KR970030313A - 반도체 제조장치의 스필오버 컵 조립체 - Google Patents

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KR970030313A
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윤재임
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Abstract

본 발명은 디스크의 후방에 설치되어 디스크의 후방으로 새어나가는 이온빔을 차단하기 위한 것으로, 고정 브라켓과, 이 고정브라켓에 회전가능하게 설치된 레버와, 이 레버의 끝단에 설치된 스필 오버 컵과, 디스크 플립 다운시 상기 레버가 더 이상 하강하지 못하도록 받쳐지지하는 스토퍼로 구성된 반도체 제조장치의 스필 오버 컵 조립체에 관한 것으로, 상기 레버를 받쳐지지하는 스토퍼의 상면이 레버를 수평상태로 지지하여 레버 및 스필 오버 컵이 수평상태를 유지하도록 구성된 것이다. 따라서 스필 오버 컵과 트랜스포트 조립체의 케이블이 부딪쳐 부품이 손상되는 것을 방지할 수 있고, 케이블의 손상으로 인해 생성되었던 파티클이 제거됨으로써 웨이퍼의 오염을 방지하여 수율이 높아지는 효과가 있다.

Description

반도체 제조장치의 스필오버 컵 조립체
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 스필 오버 컵 조립체를 나타낸 구조도이다.

Claims (1)

  1. 디스크의 후방에 설치되어 디스크의 후방으로 새어나가는 이온 빔을 차단하기 위한 것으로, 고정브라켓과, 이 고정브라켓에 회전가능하게 설치된 레버와, 이 레버의 끝단에 설치된 스필 오버 컵과, 디스크 플립 다운시 상기 레버가 더 이상 하강하지 못하도록 받쳐지지하는 스토퍼로 구성된 반도체 제조장치의 스필 오버 컵 조립체에 있어서, 상기 레버를 받쳐지지하는 스토퍼의 상면이 레버를 수평상태로 지지하여 레버 및 스필 오버 컵이 수평상태를 유지하도록 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 스필오버 컵 조립체.
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