KR970002885A - 화학적-기계적 폴리싱에 의해 형성된 돌출한 기록/독출 요소를 갖는 박막 슬라이더와 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 돌출한 R/W 디바이스를 갖는 복합성 박막 슬라이더에 관한 것으로 R/W 디바이스는 기판위로 돌출하도록 화학적-기계적 폴리싱으로 형성되어 상기 R/W 디바이스와 기록매체 사이의 거리를 감소시킨다. 슬라이더는 실질적으로 평평한 베어링면과 R/W 디바이스를 갖는 세라믹 혹은 비-세라믹 기판을 포함한다. R/W 디바이스는 기판의 증착 단부 위에 증착된 절연체와 어떤 도전성 R/W 요소들을 포함한다. R/W 요소들은, 예를 들어, 자기실드층, 자기저항띠층과 자기 폴 팁층을 포함할 수 있으며 모두 기판의 증착 단부 위에 적층된다. R/W 요소들은 기판의 베어링면을 지나 충분히 연장되도록 절연체로부터 돌출한다. 상기 슬라이더를 제조하기 위하여 그 위에 증착된 R/W 디바이스를 갖는 기판은 연마 슬러리로 폴리싱되며 R/W 요소들에 대해 기판과 절연체는 불균형하게 침식된다. 따라서 R/W 요소들은 절연체와 세라믹 기판의 베어링면으로부터 돌출된다.

Description

화학적-기계적 폴리싱에 의해 형성된 돌출한 기록/독출 요소를 갖는 박막 슬라이더와 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 따른 슬라이더의 사시도.

Claims (35)

  1. (1) 베어링면(bearing surface)과 상기 베어링면에 인접한 증착 단부(deposit end)를 포함하는 기판을 제공하는 단계와; (2)① ㉠ 상기 절연체내에 적어도 하나의 자기 실드층(magnetic shield layer)을 파묻는 단계와; ㉡ 상기 절연체내에 자기저항띠층(magnetoresistive stripe lauer)을 파묻는 단계와; ㉢ 상기 절연체내에 자기 폴 팁층(magnetic pole tip layer)을 파묻는 단계를 포함하는 R/W 요소들을 제공하는 단계와; ② 상기 기판의 재료와는 다른 재료를 포함하는 절연체를 상기 증착 단부에 적층(layering)하는 단계를 포함하는 상기 증착 단부의 위에 R/W 디바이스를 생성하는 단계와; (3) 상기 R/W 요소들에 대해 상기 베어링면과 상기 절연체를 불균형하게 침식(erode)하여 상기 R/W 요소들이 상기 절연체로부터 돌출하고 또한 상기 기판의 베어링면을 넘어서 돌출하도록 상기 베어링면을 연마 슬러리(lapping slurry)로 폴리싱(polishing)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연마 슬러리는 산화물과 액체를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 산화물은 제2산화실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 산화물은 산화 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  5. 제2항에 있어서, 상기 산화물은 산화 세륨을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기 산화물은 세라믹 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  7. 제2항에 있어서, 상기 액체는 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  8. 제2항에 있어서, 상기 액체는 글리콜을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  9. 제2항에 있어서, 상기 연마제는 계면활성제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 기판은 세라믹 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 기판은 TiC와 Al2O3을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 카바이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  14. 제1항에 있어서, 상기 기판은 산화 지르코늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  15. 제1항에 있어서, 상기 R/W 요소들은 도전성 물질을 포함하는 것을 특징으로하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  16. 제1항에 있어서, 상기 R/W 요소들은 자기 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  17. 제1항에 있어서, 상기 연마 슬러리는 상기 기판과 상기 절연체에 화학적으로 침식성을 갖는 물질을 포함하며 상기 폴리싱 단계는 상기 기판과 상기 절연체를 상기 연마 슬러리로 기계적, 화학적으로 침식시키는 동안 상기 베어링면을 플로우트 폴리싱하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  18. 제1항에 있어서, 상기 연마 슬러리는 상기 기판과 상기 절연체에 화학적 그리고 기계적으로 침식성을 갖는 물질을 포함하며 상기 폴리싱 단계는 상기 기판과 상기 절연체를 상기 연마 슬러리로 기계적, 화학적으로 침식시키는 동안 상기 베어링면을 플로우트 폴리싱하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  19. 제1항에 있어서, 상기 기판, 상기 절연체 및 상기 R/W 요소들 위에 보호층을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 보호층은 카본을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  21. 제19항에 있어서, 상기 R/W 요소들에 근접하여 있는 상기 보호층을 줄이기 위해 상기 슬라이더 표면을 폴리싱하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록/독출 헤드용 슬라이더의 제조방법.
  22. 베어링면과 상기 베어링면에 인접하는 증착 단부를 포함하는 기판과; 상기 증착 단부 위에 적층된 절연체와; 상기 절연체내에 파묻힌 자기실드층과 상기 절연체내에 파묻힌 자기저항띠층과 상기 절연체내에 파묻힌 자기 폴 팁층을 포함하는 독출/기록 디바이스로 구성되며, 여기서 상기 자기실드층과 상기 자기저항띠층과 상기 폴 딥층 중의 적어도 하나는 상기 베어링면에 대해 위로 돌출하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  23. 제22항에 있어서, 상기 절연체는 알루미나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  24. 제22항에 있어서, 상기 절연체는 산화물-베이스의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  25. 제22항에 있어서, 상기 기판은 TiC와 Al2O3을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  26. 제22항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 카바이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  27. 제22항에 있어서, 상기 기판은 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  28. 제22항에 있어서, 상기 기판은 지르코늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  29. 제22항에 있어서, 상기 기판은 세라믹 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  30. 제22항에 있어서, 상기 기록/독출 디바이스는 상기 절연체 내에 파묻힌 제2의 자기실드층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  31. 제30항에 있어서, 상기 제2의 자기실드층은 상기 베어링면에 대해 위로 돌출하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  32. 제22항에 있어서, 상기 기판과 상기 절연체 및 상기 돌출한 층들위에 증착된 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  33. 제32항에 있어서, 상기 보호층은 카본을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  34. 제32항에 있어서, 상기 보호층은 상기 R/W 요소들과 근접한 영역에서 두께가 감소되는 것을 특징으로 하는 자기 기록매체로부터 디지털 데이터를 자기적으로 독출/기록하기 위한 슬라이더.
  35. 실질적으로 평평한 베어링면과 상기 베어링면에 인접한 증착 단부를 포함하는 기판과; 상기 증착 단부위에 증착된 절연체와 상기 증착 단부 위에 증착되고 상기 베어링면 위로 돌출하는 복수의 R/W 요소들을 포함하는 상기 증착 단부에 증착되는 R/W 디바이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 신호들을 자기 기록매체로 주고받기 위한 박막헤드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960020206A 1995-06-07 1996-06-07 화학적-기계적 폴리싱에 의해 형성된 돌출한독출/기록구성요소를 갖는박막슬라이더 및 그 제조방법 KR100235086B1 (ko)

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