KR970006545A - 에칭용 전극 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR970006545A
KR970006545A KR1019960008765A KR19960008765A KR970006545A KR 970006545 A KR970006545 A KR 970006545A KR 1019960008765 A KR1019960008765 A KR 1019960008765A KR 19960008765 A KR19960008765 A KR 19960008765A KR 970006545 A KR970006545 A KR 970006545A
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KR
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electrode
etching
manufacturing
temperature
same
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KR1019960008765A
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English (en)
Inventor
도시히사 노자와
도시아키 기타무라
아키히로 가와이
다카시 니시자와
가즈오 무라마츠
데츠오 스즈키
슌스케 다카다
Original Assignee
가메다카 소키치
가부시키가이샤 고베 세이코쇼
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32532—Electrodes
    • H01J37/3255—Material

Abstract

유리형 카본 보다 훨씬 긴 수명을 갖는 값싼 에칭용 전극을 제공한다. 에칭용 전극은 겉보기 밀도가 1.7배 이상인 고밀도 결정구조로 이루어진 고강고 카본으로 형성하였다.

Description

에칭용 전극 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 전극의 겉보기 밀도 대 수명을 나타내는 도면.

Claims (3)

  1. 경질카본으로 이루어져 있고 겉보가 밀도가 1.7 이상인 고밀도 결정구조를 가지는 것을 특징으로 하는 에칭용 전극.
  2. 불활성 분위기에서 열경화성 수지를 소성하고, 800기압 이상 또는 2100℃ 온도 이상으로 열간 이소태틱 처리(HIP)를 시행하는 공정으로 카본계 전극에서 더욱 고순도를 얻는 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 제1항 기재의 에칭용 전극의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 1000 내지 1800℃로 열경화성 수지를 소성하여 탄화소성품을 얻고, 상기 소성품에 800기압 이상 또는 2100℃ 온도이상으로 열간 이소태틱 처리(HIP)를 행하고, 상기 HIP 처리품에 할로겐가스 분위기에서 2000℃ 온도 이상으로 고순도화 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 에칭용 전극의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960008765A 1995-07-31 1996-03-28 에칭용 전극 및 그 제조방법 KR970006545A (ko)

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JP7195389A JPH0941166A (ja) 1995-07-31 1995-07-31 エッチング用電極、及びその製造方法
JP95-195389 1995-07-31

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JPH0941166A (ja) 1997-02-10
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