KR960706186A - 게터를 포함하는 전계 방사기 평판 디스플레이 및 이를 얻기 위한 방법(field emitter flat display containing a getter and process for obtaining it) - Google Patents

게터를 포함하는 전계 방사기 평판 디스플레이 및 이를 얻기 위한 방법(field emitter flat display containing a getter and process for obtaining it)

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Abstract

내부 진공 공간을 가지는 전계 방사기 평판 디스플레이는 내부 진공 공간에, a) 높은 전기장에 의해 구동된 전자를 방사하는 한층의 여기 인광 물질 및 다수의 마이크로캐소드(MT); 및 b) 다수의 전기 피드쓰로우(P)및 진공 안정기(G)가 수용된다.
상기 진공 안정기(G)는 20 내지 180㎛ 두께인 비휘발성 게터 물질의 다공성 지지층으로 필연적으로 형성되고, 마이크로캐소드, 인광 물질 및 피드쓰로우가 없는 존에 수용된다.

Description

게터를 포함하는 전계 방사기 평판 디스플레이 및 이를 얻기 위한 방법(FIELD EMITTER FLAT DISPLAY CONTAINING A GETTER AND PROCESS FOR OBTAINING IT)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명에 따른 FED의 간략화된 단면도.

Claims (19)

  1. a) 높은 전기장으로 구동된 전자를 방사하는 한층의 여기 인광 물질 및 다수의 마이크로캐소드(MT) 및; b) 다수의 전기 피드쓰로우(P) 및 진공 안정기(G)가 수용된 내부 진공 공간을 가지는 전계 방사기 평판 디스플레이에 있어서, 상기 진공 안정기(G)는 20 내지 180㎛(바람직하게 20 내지150㎛)의 비휘발성 게터 물질의 다공성 지지층으로 필수적으로 형성되고, 상기 층은 마이크로캐소드, 인광 물질 및 피드쓰로우가 필연적으로 없는 존에 수용되는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  2. 제1항에 있어서 상기 내부 공간은 몇십 또는 몇백 ㎛의 두께를 가지는 절연 및/또는 비금속 전도 재료로 구성된 두개의 얇은 플레이트(SCH,S)에 의해 제한되고, 하나의 다른 것에 필수적으로 평행하고, 주변을 따라 밀봉되고 높은 진공강간에 의해 분리되고, 제1플레이트(SCH)는 상기 인광 물질을 지지하고 제2플레이트(S)는 상기 마이크로캐소드(MT)및 디스플레이의 집적 부분처럼 비휘발성 게터 물질(G)의 하나 이상의 상기 다공성층 뿐 아니라, 상기 높은 전계를 생성하는 다수의 그리드 전극을 지지하는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 게터 물질(G)은 다움 두개의 그룹 사이에서 선택된 입자의 소결 혼합물로 필수적으로 형성되고, 다음 두개의 그룹은, A) 지르코늄 및/또는 티타륨 및/또는 토륨 및/또는 관련 수산화물 및/또는 그것의 조성물; B) 다음중 선택된 지르코늄 및/또는 티타늄을 바탕으로한 게터 합금;i) Zr-A1합금 및/또는 Zr-Ni 및/또는 Zr-Fe 합금; ⅱ) Zr-M1-M2 합금(여기서 M1은 V 및 Nb 사이에서 선택되고 M2는 Fe 및 Ni 사이에서 선택된다) 및/또는 Zr-Ti-Fe 합금; ⅲ) 지르코늄 및 바나듐 및 특히 Zr-V-Fe 합금을 포함하는 합금; 및 ⅳ)그것의 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  4. 제1항에 있어서, 비휘발성 게터 재료의 다공성 층은 바람직하게 5 내지 50㎛ 두께인 모노 금속 또는 다중 금속 얇은 스트립(NS)으로 필수적으로 형성된 기판상에 지지되는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  5. 제4항에 있어서, 상기 스트립(NS)은 니켈, 티타늄, 몰리브덴, 지르코늄, 크롬 내켈 합금 및 아연 바탕 합금 가운데 선택된 하나 이상의 금속으로 필수적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  6. 제4항에 있어서, 상기 스트립(NS)은 홀 또는 슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  7. 제1항에 있어서, 비휘발성 게터 물질(G)의 다공성층은 절연 물질 또는 비금속 전도 기판으로 필수적으로 형성된 기판(S)상에 지지되고, 바람직하게 삽입된 모노 금속 또는 다중 금속 고정층에 의해 상기 게터 물질(G)로부너 분리되고, 제4도에 따른 스트립(NS)과 완전히 유사한 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  8. 제7항에 있어서, 상기 절연 기판은 정사각형, 직사각형 또는 적어도 부분적으로 정다각형 모양이고, 상기 비휘발성 게터 물질(G)의 하나 이상의 다공성층을 지지하고, 상기 층은 하나 이상의 직사각형 표면을 가지며 그것의 측면은 기판측면의 하나에 필수적으로 평행한 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  9. 제8항에 있어서, 상기 기판(S)은 정사각형 직사각형 모양을 가지며 두개의 상기 서로 수직인 층을 지지하고, 동일하거나 다른 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  10. 제3항에 있어서, 게터 물질의 다공층은 성분 겹침층의 시퀀스로 구성되고, 동일하거나 다른 조성물을 가지는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  11. 제10항에 있어서, 지지 기판(S)의 측면상에 첫째로 하나 가운데 하나 이상의 성분 층은 필수적으로 티타늄 입자로만 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계 방사기 평판 디스플레이.
  12. a) 상기 다공성층이 기판(S;NS)상에 비휘발성 게터 물질(G)을 증착시키고 적당한 진공 오븐에서 증착 물질을 소결시킴으로써 얻어지고, b) 그래서 얻어진 지지된 층이 디스플레이의 다른 내부 성분과 함께 상기 내부 공간에 수용되고, c) 상기 내부 공간이 진공 펌프 및 폄핑중 밀봉에 의해 진공되는 제1항 또는 제2항에 따른 디스플레이를 제조하기 위한 방법에 있어서, 상기 기판상에 상기 게터 물질의 증착은 전기 영동 또는 부유 수단으로 상기 게터 물질 입자 부유물의 수동 또는 기계적 응용(바람직하게 분무)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
  13. 제12항에 있어서, 비휘발성 게터 물질(G)의 다공성층은 층을 하나 이상의 전기 피드쓰로우(P)에 접속하고 층 자체의 전기 저항을 이용하여 열적으로 활성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 내부 공간은 진공 펌핑하에서 가스 제거 동작에 앞서서, 진공 펌핑하에서 응용 밀봉 동작에 의해 밀봉되고, 상기 동작은 게터 물질을 열적으로 활성화하는 고온에서 수행되는 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
  15. 제12항에 있어서, 게터 물질의 지지된 다공성 층은, a) 부유 수단에서 비휘발성 게터 물질(G) 입자의 부유물을 제공하는 단계; b) 분무 코팅 기술로 상기 부유물을 지지 기판에 코팅하는 단계; 및 c) 얻어진 코팅을 소결하는 단계에 의해 얻어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 입자는, H) 1 및 15(바람직하게 3 내지 5)㎛ 및 1 내지 8.5(바람직하게 7 내지 8)㎡/g의 표면 영역으로 필수적인 구성된 평균 크기를 가지는 수산화 티타늄 입자; 및 K)5 및 15(바람직하게는 8 내지 10)㎛ 및 0.5 내지 2.5㎡/g의 표면 영역으로 필수적으로 구성된 평균 크기를 가지는 게터 합금 입자로 구성되고, 상기 게터 합금은 Zr-A1합금, Zr-V 합금, Zr-V-Fe 합금 및 그것의 조성물 중에서 선택되고, H 입자 및 K 입자 사이의 무게당 비율은 1:10 내지 10:1및 바람직하게 1:1 내지 3:1인 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
  17. 제15항에 있어서, 기판 표면은 소정 시간동안 여러번(사이클) 분무되고 모든 분무는 부유 수단 성분을 만족하게 증발시키는 중단후 발생되고, 모든 중단 시간은 이전 분무 시간보다 긴 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
  18. 제17항에 있어서, 단일 사이클에서 사용된 부유물은 적어도 부분적으로 상호 다른 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
  19. 제18항에 있어서 상기 분무 사이클(또는 첫번째 2~3사이클)은 수산화 티타늄 입자만 포함하는 부유물로 수행되는 것을 특징으로 하는 디스플레이를 제조하기 위한 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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