KR960034346A - 레지스트 표면의 반사-방지를 위한 코팅용 조성물 - Google Patents

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KR960034346A
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    • C09D129/10—Homopolymers or copolymers of unsaturated ethers
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Abstract

본 발명은 수용성의 불소 화합물과 물을 주성분으로 함유하는, 레지스트 표면의 반사-방지를 유한 코팅용 조성물에 관한 것으로서, 수용성의 불소 화합물은 (A) 20℃, 1기압에서 고체 상태인 수용성의 불소화합물과, (B) 20℃, 1기압에서는 액체 상태이고 1기압하에서 적어도100℃의 끓는 점을 가지는 수용성의 불소 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.

Description

레지스트 표면의 반사-방지를 위한 코팅용 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (7)

  1. 수용성의 불소 화합물과 물을 주성분으로 함유하는, 레지스트 표면의 반사-방지를 위한 코팅용 조성물로서, 수용성의 불소 화합물은 (A) 20℃, 1기압에서 고체 상태인 수용성의 불소화합물과, (B) 20℃, 1기압에서는 액체 상태이고 1기압하에서 적어도 100℃의 끓는 점을 가지는 수용성의 불소 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 레지스트의 반사-방지 코팅용 조성물.
  2. 제1항에 있어서, (A) 20℃, 1기압에서 고체 상태인 수용성의 불소 화합물은 퍼플루오로알킬술폰산, 퍼플루오로알킬카르복실산, 퍼플루오로알킬폴리에테르술폰산, 퍼플루오로알킬폴리에테르카르복실산 그리고 그것들의 염들로 이루어져 있는 군에서 선택되는 적어도 하나의 화합물인 것을 특징으로 하는 레지스트의 반사-방지 코팅용 조성물.
  3. 제1항에 있어서, (B) 20℃, 1기압에서는 액체 상태이고 1기압하에서 적어도 100℃의 끓는 점을 가지는 수용성의 불소 화합물은 25℃에서 적어도 3센티포아즈(cP)의 점성도를 갖는 것을 특징으로 하는 레지스트의 반사-방지 코팅용 조성물.
  4. 제1항에 있어서, (B) 20℃, 1기압에서는 액체상태이고 1기압하에서 적어도 100℃의 끓는 점을 가지는 수용성의 불소 화합물은 다음의 식(I)을 갖는 화합물인 것을 특징으로 하는 레지스트의 반사-방지 코팅용 조성물 :
    (여기서 R1은 불소에 의해 치환되는 알킬기이며; R2는 불소로 치환될 수 있는 알킬렌기이고; X1, X2, X3, X4및 X5는 독립적으로 수소 원자 혹은 불소 원자이며; m과 n은 각각 0에서 5까지의 정수임).
  5. 제1항에 있어서, (B) 20℃, 1기압에서는 액체 상태이고 1기압하에서 적어도 100℃의 끓는 점을 가지는 수용성의 불소 화합물은 퍼플루오로알킬폴리에테르술폰산, 퍼플루오로아릴폴리에테르카르복실산 그리고 그것들의 염으로 이루어져 있는 군에서 선택되는 적어도 하나의 화합물인 것을 특징으로 하는 레지스트의 반사-방지 코티용 조성물.
  6. 제5항에 있어서, 퍼플루오로알킬폴리에테르카르복실산은 중량평균 분자량이 최대 6,000인 것을 특징으로 하는 레지스트의 반사-방지 코팅용 조성물.
  7. 포토레지스트 조성물을 기판에 코팅하는 단계; 얻어진 포토레지스트에 레지스트의 반사-방지 코팅용 조성물을 코팅하는 단계; 포토레지스트와 얻어진 레지스트의 반사-방지 코팅막을 노광시켜 특정 패턴이 형성되도록 하는 단계; 그리고 그 포토레지스트를 알칼리성 수용액으로 현상시키는 단계를 포함하는 패턴 형성 방법에 있어서, 제1항 내지 제6항의 어느 한 항에 따른 조성물을 상기 레지스트의 반사-방지 코팅용 조성물로 사용하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960008045A 1995-03-23 1996-03-23 레지스트표면의반사-방지코팅용조성물 KR100404951B1 (ko)

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