KR960019139A - 갈바노미러 및 그것을 이용한 광디스크 장치 - Google Patents

갈바노미러 및 그것을 이용한 광디스크 장치 Download PDF

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Abstract

갈바노미러(9)는 반사 미러(24)를 형성한 요동체(25)를 구비하고 있다. 이 요동체(25)는 실리콘 등의 반도체로 이루어지며, 2개의 탄성체(26)을 통하여 제1플레이트(21)의 빈 중간 부분에 접속 배치되어 있다. 제1플레이트(21)의 상하에는 제2 및 제3플레이트(22,23)가 각각 전기 절연된 상태로 접합되어 있다. 요동체(25)와 대향하는 제2 및 제3플레이트(22,23)의 각 부위에는 대칭인 관계로 4장의 전극(28∼31)이 설치되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서 요동체(25)를 +극(-극)으로 대전시키고, 또, 전극(29,30)을 -극(+극)으로, 전극(28,31)을 +극(-극)으로 대전시키면, 2장의 탄성체(26)의 비틀림 변형을 수반하면서 요동체(25)가 회전(요동)된다.

Description

갈바노미러 및 그것을 이용한 광디스크 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명의 제1실시예에 관한 갈바노미러를 탑재한 광디스크장치의 구성을 도시한 도면.

Claims (19)

  1. 반사 미러를 구비한 대전 가능한 요동체와; 상기 요동체를 요동 가능하게 지지하는 지지 부재와; 상기 반사 미러가 소망하는 각도로 빛을 반사시키도록 상기 요동체를 정전력으로 움직이게 하기 위한 대전 가능한 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  2. 제1항에 있어서, 상기 요동체에 구비된 반사 미러는 해당 요동체 자체의 경면 가공에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  3. 제2항에 있어서, 상기 요동체는 반도체 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  4. 제3항에 있어서, 상기 반도체 재료는 실리콘을 함유하는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  5. 제2항에 있어서, 상기 요동체는 이방성 결정 구조를 가진 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  6. 제1항에 있어서, 상기 요동체와 상기 지지 부재는 동일 재료에 의해 일체로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  7. 제6항에 있어서, 상기 요동체와 상기 지지 부재는 반도체 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  8. 제7항에 있어서, 상기 반도체 재료는 실리콘을 함유하는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  9. 제6항에 있어서, 상기 지지 부재는 상기 요동체가 회전 동작할 수 있도록 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  10. 제9항에 있어서, 상기 지지 부재는 탄성체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  11. 제1항에 있어서, 상기 요동체와 상기 전극 사이의 정전 용량을 검출하는 검출기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  12. 제11항에 있어서, 상기 센서에 의해 검출된 정전 용량에 기초하여 상기 요동체의 요동량을 보정하기 위한 회로를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  13. 빈 중간 부분을 가진 제1플레이트와, 상기 제1플레이트의 빈 중간 부분에 위치하고, 반사 미러를 구비한 대전 가능한 요동체와; 상기 제1플레이트에 고정되고, 상기 요동체를 요동 가능하게 지지하는 지지 부재와; 상기 제1플레이트를 사이에 끼우고 대향 배치되는 제2 및 제3플레이트와; 상기 요동체에 대하여 상기 제2 및 제3플레이트상에 각각 설치되고, 상기 반사 미러가 소망하는 각도로 빛을 반사하도록 상기 요동체를 정전력으로 움직이기 위한 대전 가능한 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  14. 제13항에 있어서, 해당 갈바노미러의 내부는 상기 제1∼제3플레이트에 의해 밀봉 상태로 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  15. 제13항에 있어서, 상기 요동체와 상기 지지 부재와 상기 제1플레이트는 동일 재료에 의해 일체로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  16. 제15항에 있어서, 상기 요동체와 상기 지지 부재와 상기 제1플레이트는 반도체 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  17. 제16항에 있어서, 상기 반도체 재료는 실리콘을 함유하는 것을 특징으로 하는 갈바노미러.
  18. 레이저광을 발생시키는 광원과, 이 광원으로부터의 레이저광을 반사하는 갈바노미러와, 이 갈바노미러에 의해 반사된 레이저광을 받아 광디스크에 촛점을 형성하는 대물 렌즈를 탑재한 광학 헤드를 포함하는 광디스크 장치에 있어서, 상기 갈바노미러는, 반사 미러를 구비한 요동체와; 상기 요동체를 요동 가능하게 지지하는 지지 부재와; 상기 반사 미러가 소망하는 각도로 레이저광을 반사하도록 상기 요동체를 정전력으로 움직이게 하기 위한 대전 가능한 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 광디스크 장치.
  19. 레이저광을 발생시키는 광원과, 이 광원으로부터 레이저광을 반사하는 갈바노미러와, 이 갈바노미러에 의해 반사한 레이저광을 받아 광디스크에 촛점을 형성하는 대물 렌즈를 탑재한 광학 헤드를 포함하는 광디스크 장치에 있어서, 상기 갈바노미러는, 빈 중간 부분을 가진 제1플레이트와; 상기 제1플레이트의 빈 중간 부분에 위치하고, 반사 미러를 구비한 대전 가능한 요동체와; 상기 제1플레이트에 고정되고, 상기 요동체를 요동 가능하게 지지하는 지지 부재와; 상기 제1플레이트를 사이에 끼우고 대향 배치되는 제2 및 제3플레이트와; 상기 요동체에 대하여 제2플레이트와 제3플레이트상에 각각 설치되고, 상기 반사 미러가 소망하는 각도로 빛을 반사하도록 상기 요동체를 정전력으로 움직이게 하기 위한 대전 가능한 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 광디스크 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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