KR970030256A - 스핀 코팅장치 - Google Patents

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KR970030256A
KR970030256A KR1019950042627A KR19950042627A KR970030256A KR 970030256 A KR970030256 A KR 970030256A KR 1019950042627 A KR1019950042627 A KR 1019950042627A KR 19950042627 A KR19950042627 A KR 19950042627A KR 970030256 A KR970030256 A KR 970030256A
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KR
South Korea
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spin coating
wafer
chuck
coating apparatus
vacuum means
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Application number
KR1019950042627A
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English (en)
Inventor
오상정
남승희
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

웨이퍼와 척이 접촉하는 면적을 줄일 수 있는 스핀 코팅장치에 관하여 개시한다. 본 발명은 척과, 상기 척에 놓이는 웨이퍼와, 상기 웨이퍼와 척을 고정하는 진공수단을 구비하는 스핀 코팅장치에 있어서, 상기 진공수단과 상기 웨이퍼의 접촉부분은 면적이 최소화되도록 방사형(radial type) 또는 자유형(random type)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅장치를 제공한다. 본 발명에 의하명, 진공수단과 웨이퍼와의 접촉부위를 최소로 하여 균일한 두께의 박막을 효과적으로 제조할 수 있다.

Description

스핀 코팅장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 및 제3도는 본 발명에 스핀 코팅을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

Claims (1)

  1. 척과, 상기 척에 놓이는 웨이퍼와, 상기 웨이퍼와 척을 고정하는 진공수단을 구비하는 스핀 코팅장치에 있어서,
    상기 진공수단과 상기 웨이퍼의 접촉부분은 면적이 최소화되도록 방사형(radial type) 또는 자유형(random type)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅장치.
KR1019950042627A 1995-11-21 1995-11-21 스핀 코팅장치 KR970030256A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100853927B1 (ko) * 2001-04-17 2008-08-25 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 도포막 형성장치 및 스핀척

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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