KR960706220A - 초음파모터용 압전진동자 그 장착방법 및 제조방법 및 정재파형 초음파모터 - Google Patents

초음파모터용 압전진동자 그 장착방법 및 제조방법 및 정재파형 초음파모터

Info

Publication number
KR960706220A
KR960706220A KR1019960702012A KR19960702012A KR960706220A KR 960706220 A KR960706220 A KR 960706220A KR 1019960702012 A KR1019960702012 A KR 1019960702012A KR 19960702012 A KR19960702012 A KR 19960702012A KR 960706220 A KR960706220 A KR 960706220A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
ultrasonic motor
piezoelectric
vibrator
fixture
Prior art date
Application number
KR1019960702012A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100276632B1 (ko
Inventor
꼬우이찌 까나야마
히로아끼 사이고
마유미 까와사끼
노부히로 마루꼬
Original Assignee
고다 시게노리
미쓰이세키유가가쿠고교 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 고다 시게노리, 미쓰이세키유가가쿠고교 가부시끼가이샤 filed Critical 고다 시게노리
Publication of KR960706220A publication Critical patent/KR960706220A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100276632B1 publication Critical patent/KR100276632B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/003Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
    • H02N2/004Rectangular vibrators
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0055Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/0075Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
    • H02N2/0085Leads; Wiring arrangements
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/202Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
    • H10N30/2023Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement having polygonal or rectangular shape

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

본 발명의 초음파모터용 압전진동자는 압전진동자소자가 종진동/ 굴곡진동을 발생시켜 가동요소를 구동할 수 있는 것으로서, 상기 압전진동자는 압전진동자소자로 되며, 또한 탄성부재를 통해 고정구 또는 고정구와 접합하는 수단을 갖는 장착부재와 접합된다. 이 초음파모터용 압전진동자는 압전진동자소자의 공진특성을 저하하는 일이 없으므로 초음파모터를 높은 효율로 동작시킬수 가 있다. 또한 종래에 비해 압전진동자를 초음파모터내에 조립해 넣는 것이 더욱 용이하고 안정하게 이루어지므로 모터 동작시의 안정성과 신뢰성이 현저히 향상된다.
본 발명의 초음파모터는 구동면의 반대측면의 구동방향의 단부 근방에 내마모부재를 구비하는 압전진동자를 포함하며, 상기 압전진동자는 접합재에 의해 자성재료로 된 구동면에 가압되도록 자석과 접합되며, 상기 자석은 구동면과 이격하여 배치되어 있는 정재파형 초음파모터이다.
이 초음파 모터는 가압기구의 간소화와 모터의 소형화를 달성함과 동시에 높은 구동 효율을 확보한다.

Description

초음파 모터용 압전진동자 그 장착방법 및 제조방법 및 정재파형 초음파 모터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 제1의 초음파 모터용 압전진동자의 제1실시예를 나타낸 개략 사시도이다. 제3도는 초음파 모터용 압전진동자의 제1실시예의 1모드를 나타낸 설명도이다. 제6도는 본 발명에 의한 제1의 초음파 모터용 압전진동자의 제3실시예를 나타낸 개략 사시도이다. 제7(A) 도는 본발명에 의한 제1의 초음파 모터용 압전 진동자의 제4실시예를 나타낸 개략 사시도, 제7(B)도는 제7(A)도의 종단면도이다.

Claims (13)

  1. 압전진동자소자가 종진동/굴곡진도을 발생시켜 가동요소를 구동할 수 있는 초음파모토용 압전진동자에 있너서, 상기 압전진돋자는 압전진동소자와 고정구와 접합하는 수단을 갖는 장착부재로 되며, 상기 압전 진동자소자와 장착부재는 탄성부재를 통해 서로 접합되는 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자.
  2. 제1항에 있어서, 내마모부재는 압전 진동자소자의 가동요소의 반대측 면에 배치되는 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 장착부재는 전기 입력단자와 더불어 형성되는 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자.
  4. 압전진동자소자가 종진동/굴곡진동을 발생시켜 가동요소를 구동할 수 있는 초음파 모터용 압전진동자에 있어서, 상기 압전진동자는 압전진동자소자와 고정구로 되며 상기 압전진동자소자와 고정구는 탄성부재를 통해 접합되는 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자.
  5. 가동요소를 구동시킬 수 있도록 종진동/굴곡진동을 발생하는 압전진동소자를 탄성부재를 통해 고정구에 접합하는 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자.
  6. 초음파모터용 압전진동자에 있어서, 상기 진동자는 고정구와 결합할 수 있도록 반대측면에 각각 돌기한 봉형상의 접합부재들을 갖는 초음파모터용 공소송 적층 압전진동자로 되며, 상기 각 접합 부재는 그의 일부가 적층 압전진동자의 측면에 대응하는 결절부에 형성된 오목부내에 삽입 고정되는 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자.
  7. 제6항에 있어서, 상기 적층 압전진동자는 종진동/ 굴곡진동을 이용하는 진동자인 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자.
  8. 적층판 소지를 얻기위하여 압전효과를 갖는 자기 재료를 주재료로 한 판소지들을 일체적으로 적층하고; 이 적층판 소지의 양측면의 압전진동자의 형성시에 결절부가 되는 위치들에 오목부를 형성한후 상기 적층판 소지를 소성하여 자기적충판을 덛고; 이 자기적층판의 대응하는 오목부에 고정구와 접합할 수 있도록 각 봉형상 접합부재의 일단을 삽입 고정시켜서, 각 측면으로부터 돌기한 접합부재를 갖는 적층 압전진동자를 얻는 공정으로 이루어지는 것이 특징인 초음파모터용 압전진동자의 제조방법.
  9. 구동전압이 인가될때, 2종의 서로 다른 고유진동 모드를 여기할 수 있는 압전진동자로 되며, 상기 초음파 모터는 2종의 고유진동모드를 합성한 타원운동과 압전진동자와 구동면간에 발생하는 마찰력을 구동력으로서 이용하며, 상기 압전진동자는 구동면의 반대측면의 구동방향의 단부 근방에 내마모부재를 구비하며, 또한 접합재에 의해 자성 재료로 된 구동면에 가압하도록 자석과 접합되며, 상기 자석은 구동면과 이격하여 배치되는 것이 특징인 정재파형 초음파모터.
  10. 제9항에 있어서, 상기 접합재료는 자성재료로 되며, 그에 의해 상기 자석이 자기력에 의해 접합재료와 접합되는 것이 특징인 정재파형 초음파모터.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 압전진동자는 종진동/ 굴곡진동을 이용하는 적층 압전진동자인 것이 특징인 정재파형 초음파모터.
  12. 제9항 ~제11항 중의 어느 1항에 있어서 상기 압전 진동자와 접합재료는 비접착(비고정)상태에서 서로 접합되는 것이 특징인 정재파형 초음파모터.
  13. 제9항~제12항중의 어느 1항에 있어서, 상기 압전 진동자와 접합재료는 탄성부재를 통해 서로 접합되는 것이 특징인 정재파형 초음파모터.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960702012A 1994-08-19 1995-08-11 초음파모터용 압전진동자, 그 장착방법 및 제조방법 및 정재파형 초음파모터 KR100276632B1 (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP94-195537 1994-08-19
JP19553794 1994-08-19
JP95-011807 1995-01-27
JP7011807A JPH08111991A (ja) 1994-08-19 1995-01-27 超音波モータ用圧電振動子および圧電振動子の取付け方法
PCT/JP1995/001609 WO1996006482A1 (fr) 1994-08-19 1995-08-11 Vibrateur piezoelectrique pour moteur a ondes ultrasoniques, sa production, son montage dans ce moteur

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960706220A true KR960706220A (ko) 1996-11-08
KR100276632B1 KR100276632B1 (ko) 2001-01-15

Family

ID=26347322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960702012A KR100276632B1 (ko) 1994-08-19 1995-08-11 초음파모터용 압전진동자, 그 장착방법 및 제조방법 및 정재파형 초음파모터

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0725476A4 (ko)
JP (1) JPH08111991A (ko)
KR (1) KR100276632B1 (ko)
CA (1) CA2174515C (ko)
WO (1) WO1996006482A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100818482B1 (ko) * 2006-10-16 2008-04-01 삼성전기주식회사 압전 모터

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1132491A (ja) * 1997-05-16 1999-02-02 Seiko Instr Inc 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器
JP4510179B2 (ja) * 1998-08-07 2010-07-21 セイコーインスツル株式会社 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器
DE19935570C2 (de) * 1999-07-30 2001-07-05 Forschungszentrum Juelich Gmbh Mikromanipulator
DE19938954A1 (de) * 1999-08-17 2001-03-08 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Piezoelektrischer Antrieb, insbesondere zur Erzeugung von Rotations- oder Translationsbewegungen, die stetig oder schrittweise erfolgen können
JP4662515B2 (ja) * 2000-09-22 2011-03-30 セイコーインスツル株式会社 医療モジュール機器
GB2378573B (en) * 2001-06-20 2003-09-10 Polatis Ltd A piezoelectric actuator
US6897598B2 (en) 2002-03-15 2005-05-24 Kyocera Corporation Ultrasonic motor and guide apparatus having the same as driving source of movable body
JP5357127B2 (ja) * 2003-05-22 2013-12-04 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及びそれを用いた電子機器、ステージ
JP4628017B2 (ja) * 2003-05-22 2011-02-09 セイコーインスツル株式会社 積層圧電素子、超音波モータ、電子機器、ステージ及び積層圧電素子の製造方法
CN100532472C (zh) 2003-12-25 2009-08-26 大日本油墨化学工业株式会社 油墨及层压片材
DE102005053018A1 (de) 2005-10-21 2007-04-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Präzisionsminiaturultraschalllinearmotor
KR100857095B1 (ko) 2006-10-18 2008-09-05 현대자동차주식회사 압전소자를 이용한 리니어 액츄에이터
KR101282923B1 (ko) 2006-12-20 2013-07-05 재단법인 포항산업과학연구원 람다형 메탈세라믹 초음파 진동자 접합방법
KR101264259B1 (ko) 2006-12-20 2013-05-22 재단법인 포항산업과학연구원 메탈 세라믹 진동자의 접합치구 정렬장치 및 방법
JP2009268240A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Olympus Corp リニア駆動型超音波モータ
JP5669443B2 (ja) * 2010-05-31 2015-02-12 キヤノン株式会社 振動体とその製造方法及び振動波アクチュエータ
JP5583179B2 (ja) * 2012-08-03 2014-09-03 株式会社カイジョー ボンディング装置
CN103812381B (zh) * 2014-01-29 2016-01-13 哈尔滨工业大学 基于压电超声振子驱动的两自由度运动平台
JP6398454B2 (ja) 2014-08-13 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63124785A (ja) * 1986-11-14 1988-05-28 Taga Electric Co Ltd 超音波モ−タ
JPH0348390U (ko) * 1989-09-18 1991-05-09
EP0424609A1 (en) * 1989-09-28 1991-05-02 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
JPH0488890A (ja) * 1990-07-27 1992-03-23 Fujitsu Ltd 超音波モータ
DE4133108A1 (de) * 1991-10-05 1993-04-08 Philips Patentverwaltung Elektrischer rotations- oder linearmotor, dessen laeufer mittels ultraschallschwingungen angetrieben wird
JPH06169582A (ja) * 1992-12-01 1994-06-14 Nisca Corp 超音波駆動装置
JPH06334236A (ja) * 1993-05-20 1994-12-02 Fujitsu Ltd 積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法
DE69429744T2 (de) * 1993-07-09 2002-08-14 Nanomotion Ltd Keramischer Motor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100818482B1 (ko) * 2006-10-16 2008-04-01 삼성전기주식회사 압전 모터

Also Published As

Publication number Publication date
CA2174515C (en) 1999-11-30
EP0725476A1 (en) 1996-08-07
KR100276632B1 (ko) 2001-01-15
EP0725476A4 (en) 1998-06-17
CA2174515A1 (en) 1996-02-29
JPH08111991A (ja) 1996-04-30
WO1996006482A1 (fr) 1996-02-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960706220A (ko) 초음파모터용 압전진동자 그 장착방법 및 제조방법 및 정재파형 초음파모터
US5200665A (en) Ultrasonic actuator
JPH01107669A (ja) 超音波リニアモータ
JP2004304887A (ja) 振動型駆動装置
JP2012016107A (ja) 振動型駆動装置
JP3444502B2 (ja) 超音波リニアモータ
JPH06105571A (ja) 超音波リニアモータ及びその製造方法
JP2004304963A (ja) 圧電アクチュエータ
JP3444504B2 (ja) 超音波振動子
JPH02188169A (ja) 超音波モータ
JPH08149862A (ja) 超音波振動子
JPH07337044A (ja) 超音波アクチュエータ
JP3607714B2 (ja) 超音波振動子の製造方法
JP3306211B2 (ja) 超音波アクチュエータ
JP3556249B2 (ja) 超音波振動子
JPH02188168A (ja) 超音波リニアモータ
JPH07231680A (ja) 超音波モータ
JPH07337046A (ja) 超音波モータ駆動装置
JP2534343B2 (ja) 超音波リニアモ―タ
JP2543163B2 (ja) 超音波リニアモ―タ
JPS61227680A (ja) 振動波モ−タ
JPH08149863A (ja) 超音波振動子
JPH02228266A (ja) 超音波振動子及び超音波モータ
JPH0724957Y2 (ja) 超音波リニアモータ
JPH0998590A (ja) 振動アクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee