KR960036162A - 전색 유기 발광 다이오드 어레이 - Google Patents

전색 유기 발광 다이오드 어레이 Download PDF

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Abstract

기판(100)상에 형성된 다수의 수평 간격의 광 전송 전극(101), 상기 전극(101)의 상부에 한정된 다수의 공동(10, 20), 및 상기 공동(10, 20)내에 증착된 세개의 다른 색을 방출하도록 설계된 세개의 전기장 발광 매체(202, 203, 204)를 포함한 전색 유기 발광 다이오드 어레이가 개시된다. 다수의 간격 형성된 금속 전극(106, 108, 110, 115) 상기 각 공통(10, 20)을 밀봉하기 위해 형성되며 전송 전극(101)에 수직으로 배열되며, 그 결과, 공동(10, 20)내의 전기장 발광 매체(202, 203, 204)를 각 공동(10, 20)의 기저부의 광 전송 양극 전극(101)과 각 공동(10, 20)의 상부의 주위 안정 음극 금속 전극(106, 108, 110, 115)으로 밀봉한다. 전색 유기 발광 다이오드 어레이 제조 방법이 또한 개시된다.

Description

전색 유기 발광 다이오드 어레이
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2도 내지 제 5도는 본 발명을 구현하는 유기 LED 어레이의 세개의 부화소(subpixel)를 갖는 화소의 연속적인 제조 단계에서의 단면도.

Claims (3)

  1. 평탄화 표면을 갖는 전기 절연의 광 전송 기판과 ; 전도성 스트립 사이의 노광된 기판 표면 부분들을 갖는 기판의 표면상에 행으로 배열되며, 수평으로 간격 형성된 다수의 광 전송 전기 전도성 스트립과 ; 상기 전도성 스트립과 상기 기판 표면의 부분들 위에 증착된 절연 매체층과 ; 상기 절연 매체에 의해 한정되는 다수의 공동 구조체어서, 각각의 공동 구조체는 하나의 부화소를 한정하며, 전도성 스트립의 일부를 노광하도록 관련 전도성 스트립 위에 개개의 공동 구조체가 위치되는 관계로 다수의 전도성 스트립 위에 행으로 위치되는 다수의 공동 구조체와 ; 상기 노광된 관련 전도성 스트립상의 공동 구조체내에 수평으로 택일적으로 증착된 적어도 하나의 낮은 일함수 금속층과 액티브 방출 물질층을 포함한 세개의 전기장 발광 매체로서, 단지 한 종류의 세 전기장 발광 매체를 포함한 개개의 행의 모든 공동 구조체를 갖는 상기 세개의 전기장 발광 매체와 ; 상기 공동 구조체 위의 밀봉 결합부내에 위치되며, 상기 전도성 스트립에 수직인 열로 배열된 대수의 수평 간격의 평행 금속 스트립을 형성하도록 접속되는 주위 안정 금속을 포함하는 전색 유기 발광 다이오드 어레이.
  2. 평탄한 표면을 가지며 비교적 평탄한 광 전송의 전기 절연 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판의 상부면상에 광 전송의 전기 전도 물질층을 증착하는 단계와 ; 다수의 수평 간격의 전도성 스트립과 이들 사이에 노광된 기판의 부분들을 형성하도록 상기 광 전송의 전기 전도 물질층을 패터닝하는 단계와 ; 상기 전도성 스트립과 상기 기판의 부분의 상부에 절연 매체층을 증착하는 단계와 ; 상기 절연 매체의 상부에 포토레지스트층을 스핀 코팅하는 단계와 ; 상기 절연 매체 부분들을 노광하도록 웰 구조 마스크를 통해 포토레지스트층을 패터닝하는 단계와 ; 상기 전도성 스트립 위에 놓이는 수평 간격의 공동 구조체들을 한정하는 절연 매체의 노광부들을 에칭하는 단계로, 각각의 공동 구조체가 하나의 관련 전도성 스트립의 일부를 노광하는 상기 에칭 단계와 ; 공동 구조체들내의 선택된 색을 방출하기 위해 선택된 적어도 하나의 액티브 방출 물질층과 낮은 일함수 금속층을 구비한 전기장 발광 매체를 증착하는 단계와 ; 상기 공동 구조체를 밀봉시키고 이 구조체내에서 낮은 일함수 금속과 전기 콘택을 형성하도록 각 공동 구조체내에 주위 안정 금속층을 증착하는 단계와 ; 상기 선택된 색을 방출하기 위해 구성된 화소의 세트를 완성하기 위해 포토레지스트를 제거하는 단계와 ; 화소들위에 금속 스트립들을 위치시키는 단계로서, 금속 스트립이 화소들내의 각 공동 구조체내의 주위 안정 금속을 수직 방향의 행들과 접속시키는 상기 위치 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전색 유기 발광 다이오드 어레이 제조 방법.
  3. 평탄한 표면을 가지며 비교적 평탄한 광 전송의 전기 절연 기판을 제공하는 단계와 ; 상기 기판의 상부면상에 광 전송의 전기 전도 물질층을 증착하는 단계와 ; 다수의 수평 간격의 전도성 스트립과 이들 사이에 노광된 기판의 부분들을 형성하도록 상기 광 전송의 전기 전도물질층을 패터닝하는 단계와 ; 상기 전도성 스트립과 상기 기판의 부분의 상부에 절연 매체층을 증착하는 단계와, 상기 절연 매체의 상부에 제 1포토레지스트층을 스핀코팅하는 단계와 ; 상기 절연 매체의 제 1부분을 노광하도록 제 1 웰 구조 마스크를 통해 상기 제 1포토레지스트층을 패터닝하는 단계와 ; 상기 전도성 스트립위에 놓이는 수평 간격의 공동 구조체들을 한정하는 절연 매체의제 1노광부들을 에칭하는 단계로, 각각의 공동 구조체가 하나의 관련 전도성 스트립의 일부를 노광하는 상기 에칭 단계와, 제 1그룹의 공동 구조체들내의 제 1색을 방출하기 위해 선택된 적어도 하나의 액티브 방출 물질층과 낮은 일함수 금속층을 구비한 제 1전기장 발광 매체를 증착하는 단계와 ; 상기 제 1그룹의공동 구조체를 밀봉시키고 이 구조체내에서 낮은 일함수 금속과 전기 콘택을 형성하도록 각 제 1그룹의 공동 구조체내에 주위 안정 금속층을 증착하는 단계와, 상기 제 1색을 방출하기위해 구성된 부화소의 제 1세트를 완성하기 위해 제 1포토레지스트층을 제거하는 단계와 ; 상기 절연 매체의 상부에 제 2포토레지스트층을 스핀코팅하는 단계와 ; 상기 절연 매체의 제 2부분을 노광하도록 제 2웰 구조 마스크를 통해 상기 제 2포토레지스트층을 패터닝하는 단계와 ; 상기 전도성 스트립 위에 놓이는 제 2그룹의 수평 간격의 공동 구조체들을 한정하는 절연매체의 제 2노광부들을 에칭하는 단계로, 각각의 공동 구조체가 하나의 관련 전도성 스트립의 일부를 노광하는 상기 에칭 단계와 ; 제 2그룹의 공동 구조체들내의 제 2색을 방출하기 위해 선택된 적어도 하나의 액티브 방출 물질층과 낮은 일함수 금속층을 구비한 제 2전기장 발광 매체를 증착하는 단계와 ; 상기 제 2그룹의 공동 구조체를 밀봉시키고 이 구조체내에서 낮은 일함수 금속과 전기 콘택을 형성하도록 각 제 2그룹의 공동 구조체내에 주위 안정 금속층을 증착하는 단계와 ; 상기 제 2색을 방출하기 위해 구성된 부화소의 제 2세트를 완성하기 위해 제 2포토레지스트층을 제거하는 단계와 ; 제 1및 제 2세트의 부화소들위에 금속 스트립들을 위치시키는 단계로서, 금속 스트립이 제 1세트의 부화소들내의 각 공동 구조체내의 주의 안정 금속을 수직 방향의제 1세트의 행들과 접속시키며, 제 2세트의 부화소들의 각 공동 구조체내의 주위 안정 금속을 수직 방향의 제 2세트의 행들과 접속시키는 상기 위치 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 컬러 유기 발광 다이오드 어레이 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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