KR970016771A - 마스크 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 마스크 제조 방법에 관한 것으로, 특히 마스크면 내에서 균일하게 노광하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적을 위하여 본 발명은 패턴의 설계 단위 크기에 맞추어 노광의 비임 크기를 설정하는 단계, 비임 크기를 줄여 노광하고 오버 프로세스를 행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조 방법이다.
본 발명에 의하면 설계에서 서로 다른 어드레스 유니트를 사용하더라도 균일하게 비임 사이즈와의 차이를 유지하면 공정 조건도 단순하게 되고 제품의 CD 균일성을 확보할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2도는 본 발명의 노광시 비임의 크기(b')가 패턴의 설계 단위 크기(a') 보다 적은 경우를 도시한 것이다.
Claims (1)
- 마스크 제작 공정에서 노광 설비에서 노광을 행하는 마스크 제작 공정에 있어서, 패턴의 설계 단위 크기에 맞추어 노광의 비임 크기를 설정하는 단계 ; 상기 비임 크기를 줄여 노광하고 오버 프로세스를 행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950032986A KR970016771A (ko) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 마스크 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950032986A KR970016771A (ko) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 마스크 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970016771A true KR970016771A (ko) | 1997-04-28 |
Family
ID=66615459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950032986A KR970016771A (ko) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 마스크 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970016771A (ko) |
-
1995
- 1995-09-29 KR KR1019950032986A patent/KR970016771A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |