KR940014892A - 질화티탄막의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 금속표면에 밀착성이 우수한 질화티탄막을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 금속표면에 멀티아크(malti-arc)법을 이용하여 질화티탄막을 형성하고 여기에 열처리를 가하여 고밀착성을 갖는 질화티탄막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따라 금속표면에 질화티탄막을 형성시키는 장치의 개략도이다.
Claims (1)
- 질화티탄막을 형성시키는 진공챔버내에 설치되어 있는 음극에서 아크방전을 일으켜 그 음극에서 금속티탄을 증발, 증기화시키면서 진공챔버내 설치되어 있는 피처리물 금속표면에 증발된 금속티탄이 증착되도록 하여 질화티탄막을 형성함에 있어서, 질소분위기 하에서 멀티아크법으로 피처리물 금속표면에 질화티탄막을 증착 형성시킨 다음, 전기로를 사용하여 250℃~350℃에서 1~2시간동안 열처리하여서 됨을 특징으로 하는 질화티탄막의 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920024488A KR940014892A (ko) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 질화티탄막의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920024488A KR940014892A (ko) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 질화티탄막의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940014892A true KR940014892A (ko) | 1994-07-19 |
Family
ID=67214621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920024488A KR940014892A (ko) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 질화티탄막의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940014892A (ko) |
-
1992
- 1992-12-16 KR KR1019920024488A patent/KR940014892A/ko not_active Application Discontinuation
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