KR970030256A - 스핀 코팅장치 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼와 척이 접촉하는 면적을 줄일 수 있는 스핀 코팅장치에 관하여 개시한다. 본 발명은 척과, 상기 척에 놓이는 웨이퍼와, 상기 웨이퍼와 척을 고정하는 진공수단을 구비하는 스핀 코팅장치에 있어서, 상기 진공수단과 상기 웨이퍼의 접촉부분은 면적이 최소화되도록 방사형(radial type) 또는 자유형(random type)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅장치를 제공한다. 본 발명에 의하명, 진공수단과 웨이퍼와의 접촉부위를 최소로 하여 균일한 두께의 박막을 효과적으로 제조할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 및 제3도는 본 발명에 스핀 코팅을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
Claims (1)
- 척과, 상기 척에 놓이는 웨이퍼와, 상기 웨이퍼와 척을 고정하는 진공수단을 구비하는 스핀 코팅장치에 있어서,상기 진공수단과 상기 웨이퍼의 접촉부분은 면적이 최소화되도록 방사형(radial type) 또는 자유형(random type)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950042627A KR970030256A (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 스핀 코팅장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950042627A KR970030256A (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 스핀 코팅장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970030256A true KR970030256A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66588544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950042627A KR970030256A (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 스핀 코팅장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970030256A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100853927B1 (ko) * | 2001-04-17 | 2008-08-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 도포막 형성장치 및 스핀척 |
-
1995
- 1995-11-21 KR KR1019950042627A patent/KR970030256A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100853927B1 (ko) * | 2001-04-17 | 2008-08-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 도포막 형성장치 및 스핀척 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |