KR970011997A - 위상 시프트 마스크 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초미세한 패턴의 형성을 필요로 하지 않고, 노광시의 상형성에 악 영향을 미치는 광강도의 서브피크를 억제하면서 소자영역 외측부의 다중노광되는 영역에서의 투과율을 낮춘 차광패턴을 가지는 하프톤 위상 시프트 마스크 등의 위상 시프트마스크로서, 투명기판상(101)에 단층 또는 2층 이상의 층으로 이루어지는 하프톤 위상 시프트 막(102)을 가지는 하프톤 위상시프트 마스크에 있어서, 투명기판(101)상 조가영역 외측부의 다중노광되는 영역(107)에 있어서 하프톤 위상 시프트 막(102)의 조성을 전자파, 입자선, 열선 등을 조사하는 방법, 조성을 변화시키고 싶지 않은 영역을 마스킹한 후에 전체를 활성한 분위기에 드러내는 방법으로 바꾸므로써 그 영역의 노광광에 대한 투과율을 낮춘 위상 시프트마스크 및 그 제조방법이다.

Description

위상 시프트 마스크 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명 실시 예 1의 하프톤 위상 시프트 마스크를 형성하는 공정도.
제 2도는 실시 예 2의 하프톤 위상 시프트 마스크를 형성하는 공정도.
제 3도는 실시 예 3의 하프톤 위상 시프트 마스크를 형성하는 공정도.
제 10도는 실시 예 4의 하프톰 위상 시프트 마스크 제조방법의 공정을 나타낸 도면.
제 11도는 실시 예 5의 위상시프트 마스크 제조방법의 공정을 나타낸 도면 중 일부.
제 12도는 실시 예 5의 위상시프트 마스크 제조방법의 공정을 나타낸 도면 중 나머지 일부.
제 13도는 실시 예 6의 위상 시프트 마스크 제조방법의 공정을 나타낸 도면.
제 14도는 실시 예 7의 위상 시프트 마스크 제조방법의 공정을 나타낸 도면.

Claims (15)

  1. 투명기판상에 단?? 또는 2층 이상의 층으로 이루어지는 하프톤 위상시프트막을 가지는 하프톤 위상 시프트 마스크에 있어서, 상기 하프톤 위상 시프트 막중 적어도 1층이 1종유 이상의 금속원소와, 산소, 불소, 탄소, 질소, 염소 중 한 종류 이상의 원소와의 화합물을 주성분으로 하는 층으로 이루어지고, 또 상기 투명 기판상 일부의 영역에 있어서, 상기 화합물의 산소, 불소, 탄소, 질소, 염소의 함유량이 다른 영역에서의 함유량과 다른 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크.
  2. 투명기찬상에 단층 또는 2층이상의 층으로 이루어지는 하프톤 위상 시프트 막을 가지는 하프톤 위상 시프트 마스크에 있어서, 상기 하프톤 위상 시프트 막중 적어도 하프톤 위상 시프트 마스크에 있어서, 상기 하프톤 위상 시프트 막 중 적어도 1층이 상그 투명기판상의 일부 영역에 있어서 크롬원소와 산소 원자로 이루어지는 화??물을 주성분으로 하는 막이고 그 외의 영역에 있어서 크롬원소와 불소원소로 이루어지는 화합물을 주성분으로 하는 막인 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 하프톤 위상 시프트 막의 노광광에 대한 투과율의 투명기판의 투과율을 100%로 했을때에 일부 영역에 있어서 1% 이하이고 그 외의 영역에 있어서 1∼50%인 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 일부의 영역이 하프톤 위상 시프트 마사크 전사시의 다중 노광부에 대응하는 영역을 포함하는 마스크 주변부인 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 일부 영역이 하프톤 위상 시프트 효과에 의하지 않고도 해상 가능한 패턴의 주변부인 것을 특징으로 하는 하프톤 윙 시프크 마스크.
  6. 투명기판상에 단층 또는 2층 이상의 층으로 이루어지는 하프톤 위상 시프트 막을 가지는 하프톤 위상 시프트 마스크에 있어서, 투명기판상의 일부 영역에 있어서 초미립자막으로 이루어지는 노광광을 차광하는 패턴이 형성되어 잇는 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크.
  7. 제 6항에 있어서, 초미립자막으로 이루어지는 패턴이 형성되어 있는 영역이 하프톤 위상 시프트 마스크 전사시의 다중 노광부에 대응하는 영역을 포함하는 마스크 주변부인것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크
  8. 제 6항에 있어서, 초미립자막으로 이루어지는 패턴이 형성되어 있는 영역이 하프톤 위상 시프트 효과에 의하지 않고도 해상가능한 패턴의 주변부인 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크.
  9. 투명기판상에 단츤 또는 2층 이상의 층으로 이루어지는 하프톤 위상 시프트 막을 가지는 하프톤 위상 시프트 마스크에 있어서, 초미립자막을, 가스 형상의 초미립자는 상기 기판상에 내뿜으므로써 형성하는 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 시프트 마스크의 제조방법.
  10. 투명기판상에 적어도 차광막의 제 1패턴과 제 1패턴상에 적층된 위상 시프트 막의 제 2패턴을 가지는 위상 시프트 마스크에 있어서, 상기 투명기판상에 상기 차광막의 막두께가 큰 영역과 작은 영역이 존재하는 것을 특징으로 하는 위상시프트 마스크.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 차광막의 막 두께가 큰 영역이 전사시의 다중 노광부에 대응하는 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 시프트 마스크.
  12. 투명 기판상에 적어도 차광막의 제 1패턴과 제 1패턴상에 적층된 위상 시프트 막의 제 2패턴을 가지는 위상 시프트 마스크에 있어서, 상기 차광막이 다수의 층으로 이루어지는 다층막으로 이루어지고 상기 투명기판상에 상기 다층막을 구성하는 층수가 많은 영역과 1층을 포함하는 적은 영역이 존재하는 것을 특징으로 하는 위상 시프트 마스크.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 차광막의 층수가 많은 영역이 전사시의 다중 노광부에 대응하는 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 시프트 마스크.
  14. 투명기판상에 적어도 차광막의 제 1패턴과 제 1패턴상에 적충된 위상 시프트 막의 제 2패턴을 가지는 위상 시프트 마스크에 있어서, 상기 제 2패턴 상에 차광성의 제 3패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 위상 시프트 마스크.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 제 3패턴이 형성된 영역이 전사시의 다중 노광부에 대응하는 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 시프트 마스크.
    ※ 참고 사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
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