KR970009008A - 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이 및 그의 제조방법 - Google Patents

파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이 및 그의 제조방법 Download PDF

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Abstract

2이상의 반송파들을 포함하는 파장분할다중광을 수신하여 각 반송파마다 공간적으로 식별가능한 출사광을 생성하는 "가상영상위상어레이" 또는 "파장분파기"로서, 가상영상위상어레이는 제1 및 제2표면을 갖는 투명재료를 포함한다. 제2표면은 입사광의 일부가 투과할 수 있는 반사율을 갖는다. 파장분할다중광은 제1 및 제2표면들간의 투명재료에서 복수회 반사하여 복수의 광들이 제2표면을 투과한다. 복수의 투과된 광은 서로 간섭하여 파장분할다중광의 각 반송파마다 출사광을 생성한다. 또한 각 반송파는 연속파장범위내의 파장을 가지며 또한 각 반송파에 대해 형성되는 출사광은 연속파장범위내의 다른 파장을 갖는 반송파에 대해 형성되는 출사광으로부터 공간적으로 식별가능하다. 가상영상위상어레이의 제조방법은 투명재료상에 반사막과 창을 형성하는 단계들을 포함한다.

Description

파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이 및 그의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 파장분할다중광(wavelength division multi plexed light)을 분파하기 위한 종래의 어레이 도파로격자(array waveguide grating)을 나타내는 도면, 제6도는 본 발명의 일실시예에 의한 파장분파기(wavelength splitter)를 나타내는 도면, 제7도는 제6도에 나타낸 파장분파기의 선 Ⅶ-Ⅶ의 횡단면을 나타내는 도면, 제8도는 제6도의 파장분파기에 의해 생성된 반사광들간의 간섭을 나타내는 도면, 제9도는 광속(luminous flux)의 형성을 보여주기 위해 제6도에 나타낸 파장분파기의 선 Ⅶ-Ⅶ의 횡단면을 나타내는 도면.

Claims (32)

  1. 연속파장범위내의 각 파장을 갖는 입사광을 수신하여 입사광의 다중반사에 의해 자기간섭을 생성하여 출사광을 형성함으로서, 상기 출사광이 연속파장범위내의 다른 파장을 갖는 입사광에 대해 형성되는 출사광으로 부터 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  2. 제1항에 있어서, 서로 격리된 제1 및 제2표면을 더 포함하며, 그에 의해 상기 제1 및 제2표면간에서 입사광의 다중반사를 생성하는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2표면은 입사광의 다중반사동안 입사광이 제2표면을 반사할때마다 입사광의 일부가 통과하는 반사율을 가지며, 그에 의해 복수의 투과된 광이 제2표면을 통과하여 서로 간섭하여 입사광의 자기간섭을 생성하여 출사광을 형성하는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2표면 사이에 위치되는 유리재료를 더 포함하며, 상기 제1 및 제2표면 사이의 유리재료내에서 입사광의 다중반사가 발생하는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  5. 제3항에 있어서, 상기 출사광을 집광하는 렌즈와, 상기 집광된 출사광을 수신하기 위해 수광기와 광전송선로로된 그룹의 하나를 더 포함하는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  6. 제3항에 있어서, 상기 입사광을 선으로 집속하는 렌즈를 더 포함하며, 상기 입사광은 상기 선으로부터 발산되어 상기 제1 및 제2표면간에서 수신되어 그들간에서 반사되는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  7. 제4항에 있어서, 상기 입사광을 선으로 집속하는 렌즈와, 상기 유리기판상에 형성되며 적어도 부분적으로 투명한 조사창을 더 포함하며, 상기 입사광은 상기 선으로부터 발산한 다음 상기 조사창을 통해 진행하여 상기 유리재료에 입사하여 제1 및 제2표면간에서 반사되는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  8. 제1항에 있어서, 상기 입사광은 각각 상이한 파장을 갖는 2이상의 광을 포함하며 상기 입사광마다 출사광을 형성하며, 상기 각 출사광은 다른 출사광으로부터 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  9. 제1항에 있어서, 상기 입사광은 복수의 반송파들을 포함하는 파장분할다중광이고, 상기 입사광의 각 반송파마다 출사광을 형성하며, 상기 각 출사광은 다른 출사광으로부터 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  10. 제9항에 있어서, 서로 격리된 제1 및 제2표면을 더 포함하며, 상기 제2표면은 입사광의 다중반사동안 입사광이 제2표면을 반사할때마다 입사광의 일부가 통과하는 반사율을 가지며, 그에 의해 복수의 투과된 광이 제2표면을 통과하여 서로 간섭하여 입사광의 자기간섭을 생성하여 입사광의 각 반송파마다 출사광을 형성하는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  11. 제8항에 있어서, 상기 각 출사광은 다른 출사광보다 상이한 방향으로 그에 의해 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  12. 입사광을 수신하여 공간적으로 식별가능한 출사광을 생성하는 장치에 있어서, 제1 및 제2표면을 갖는 투명재료를 포함하며, 상기 제2표면은 입사광의 일부가 투과하는 반사율을 가지며, 상기 입사광은 상기 제1 및 제2표면간의 투명재료에서 복수회 반사하여 복수의 투과광이 상기 제2표면을 투과하여 서로 간섭하여 출사광을 생성하며, 상기 입사광은 연속파장범위내의 파장을 가지며 상기 출사광은 연속파장범위내의 다른 파장을 갖는 입사광에 대해 형성되는 출사광으로부터 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제1 및 제2표면은 서로 평행한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  14. 제12항에 있어서, 상기 제1표면의 반사율은 거의 100%인 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  15. 제12항에 있어서, 상기 제2표면의 반사율은 거의 80% 이상 100% 이하인 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  16. 제14항에 있어서, 상기 제1표면의 반사율은 거의 80% 이상 100% 이하인 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  17. 제12항에 있어서, 상기 투명재료위에 형성되며 적어도 부분적으로 투명한 창을 더 포함하며, 상기 입사광은 상기 조사창을 통과하여 상기 투명재료로 입사하여 상기 제1 및 제2표면간에서 반사하는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  18. 제17항에 있어서, 상기 창은 상기 제1 및 제2표면중 하나와 동일 평면내의 투명재료상에 형성되는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  19. 제17항에 있어서, 상기 입사광은 상기 제1 및 제2표면간에서 반사되는 동안 상기 창을 통해 출사하지 않도록 방지하는 각도로 상기 창을 통해 입사하는 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  20. 제12항에 있어서, 상기 입사광은 상이한 파장을 갖는 2이상의 광을 포함하며, 상기 복수의 투과광은 서로 간섭하여 상기 입사광의 각 광마다 출사광을 생성하며, 상기 각 출사광은 다른 출사광으로부터 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  21. 제12항에 있어서, 상기 입사광은 상이한 파장을 갖는 적어도 2반송파들을 포함하는 포장분할다중광이고, 상기 복수의 투과광은 서로 간섭하여 상기 입사광의 각 광마다 출사광을 생성하며, 상기 각 출사광은 다른 출사광으로부터 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  22. 제21항에 있어서, 상기 각 출사광은 다른 출사광보다 상이한 방향으로 진행하며 그에 의해 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  23. 2이상의 반송파들을 포함하는 파장분할다중광을 수신하여 각 반송파마다 공간적으로 식별가능한 출사광을 생성하는 장치에 있어서, 제1 및 제2표면을 갖는 투명재료를 포함하며, 상기 제2표면은 입사광의 일부가 투과하는 반사율을 가지며, 상기 파장분할다중광은 상기 제1 및 제2표면간의 투명재료에서 복수회 반사하여 복수의 투과광이 상기 제2표면을 투과하여 파장분할다중광의 각 반송파마다 서로 간섭하는 출사광을 생성하며, 상기 각 반송파는 입사광은 연속파장범위내의 파장을 가지며 상기 각 반송파에 대해 형성되는 출사광은 연속파장범위내의 다른 파장을 갖는 반송파에 대해 형성되는 출사광은 연속파장범위내의 다른 파장을 갖는 반송파에 대해 형성되는 출사광으로부터 공간적으로 식별가능한 것이 특징인 파장 디멀티플렉서의 가상영상위상어레이.
  24. 투명재료의 제1표면상에 제1반사막을 형성하는 단계와, 입사광이 제1 및 제2반사막들간의 투명재료에서 복수회 반사하도록 투명재료의 제2표면상에 제2반사막을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제2반사막은 제1반사막의 반사율 이하의 반사율을 가지며 입사광이 제2반사막을 반사할 때마다 입사광의 일부가 통과하도록 하여 제2반사막을 통해 복수의 투과된 광들이 통과하도록 하고 또한 제1 및 제2반사막들은 복수의 투과된 광들이 서로 간섭하여 입사광의 자기간섭을 제공하도록 함으로서 연속파장범위내의 다른 파장을 갖는 입사광에 대해 출사광으로부터 공간적으로 식별가능한 출사광을 형성하는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  25. 제24항에 있어서, 입사광이 통과하여 투명재료에 입사되어 상기 제1 및 제2반사막들 간에서 반사되도록 상기 제1 및 제2반사막들중 하나와 동일 평면내의 상기 투명재료상에 적어도 일부가 투명한 창을 형성하는 단계를 더 포함하는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  26. 제25항에 있어서, 상기 창형성단계는 상기 창과 동일 평면내의 반사막의 일부를 절삭하여 형성하는 것을 포함하는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  27. 제25항에 있어서, 상기 창형성단계는 상기 창과 동일 평면내의 반사막의 일부를 식각하여 형성하는 것을 포함하는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  28. 제25항에 있어서, 상기 창형성단계는 상기 창과 동일 평면내의 반사막이 상기 투명재료의 부분상에 형성되지 않도록 하기 위해 마스크공정을 사용하여 투명재료의 일부상에 창을 형성하는 것을 포함하는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  29. 제25항에 있어서, 상기 제1 및 제2표면은 서로 평행한 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  30. 투명재료의 제1표면상에 제1반사막을 형성하는 단계와, 상기 제1표면과 평행한 투명재료의 제2표면상에 상기 제1반사막 보다 작은 반사율을 갖는 제2반사막을 형성하는 단계와, 입사광이 통과하여 투명재료에 입사되어 상기 제1 및 제2반사막들간에서 반사되도록 상기 제1 및 제2반사막들중 하나와 동일 평면내의 상기 투명재료상에 적어도 일부가 투명한 창을 형성하는 단계를 포함하는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  31. 제30항에 있어서, 상기 창은 제1 및 제2반사막들중 하나와 동일한 평면내에 있으며, 상기 창형성단계는 상기 창과 동일 평면인 반사막의 일부를 절삭하여 형성되는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
  32. 제30항에 있어서, 상기 창은 제1 및 제2반사막들중 하나와 동일한 평면내에 있으며, 상기 창형성단계는 상기 창과 동일 평면인 반사막의 일부를 식각하여 형성되는 것이 특징인 가상영상위상어레이의 제조방법.
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