KR970028822A - 용해 억제제 - Google Patents

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KR970028822A
KR970028822A KR1019950039895A KR19950039895A KR970028822A KR 970028822 A KR970028822 A KR 970028822A KR 1019950039895 A KR1019950039895 A KR 1019950039895A KR 19950039895 A KR19950039895 A KR 19950039895A KR 970028822 A KR970028822 A KR 970028822A
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KR
South Korea
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dissolution
photoresist
dissolution inhibitor
present
inhibitor
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KR1019950039895A
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이대엽
박춘근
고영범
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

본 발명은 노광전에는 포토레지스트의 용해를 억제하고, 노광후에는 노광에 따른 포토레지스트의 구조를 변화시켜 용해를 촉진시켜 주므로써, 포토레지스트의 노광된 부위 및 노광되지 않은 부분간의 콘트라스트를 향상시켜 줄 수 있는 용해 억제제에 관한 것이다. 본 발명은 기본 레진, 용해 억제제 및 포토-산 발생기로 구성되는 포토레지스트로써, 상기 용해 억제제는 하기의 구조를 갖는다.
여기서, R은 다음과 같이 표현된다.

Description

용액 억제제
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (1)

  1. 기본 레진, 용해 억제제 및 포토-산 발생기로 구성되는 포토레지스트에 있어서, 상기 용해 억제제는 하기의 구조
    여기서, R은 다음과 같이 표현된다.
    를 갖는 것을 특징으로 하는 용해 억제제.
    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950039895A 1995-11-06 1995-11-06 용해 억제제 KR970028822A (ko)

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