KR970052044A - 반도체제조장치의 웨이퍼클램프 - Google Patents

반도체제조장치의 웨이퍼클램프 Download PDF

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Abstract

본 발명은 박막형성장치로서 사용되는 스퍼터링장치, 건식식각장치 및 이온주입장치 등의 반도체제조장치에서 웨이퍼를 고정하여 그 이탈을 방지하는데 사용되는 웨이퍼 클램프의 구조에 관한 것으로서, 링형상의 클램프몸체(10a)와; 상기 클램프몸체(10a)에 형성되어 있고, 상기 웨이퍼(20)의 에지에서 그 웨이퍼를 고정하기 위하여 상기 클램프몸체(10a)의 내주면에서 돌출하여 형성된 복수의 고정용 돌기(14)를 포함하는 구조를 갖는다. 상술한 웨이퍼클램프에 의하면, 웨이퍼의 에지와 접촉하는 면적을 줄일 수 있어서, 칩의 불량유발을 방지할 수 있고, 또한 공정중에 파티클의 발생을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

반도체제조장치의 웨이퍼클램프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 웨이퍼클램프의 구조를 보여주고 있는 도면으로서, 제2A도는 사시도를, 제2B도는 평면도를 그리고 제2C도는 단면도를 보여주는 도면.

Claims (5)

  1. 기판스테이지상에 재치된 웨이퍼(20)를 고정하여 그의 이탈을 방지하는데 사용되는 반도체제조장치의 웨이퍼클램프에 있어서, 링형상의 클램프몸체(10a)와; 상기 클램프몸체(10a)에 형성되어 있고, 상기 웨이퍼(20)의 에지에서 그 웨이퍼를 고정하기 위하여 상기 클램프몸체(10a)의 내주면에서 돌출하여 형성된 복수의 고정용 돌기(14)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼클램프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 고정용 돌기(14)는 클립형상의 돌기로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼클램프.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 고정용 돌기(14)는 적어도 3개의 돌기인 것을 특징으로 하는 웨이퍼클램프.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 고정용 돌기(14)는 서로 대향하여 배치된 4개의 돌기로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼클램프.
  5. 제1항에 있어서, 상기 고정용 돌기(14)는 1면이 약3mm인 정사각형인 구조인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 클램프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950055693A 1995-12-23 1995-12-23 반도체제조장치의 웨이퍼클램프 KR100205245B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023220210A1 (en) * 2022-05-13 2023-11-16 Lam Research Corporation Carrier ring with tabs

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