KR970028689A - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치(LCD)의 제조방법에 관한 것으로써, 특히 상기 액정표시장치의 게이트라인(Gate Line)의 저항문제를 해결하여 고화질의 액정표시장치(HD급 LCD)를 제작할 수 있도록 한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시장치의 제조방법은 투명한 절연성 기판상에 다결정실리콘을 형성시켜 활성하는 제1공정과; 상기 제1공정의 다결정실리콘으로 형성된 활성층을 섬모양으로 패터닝한 후 그위에 게이트절연막을 형성하는 제2공정과; 상기 제2공정의 게이트절연막상에 불순물이 도핑된 다결정실리콘으로 형성된 제1게이트전극을 형성한 후 패터닝을 하고, 상기 활성층에 소스/드레인영역을 정의하기 위하여 붕소나 인을 이온 주입시킨 후 열처리를 통하여 주입된 불순물을 활성화시키는 제3공정과, 상기 제3공정의 제1게이트전극에 게이트 라인을 형성하기 위하여 저항이 낮은 메탈을 증착하고 증착된 메탈을 패터닝하는 제4공정과; 상기 제4공정의 전면에 제1층간절연막을 증착한 후 소스쪽에 메탈 컨텍홀을 형성하는 제5공정과; 상기 제5공정의 메탈 컨텍홀과 상기 제1층간절연막상에 메탈을 증착한 후 패터닝을 하고 열처리를 통하여 얼로잉시키는 제6공정과; 상기 제6공정의 전면에 제2층간절연막을 증착하고, 드레인쪽에 화소전극 컨텍홀을 형성하는 제7공정과; 상기 제7공정의 제2층간절연막과, 화소전극 컨텍홀위에 투명전극물질로 화소전극을 증착하고 패터닝을 한 후, 그위에 보호막을 증착하는 제8공정으로 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

액정표시장치의 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 본 발명의 액정표시장치의 화소부 평면도,

제4도 (a) (b) 는 제3도의 A-A선, B-B선 단면을 기준한 본 발명의 액정표시장치의 제조공정순서를 나타낸 도면.

Claims (3)

1. 투명한 절연성 기판상에 다결정실리콘을 형성시켜 활성층을 형성하는 제1공정과; 상기 제1공정의 다결정 실리콘으로 형성된 활성층을 섬모양으로 패터닝한 후 그위에 게이트 절연막을 형성하는 제2공정과; 상기 제2공정의 게이트절연막상에 불순물이 도핑된 다결정실리콘으로 형성된 제1게이트 전극을 형성한 후 패터닝을 하고, 상기 활성층에 소스/드레인영역을 정의하기 위하여 붕소나 인을 이온 주입시킨 후 열처리를 통하여 주입된 불순물을 활성화시키는 제3공정과, 상기 제3공정의 제1게이트전극에 게이트 라인을 형성하기 위하여 저항이 낮은 메탈을 증착하고 증착된 메탈을 패터닝하는 제4공정과; 상기 제4공정의 전면에 제1층간절연막을 중착한 후 소스쪽에 메탈 컨텍홀을 형성하는 제5공정과; 상기 제5공정의 메탈 컨텍홀과 상기 제1층간절연막상에 메탈을 증착한 후 패터닝을 하고 열처리를 통하여 얼로잉시키는 제6공정과; 상기 제6공정의 전면에 제2층간절연막을 증착하고, 드레인쪽에 화소전극 컨텍홀을 형성하는 제7공정과; 상기 제7공정의 제2층간절연막과, 화소전극 컨텍홀위에 투명전극물질로 화소전극을 증착하고 패터닝을 한 후, 그위에 보호막을 증착하는 제8공정으로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 게이트 절연막위에 다결정실리콘으로 된 제1게이트전극을 형성하고 패터닝할때 상기 패터닝되는 형태는 박막트랜지스터가 형성되는 부분에만 상기 게이트전극인 다결정실리콘이 남아있도록 패터닝함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 제 1게이트전극에 게이트라인을 만들기 위한 저항이 낮은 메탈은 Al이나 Al/Si 합금등으로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.

   ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.