KR970003746A - 디펙트 모니터링용 레티클 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 디펙트 모니터링용 레티클에 관하여 개시된다.
본 발명의 레티클은 제1패드가 제공되고, 상기 제1패드에 일정간격 이격되어 제2패드가 제공되고, 상기 제1패드와 상기 제2패드가 상호 연결되도록 지그 제그 형태의 라인이 형성되고,상기 제1패드, 상기 제2패드 및 상기 라인이 일체화로된 단위 패턴을 석영기판상에 다수개 배열시켜 이루어진다. 이러한본 발명의 레티클을 사용하면 디펙트 검사 시스템으로 디펙트의 발생빈도를 분석할 수 있게 할 뿐만 아니라 전기적인 측정도 가능하게 하여 디펙트의 정량적, 정성적 및 유형별 분석을 정확히 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장비의 주기적인보수 및 유지를 위한 기준 설정이 용이하고, 장비의 관리 및 업-타임(up-time)증가로 인한 생산성을 향상 시킬 뿐만 아니라 디펙트의 발생을 예측할 수 있어 소자의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

디펙트 모니터링용 레티클
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 단위 패턴의 상세도.

Claims (8)

  1. 제1패드가 제공되고, 상기 제1패드에 일정간격 이격되어 제2패드가 제공되고, 상기 제1패드와 상기 제2패드가 상호 연결되도록 지그 제그 형태의 라인이 형성되고, 상기 제1패드, 상기 제2패드 및 상기 라인이 일체화로된 단위패턴을 석영기판상에 다수개 배열시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단위 패턴은 크롬으로 형성되는 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
  3. 제1항에 있어서, 상기 단위 패턴의 전체 형태는 가로길이가 450 내지 550μm이고, 세로길이가 900 내지1100μm인 사각형태로서, 상기 단위 패턴의 제1 및 2 패드는 사각형태의 위쪽영역에서 가로길이 450 내지 550μm와 세로길이 150 내지 250μm의 범위에 포함되도록 형성되고, 상기 단위 패턴의 라인은 사각형태의 아래쪽영역에서 가로길이 450내지 550μm와 세로길이 750 내지 850μm의 범위에 포함되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
  4. 제1항에 있어서, 다수의 상기 단위 패턴은 석영기판상에 가로로 30개가 배열되어 하나의 행을 이루게 하고, 세로로 9개가 배열되어 하나의 열을 이루게 하여, 다수의 상기 단위 패턴으로 30개의 열과 9개의 행이 되도록 상기 석영기판상에 상기 단위 패턴이 배열된 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
  5. 제4항에 있어서, 다수의 상기 단위 패턴이 배열되어 이루어진 9개의 행중 3개의 행씩 스크라이브 라인으로구분되어 제1 내지 3 필드영역이 석영기판상에 형성되는 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 내지 3 필드영역은 가로길이 14000 내지 17000μm와 세로길이 8500 내지 10500μm의 범위에 포함되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
  7. 제1항에 있어서, 상기 단위 패턴의 라인의 폭 및 근접 라인간의 간격 각각의 크기는 소자를 제조하기 위한각 공정단계에서 형성될 층의 최소 크기에 부합되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
  8. 제1항에 있어서, 상기 단위 패턴의 라인의 폭 및 근접 라인간의 간격 각각의 크기는 상기 단위 패턴이 다수개 배열되어 이루어지는 다수의 행 각각의 따라 크기를 다르게 하는 것을 특징으로 하는 디펙트 모니터링용 레티클.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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