KR970028822A - 용해 억제제 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 노광전에는 포토레지스트의 용해를 억제하고, 노광후에는 노광에 따른 포토레지스트의 구조를 변화시켜 용해를 촉진시켜 주므로써, 포토레지스트의 노광된 부위 및 노광되지 않은 부분간의 콘트라스트를 향상시켜 줄 수 있는 용해 억제제에 관한 것이다. 본 발명은 기본 레진, 용해 억제제 및 포토-산 발생기로 구성되는 포토레지스트로써, 상기 용해 억제제는 하기의 구조를 갖는다.
여기서, R은 다음과 같이 표현된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (1)
- 기본 레진, 용해 억제제 및 포토-산 발생기로 구성되는 포토레지스트에 있어서, 상기 용해 억제제는 하기의 구조여기서, R은 다음과 같이 표현된다.를 갖는 것을 특징으로 하는 용해 억제제.※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950039895A KR970028822A (ko) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | 용해 억제제 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950039895A KR970028822A (ko) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | 용해 억제제 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970028822A true KR970028822A (ko) | 1997-06-24 |
Family
ID=66587382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950039895A KR970028822A (ko) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | 용해 억제제 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970028822A (ko) |
-
1995
- 1995-11-06 KR KR1019950039895A patent/KR970028822A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |