度センサ９を挿入している。また、
前記熱交換タンク２内の下部に加熱ヒーター４を挿入し
熱交換液を加熱する。前記熱交換タンク２の下部に熱交
換液を冷却する冷水供給ライン５の一端を接続し、他端
は恒温装置を設置してある場所、すなわち工場全般の共
用設備としての冷水タンク（図示省略）に接続し、途中
に給水ポンプ１０を挿入している。そして、前記熱交換
タンク２の上部所定位置に開口部３ｃを設け、この開口
部３ｃにオーバーフローライン１１を接続している。そ
して、前記温度センサ９、循環ポンプ７、加熱ヒーター
４および給水ポンプ１０は回線１２を介して制御器１３
にそれぞれ接続してあり、特にＯＮ−ＯＦＦ回数の多い
前記給水ポンプ１０の回線１２には、前記温度センサ９
からの信号によりＯＮ−ＯＦＦ制御する無接点リレー１
４を挿入している。符号１５は熱交換液を補給する補給
ラインで、開閉弁１６を備えている。
ッチングするフッ酸液を収容している。この恒温槽１の
下部に設けた出口１ａと、前記熱交換タンク２内に設け
た熱交換器３の入口３ａとを供給ライン６で接続し、途
中に循環ポンプ７を設けている。一方、前記熱交換器３
の出口３ｂと前記恒温槽１の入口１ｂとを還流ライン８
で接続し、途中に温度センサ９を挿入している。また、
前記熱交換タンク２内の下部に加熱ヒーター４を挿入し
熱交換液を加熱する。前記熱交換タンク２の下部に熱交
換液を冷却する冷水供給ライン５の一端を接続し、他端
は恒温装置を設置してある場所、すなわち工場全般の共
用設備としての冷水タンク（図示省略）に接続し、途中
に給水ポンプ１０を挿入している。そして、前記熱交換
タンク２の上部所定位置に開口部３ｃを設け、この開口
部３ｃにオーバーフローライン１１を接続している。そ
して、前記温度センサ９、循環ポンプ７、加熱ヒーター
４および給水ポンプ１０は回線１２を介して制御器１３
にそれぞれ接続してあり、特にＯＮ−ＯＦＦ回数の多い
前記給水ポンプ１０の回線１２には、前記温度センサ９
からの信号によりＯＮ−ＯＦＦ制御する無接点リレー１
４を挿入している。符号１５は熱交換液を補給する補給
ラインで、開閉弁１６を備えている。
【０００８】つぎに、前記構成の作用を説明する。ま
ず、補給ライン１５より熱交換タンク２内へ熱交換液を
所定液位まで供給する。そして、恒温槽１内の液体（被
恒温液）を予め設定した所定温度に調節するため、被恒
温液を前記恒温槽１の下部から循環ポンプ７の駆動によ
り供給ライン６を介して熱交換器３内へ供給する。ま
た、前記熱交換タンク２内の熱交換液は、予め設定した
所定温度に加熱または冷却してあって、前記被恒温液と
熱交換器３を介して熱交換する。熱交換後の被恒温液の
液温を還流ライン８に設けた温度センサ９が検知し、検
知信号を制御器１３へ通報する。前記制御器１３は、前
記温度センサ９の検知信号に基づいて、前記加熱ヒータ
ー４または冷水供給ライン５の給水ポンプ１０を制御
し、被恒温液を加熱または冷却する。この場合の加熱時
は、前記加熱ヒーター４をＰＩＤ(Proportional Integr
ate Differential) 制御し、被恒温液を速やかに所定温
度に昇温させる。
ず、補給ライン１５より熱交換タンク２内へ熱交換液を
所定液位まで供給する。そして、恒温槽１内の液体（被
恒温液）を予め設定した所定温度に調節するため、被恒
温液を前記恒温槽１の下部から循環ポンプ７の駆動によ
り供給ライン６を介して熱交換器３内へ供給する。ま
た、前記熱交換タンク２内の熱交換液は、予め設定した
所定温度に加熱または冷却してあって、前記被恒温液と
熱交換器３を介して熱交換する。熱交換後の被恒温液の
液温を還流ライン８に設けた温度センサ９が検知し、検
知信号を制御器１３へ通報する。前記制御器１３は、前
記温度センサ９の検知信号に基づいて、前記加熱ヒータ
ー４または冷水供給ライン５の給水ポンプ１０を制御
し、被恒温液を加熱または冷却する。この場合の加熱時
は、前記加熱ヒーター４をＰＩＤ(Proportional Integr
ate Differential) 制御し、被恒温液を速やかに所定温
度に昇温させる。
【０００９】ところで、前記冷水供給ライン５に、前記
給水ポンプ１０のかわりに電磁弁等を用いて制御した場
合は、前記恒温槽１内の液体を所定温度にするため前記
電磁弁のＯＮ−ＯＦＦ回数が多くなり、電磁弁の耐用回
数を早期に超過して不具合が発生する。したがって、こ
の発明では、前記電磁弁のかわりに前記給水ポンプ１０
を用いている。そして、この給水ポンプ１０の稼動、停
止を無接点リレー１４を設けて制御するので膨大なＯＮ
−ＯＦＦ回数であっても問題はない。尚、前記熱交換タ
ンク２内の熱交換液を冷却する場合は、前記冷水供給ラ
イン５から冷水を供給するので水位が上昇し、所定水位
に達すると開口部３ｃおよびオーバーフローライン１１
を介して系外に排出する。
給水ポンプ１０のかわりに電磁弁等を用いて制御した場
合は、前記恒温槽１内の液体を所定温度にするため前記
電磁弁のＯＮ−ＯＦＦ回数が多くなり、電磁弁の耐用回
数を早期に超過して不具合が発生する。したがって、こ
の発明では、前記電磁弁のかわりに前記給水ポンプ１０
を用いている。そして、この給水ポンプ１０の稼動、停
止を無接点リレー１４を設けて制御するので膨大なＯＮ
−ＯＦＦ回数であっても問題はない。尚、前記熱交換タ
ンク２内の熱交換液を冷却する場合は、前記冷水供給ラ
イン５から冷水を供給するので水位が上昇し、所定水位
に達すると開口部３ｃおよびオーバーフローライン１１
を介して系外に排出する。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、恒温槽と、熱交換器および加熱ヒーターを内蔵した
熱交換タンクを設け、この熱交換タンクに、給水ポンプ
を備えた冷水供給ラインとオーバーフローラインを接続
し、前記恒温槽内の液体を前記熱交換タンク内へ循環さ
せる型式の恒温装置において、予め設定した恒温槽内の
液体を所定温度に調節するため、還流ラインに設けた温
度センサの検出温度に基づき、熱交換タンク内の液体を
加熱時は加熱ヒーターをＰＩＤ制御し、冷却時は給水ポ
ンプを無接点リレーを用いてＯＮ−ＯＦＦ制御するよう
にしたので、大容量の恒温槽においても液体温度を応答
性よく高精度に温度制御することができる。また、ＯＮ
−ＯＦＦ回数の多い給水ポンプの回路に無接点リレーを
用いたもので、長期間に亘り不具合なく運転することが
できる。
ば、恒温槽と、熱交換器および加熱ヒーターを内蔵した
熱交換タンクを設け、この熱交換タンクに、給水ポンプ
を備えた冷水供給ラインとオーバーフローラインを接続
し、前記恒温槽内の液体を前記熱交換タンク内へ循環さ
せる型式の恒温装置において、予め設定した恒温槽内の
液体を所定温度に調節するため、還流ラインに設けた温
度センサの検出温度に基づき、熱交換タンク内の液体を
加熱時は加熱ヒーターをＰＩＤ制御し、冷却時は給水ポ
ンプを無接点リレーを用いてＯＮ−ＯＦＦ制御するよう
にしたので、大容量の恒温槽においても液体温度を応答
性よく高精度に温度制御することができる。また、ＯＮ
−ＯＦＦ回数の多い給水ポンプの回路に無接点リレーを
用いたもので、長期間に亘り不具合なく運転することが
できる。
【図１】この発明を実施した恒温装置の概略説明図であ
る。
る。
１ 恒温槽 １ａ 出口 １ｂ 入口 ２ 熱交換タンク ３ 熱交換器 ３ａ 入口 ３ｂ 出口 ４ 加熱ヒーター ５ 冷水供給ライン ６ 供給ライン ７ 循環ポンプ ８ 還流ライン ９ 温度センサ １０ 給水ポンプ １１ オーバーフローライン １２ 回数 １３ 制御器 １４ 無接点リレー
Claims (1)
- 【請求項１】 恒温槽１と、熱交換器３および加熱ヒー
ター４を内蔵した熱交換タンク２を設け、この熱交換タ
ンク２に、冷水を供給する給水ポンプ１０を備えた冷水
供給ライン５とオーバーフローライン１１を接続し、前
記恒温槽１内の液体を前記熱交換タンク２内へ循環させ
る型式の恒温装置において、前記恒温槽１の出口１ａと
前記熱交換器３の入口３ａとを循環ポンプ７を備えた供
給ライン６で接続するとともに、前記熱交換器３の出口
３ｂと前記恒温槽１の入口１ｂとを温度センサ９を備え
た還流ライン８で接続し、前記給水ポンプ１０、温度セ
ンサ９および循環ポンプ７をそれぞれ回線１２を介して
制御器１３に接続し、前記温度センサ９の検出温度に基
づき、加熱時は前記加熱ヒーター４をＰＩＤ制御し、冷
却時は前記給水ポンプ１０を無接点リレー１４を用いて
ＯＮ−ＯＦＦ制御することを特徴とする恒温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4613195A JPH08219548A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | 恒温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4613195A JPH08219548A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | 恒温装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08219548A true JPH08219548A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12738439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4613195A Pending JPH08219548A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | 恒温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08219548A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103977850A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-08-13 | 国家海洋标准计量中心 | 高精度海水变温恒温槽系统 |
| CN105562128A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-05-11 | 苏州市东华试验仪器有限公司 | 一种带pid控制的恒温恒湿箱 |
| CN108273581A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-07-13 | 无锡其宏包装材料厂 | 一种恒温水箱结构 |
-
1995
- 1995-02-09 JP JP4613195A patent/JPH08219548A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103977850A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-08-13 | 国家海洋标准计量中心 | 高精度海水变温恒温槽系统 |
| CN105562128A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-05-11 | 苏州市东华试验仪器有限公司 | 一种带pid控制的恒温恒湿箱 |
| CN108273581A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-07-13 | 无锡其宏包装材料厂 | 一种恒温水箱结构 |
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