JPS6112024A - 縦型加熱炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｉａ＋　　発明の技術分野 本発明は、縦型加熱炉の構造に係り、特に耐震性と取扱
面でウェハ保持の安全を考慮したウェハバスケットの保
持に関する。

Ｃｂ）技術の背景 近年、特に半導体基板の大型化が進み、高度の無塵化や
自動化の傾向に伴い、従来使用されてきた横型炉では、
石英の容器とウェハを搭載した石英のウェハバスケット
が摺動して、石英の微粒子が発生して、これがウニハブ
歩留りの低下の原因となる欠点があるために、縦型加熱
炉が採用されはじめ、特に縦型炉は構造的に自動化が容
易であり、占有スペースが小になる等多くの利点がある
が、通常縦型炉の場合には、容器の内部で加熱されるウ
ェハが１０ット単位でウェハバスケットに搭載され、そ
のウェハバスケットの複数個がバスケットホルダに積載
されてから、容器に挿入されて加熱炉で加熱される。

従ってバスケットホルダは、ウェハバスケントを挿入す
るための開口部があり、外部からの振動や取扱の不備な
どのため、この開口部からウェハバスケットに搭載され
たウェハが落下するという欠点があり、これの改善が要
望されている。

（Ｃ１従来技術と問題点 半導体基板の酸化膜を形成する場合とか、半導体基板に
不純物をドープして拡散する場合には、これらの半導体
基板を適当な雰囲気ガスの中で高温に加熱することで行
われ、通常この場合の加熱炉は１０００℃程度の温度条
件で成される。

第１図は従来構造の縦型加熱炉の模式的断面図であり、
図において１は被加熱物を加熱する石英製の管状の容器
であり、この管状の容器には密封製の蓋２があり又、雰
囲気ガスの供給孔３と排出孔４があって、これらは、容
器の周囲に配設された加熱体５によって加熱されている
。

容器内で加熱されるバスケットホルダ６は石英製であり
、操作索条７によって上下に操作され、加熱処理された
バスケットホルダは、一部密封製の蓋を有する取り出し
桿８によって外部にとりだされる。

バスケットホルダ６の内部には複数個をウェハバスケッ
ト９が多段に搭載されていて同時に加熱されるが、通常
ウェハバスケットにばウェハが２５枚程度を１０ツトと
して収納して、化学処理や洗浄処理と併用されることが
多い。

この場合に、バスケットホルダは円筒形の半面が開口し
ているため、この部分に搭載されたウェハバスケットか
らウェハが落下するという恐れがあり、これの対策が要
望されている。

（ｄｌ　　発明の目的 本発明は、上記従来の欠点に鑑み、加熱炉に使用される
バスケットホルダに挿入するウェハバスケットからウェ
ハが落下しないようにウェハバスケットのストッパの利
用を提供することを目的とする。

（ｅｌ　　発明の構成 この目的は、本発明によれば、縦長の管体をほぼ垂直に
配置してなる容器と、該容器の両端部に設けられた蓋部
と、該容器を加熱する加熱部と半円筒の筒型バスケット
ホルダーとを有し、該バスケットホルダーに搭載される
ウェハバスケットの挿入方向の手前側にウェハ脱落防止
用ストッパを設けてなることを特徴とする縦型加熱炉を
提供することによって達成できる。

（ｆ）　　発明の実施例 一般に加熱炉内の容器の内径は、加熱効率が高く、又加
熱炉内の温度の均一性を得るために、被加熱体の寸法に
比較して必要最小限の内径に設定されるものであり、特
に、バスケットホルダーの場合には、その間隙がせいぜ
い数ｍｍ乃至拍数ｍｍ程度であるので、例えばバスケッ
トホルダーが若干でも振動するとか、又は取扱面でウェ
ハバスケットの位置が適正でないと、ウェハバスケット
の中からウェハが容器の壁面に当たるとか、落下すると
かの事故を招くことになる。

このためバスケットホルダに挿入されるウェハバスケッ
トには、ウェハが落下しないようなストッパを設ける必
要がある。

第２図は本発明のウェハバスケットの斜視図であるが、
半円形の籠型のバスケットホルダ１１があり、このバス
ケットホルダにはウェハ１２を多段に搭載したウェハバ
スケット１３があり、これらを複数個だけ搭載できるよ
うに、ウェハバスケット置台１４．１５があるが（第２
図ではウェハバスケット置台が２台の場合について図示
しである）、ウェハバスケット置台１５にはウェハバス
ケット１６が設置された状態であり、ウェハバスケット
置台１４にはウェハバスケット１３を設置するために、
バスケット用フォークリフト１７を用いて、リフト円筒
部１８にこれを挿入して搬入し、ウェハバスケット置台
１４に搭載せんとするものである。

本発明によるウェハバスケット１３に設けられたウェハ
落下防止ストッパ１９により、ウェハバスケットがバス
ケットホルダーに搭載された後でも、ウェハがウェハバ
スケットから落下することがなく又バスケットホルダー
側には支柱２０があり、このためにウェハバスケントか
らウェハが落下したり、ずれが発生することがなく、取
扱面の不備や、多少の外部の振動があってもウェハを破
損することが無い。

（ｇ）　　発明の効果 以上詳細に説明したように、本発明のバスケットホルダ
ーを使用することにより、ウェハの落下防止に対処し得
るという効果大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の加熱炉の模式図、第２図は本発明のバス
ケットホルダの斜視図である。 図において、１１はバスケットホルダ、１２はウェハ、
１３ハウエハバスケソト、１４．１５はウェハバスケッ
ト置台、１６はウェハバスケット、１７はバスケット用
フォークリフト、１８はリフト円筒部、１９はウェハ落
下防止ストッパ、２０は支柱である。 第１ｗＩ ■

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 縦長の管体をほぼ垂直に配置してなる容器と、該容器の
   両端部に設けられた蓋部と、該容器を加熱する加熱部と
   半円筒の籠型バスケットホルダーとを有し、該バスケッ
   トホルダーに搭載されるウェハバスケットの挿入方向の
   手前側にウェハ脱落防止用ストッパを設けてなることを
   特徴とする縦型加熱炉。