JPH07199094A - ＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー - Google Patents
ＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレーInfo
- Publication number
- JPH07199094A JPH07199094A JP6297606A JP29760694A JPH07199094A JP H07199094 A JPH07199094 A JP H07199094A JP 6297606 A JP6297606 A JP 6297606A JP 29760694 A JP29760694 A JP 29760694A JP H07199094 A JPH07199094 A JP H07199094A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- mxn
- array
- electrode
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
- H04N5/7416—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal
- H04N5/7458—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal the modulator being an array of deformable mirrors, e.g. digital micromirror device [DMD]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光効率を向上したＭｘＮ薄膜アクチュエーテ
ッドミラーアレーを提供する。 【構成】 ＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー
は、能動マトリックス５２とＭｘＮ駆動構造アレー５３
とＭｘＮミラー層アレー５７とＭｘＮ支持部アレー５５
とを含む。駆動構造は動的誘導物質の薄膜層６９を含む
第１、第２駆動部６２，６３と第１、第２電極７２，７
３を備える。各々の駆動部６２，６３の第１電極は物理
的に固定されて共通バイアスとして働き、第２電極は信
号電極として働く。ミラー層５８は第１，第２反射器７
７，７８に分割される。各々の反射器は第１表面７９と
第２表面８０とこれらの間に位置する中央タップ部８１
とを含む。中央タップ部は駆動部の上部に付着されて反
射器の各々における中央タップ部が電気的信号によって
変形される際、各々の反射器における第１，第２表面は
残りの平面を傾斜されるので、第１，第２表面が光ビー
ムを反射させ、その結果、光効率が増大する。
ッドミラーアレーを提供する。 【構成】 ＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー
は、能動マトリックス５２とＭｘＮ駆動構造アレー５３
とＭｘＮミラー層アレー５７とＭｘＮ支持部アレー５５
とを含む。駆動構造は動的誘導物質の薄膜層６９を含む
第１、第２駆動部６２，６３と第１、第２電極７２，７
３を備える。各々の駆動部６２，６３の第１電極は物理
的に固定されて共通バイアスとして働き、第２電極は信
号電極として働く。ミラー層５８は第１，第２反射器７
７，７８に分割される。各々の反射器は第１表面７９と
第２表面８０とこれらの間に位置する中央タップ部８１
とを含む。中央タップ部は駆動部の上部に付着されて反
射器の各々における中央タップ部が電気的信号によって
変形される際、各々の反射器における第１，第２表面は
残りの平面を傾斜されるので、第１，第２表面が光ビー
ムを反射させ、その結果、光効率が増大する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光投射形システムに関
し、特に、光効率が優れた投射形画像表示システムに用
いられるＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレーに
関する。
し、特に、光効率が優れた投射形画像表示システムに用
いられるＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレーに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の様々なビデオディスプレイシステ
ムの中で、光投射形システムは大画面(large scale) に
おける高画質ビデオディスプレイを提供するものとして
知られている。このような光投射形システムでは、ラン
プから投射された光は、たとえば、ＭｘＮのアクチュエ
ーテッドミラーアレー上に一様に照射されるが、かかる
状態のもとに、各々のミラーは各々のアクチュエータと
結合されている。これらのアクチュエータはそれに印加
された電界に応答して、変形する圧電材料(piezoelectr
ic) または電歪(electrostrictive)材料のようなエレク
トロディスプレーシブ物質(electrodisplacive materia
l)で形成されている。
ムの中で、光投射形システムは大画面(large scale) に
おける高画質ビデオディスプレイを提供するものとして
知られている。このような光投射形システムでは、ラン
プから投射された光は、たとえば、ＭｘＮのアクチュエ
ーテッドミラーアレー上に一様に照射されるが、かかる
状態のもとに、各々のミラーは各々のアクチュエータと
結合されている。これらのアクチュエータはそれに印加
された電界に応答して、変形する圧電材料(piezoelectr
ic) または電歪(electrostrictive)材料のようなエレク
トロディスプレーシブ物質(electrodisplacive materia
l)で形成されている。
【０００３】これらの各々のミラーから反射された光ビ
ームはバフル(baffle)の開口に投射される。電気信号を
各々のアクチュエータに印加することによって、光線が
投射される各々のミラーの相対的な位置が変更され、そ
れによって、各ミラーから反射されるビームの光路にお
ける変更(deviation) が生じる。反射された各々の光の
光路が変更される場合、各々のミラーから反射され開口
を通過する光量は変化し、それによって光の強さが調整
される。開口を通じて光量が調整された光は、投射レン
ズ(projection lens) のような適切な光学装置を通じて
投射スクリーン(projection screen) 上へ伝送され像(i
mage) をディスプレイする。
ームはバフル(baffle)の開口に投射される。電気信号を
各々のアクチュエータに印加することによって、光線が
投射される各々のミラーの相対的な位置が変更され、そ
れによって、各ミラーから反射されるビームの光路にお
ける変更(deviation) が生じる。反射された各々の光の
光路が変更される場合、各々のミラーから反射され開口
を通過する光量は変化し、それによって光の強さが調整
される。開口を通じて光量が調整された光は、投射レン
ズ(projection lens) のような適切な光学装置を通じて
投射スクリーン(projection screen) 上へ伝送され像(i
mage) をディスプレイする。
【０００４】図４には、「THIN FILM ACTUATED MIRROR
ARRAY AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF」とい
う表題で提出された米国特許出願に記載されたＭｘＮ薄
膜アクチュエーテッドミラー５からなるアレー１０の断
面図が示されており、このＭｘＮ薄膜アクチュエーテッ
ドミラー５からなるアレー１０は、基板１２とＭｘＮト
ランジスターアレー（図示せず）とＭｘＮ接続端子１４
のアレー１３とを含む能動マトリックス１１と、少なく
とも１つの動的誘導物質の薄膜層１７を有する各々の駆
動構造１６と動的誘導薄膜層１７の上下部に各々位置す
る第１電極１８および第２電極１９とを含む薄膜形Ｍｘ
Ｎ駆動構造１６のアレー１５と、各々の駆動構造１６を
片持ち状に所定位置で支持するとともに各々の駆動構造
１６と能動マトリックス１１とを電気的に接続するＭｘ
Ｎ支持部２１のアレー２０と、各々のミラーが各々の駆
動構造１６の上部に位置して、光ビームを反射するため
のＭｘＮミラー２３のアレー２２とから成る。薄膜アク
チュエーテッドミラーアレー１０において、各々の駆動
構造１６における一対の電極１８，１９のあいだに位置
する動的誘導物質の薄膜層１７を横切って印加された電
気的信号は動的誘導物質の変形を起こし、しかるのち、
第１電極の上部に位置するミラー２３の変形を起こすこ
とによって、投射光ビームの光路を変化させる。
ARRAY AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF」とい
う表題で提出された米国特許出願に記載されたＭｘＮ薄
膜アクチュエーテッドミラー５からなるアレー１０の断
面図が示されており、このＭｘＮ薄膜アクチュエーテッ
ドミラー５からなるアレー１０は、基板１２とＭｘＮト
ランジスターアレー（図示せず）とＭｘＮ接続端子１４
のアレー１３とを含む能動マトリックス１１と、少なく
とも１つの動的誘導物質の薄膜層１７を有する各々の駆
動構造１６と動的誘導薄膜層１７の上下部に各々位置す
る第１電極１８および第２電極１９とを含む薄膜形Ｍｘ
Ｎ駆動構造１６のアレー１５と、各々の駆動構造１６を
片持ち状に所定位置で支持するとともに各々の駆動構造
１６と能動マトリックス１１とを電気的に接続するＭｘ
Ｎ支持部２１のアレー２０と、各々のミラーが各々の駆
動構造１６の上部に位置して、光ビームを反射するため
のＭｘＮミラー２３のアレー２２とから成る。薄膜アク
チュエーテッドミラーアレー１０において、各々の駆動
構造１６における一対の電極１８，１９のあいだに位置
する動的誘導物質の薄膜層１７を横切って印加された電
気的信号は動的誘導物質の変形を起こし、しかるのち、
第１電極の上部に位置するミラー２３の変形を起こすこ
とによって、投射光ビームの光路を変化させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た薄膜アクチュエーテッドミラーアレーにおける主な問
題点の一つは、アレー１０の全体的な光効率が制限され
るということにある。すなわち、各々の駆動構造１６が
動的誘導物質の薄膜層１７を横切って印加された電気的
信号に応じて変形を起こす際、それによってミラー２３
も変形を起こすが、アレー１０において、支持部２１に
固定されたミラー２３の部分は電気的信号に応じて変形
をしないで、その位置に固定される。その結果、ミラー
２３の有効長さは支持部２１に固定された駆動構造１６
の長さだけ減少するので、アレー１０の全体的な光効率
が制限されることになる。
た薄膜アクチュエーテッドミラーアレーにおける主な問
題点の一つは、アレー１０の全体的な光効率が制限され
るということにある。すなわち、各々の駆動構造１６が
動的誘導物質の薄膜層１７を横切って印加された電気的
信号に応じて変形を起こす際、それによってミラー２３
も変形を起こすが、アレー１０において、支持部２１に
固定されたミラー２３の部分は電気的信号に応じて変形
をしないで、その位置に固定される。その結果、ミラー
２３の有効長さは支持部２１に固定された駆動構造１６
の長さだけ減少するので、アレー１０の全体的な光効率
が制限されることになる。
【０００６】したがって、本発明の主な目的は、光効率
を向上させたＭｘＮアクチュエーテッドミラーアレーを
提供することにある。
を向上させたＭｘＮアクチュエーテッドミラーアレーを
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に基づく、光投射形システムに用いるＭｘＮ
薄膜アクチュエーテッドミラーアレー（ＭおよびＮは正
の整数）は、基板とＭｘＮトランジスタアレーとＭｘＮ
接続端子とを含む能動マトリックスと、それぞれ同一構
造に形成された第１および第２駆動部を備えるＭｘＮ薄
膜駆動構造のアレーであって、前記各々の第１および第
２駆動部は、上面、下面、側面、近位の端部および遠位
の端部を有し、前記各々の第１および第２駆動部は、上
面および下面を備える少なくとも１つの動的誘導物質の
薄膜層を有し、前記各々の第１および第２駆動部は、前
記動的誘導薄膜層の上面に位置した第１電極と前記動的
誘導薄膜層の下面に位置した第２電極を備えており、前
記各々の駆動構造における前記各々の駆動部の前記側面
は互いに物理的に接触されており、前記各々の駆動構造
における前記第１および第２駆動部の各々の前記第１電
極は、前記第１および第２駆動部について共通されるこ
とによって、共通バイアス電極として働き、前記各々の
駆動構造における前記第１および第２駆動部の各々の前
記第２電極は、相応する駆動部における信号電極として
働き、ここで各々の駆動部における第１および第２電極
のあいだに位置した動的誘導薄膜層を横切って印加され
た電気的信号は動的誘導薄膜および前記駆動部の変形を
発生させるようにしたＭｘＮ薄膜駆動構造アレーと、前
記各々の駆動構造における前記各々の駆動部の近位の端
部において、相応する前記駆動部を固定するＭｘＮ支持
部アレーと、各々光ビームを反射するためのミラーと支
持層とを備えたＭｘＮミラー層のアレーであって、前記
各々のミラー層は第１および第２反射器に分けられて、
前記第１および第２反射器は互いに対称に配置され、前
記各々の反射器は、第１表面と、それと反対側の第２表
面と、これらのあいだに位置する中央タップ部とを含
み、前記中央タップ部と前記第１および第２表面とのあ
いだに分割スロットが形成されており、前記各々の反射
器の前記中央タップ部を前記各々の駆動構造における各
々の前記駆動部の上部に直接付着することによって各々
の前記反射器における前記中央タップ部が電気的信号に
応じて変形する際、各々の前記反射器における前記第１
および第２表面は残りの平面を傾斜させることによっ
て、前記第１および第２表面が光ビームを反射させられ
るようにして、その結果、光効率を増大させるＭｘＮミ
ラー層アレーとからなる。
に、本発明に基づく、光投射形システムに用いるＭｘＮ
薄膜アクチュエーテッドミラーアレー（ＭおよびＮは正
の整数）は、基板とＭｘＮトランジスタアレーとＭｘＮ
接続端子とを含む能動マトリックスと、それぞれ同一構
造に形成された第１および第２駆動部を備えるＭｘＮ薄
膜駆動構造のアレーであって、前記各々の第１および第
２駆動部は、上面、下面、側面、近位の端部および遠位
の端部を有し、前記各々の第１および第２駆動部は、上
面および下面を備える少なくとも１つの動的誘導物質の
薄膜層を有し、前記各々の第１および第２駆動部は、前
記動的誘導薄膜層の上面に位置した第１電極と前記動的
誘導薄膜層の下面に位置した第２電極を備えており、前
記各々の駆動構造における前記各々の駆動部の前記側面
は互いに物理的に接触されており、前記各々の駆動構造
における前記第１および第２駆動部の各々の前記第１電
極は、前記第１および第２駆動部について共通されるこ
とによって、共通バイアス電極として働き、前記各々の
駆動構造における前記第１および第２駆動部の各々の前
記第２電極は、相応する駆動部における信号電極として
働き、ここで各々の駆動部における第１および第２電極
のあいだに位置した動的誘導薄膜層を横切って印加され
た電気的信号は動的誘導薄膜および前記駆動部の変形を
発生させるようにしたＭｘＮ薄膜駆動構造アレーと、前
記各々の駆動構造における前記各々の駆動部の近位の端
部において、相応する前記駆動部を固定するＭｘＮ支持
部アレーと、各々光ビームを反射するためのミラーと支
持層とを備えたＭｘＮミラー層のアレーであって、前記
各々のミラー層は第１および第２反射器に分けられて、
前記第１および第２反射器は互いに対称に配置され、前
記各々の反射器は、第１表面と、それと反対側の第２表
面と、これらのあいだに位置する中央タップ部とを含
み、前記中央タップ部と前記第１および第２表面とのあ
いだに分割スロットが形成されており、前記各々の反射
器の前記中央タップ部を前記各々の駆動構造における各
々の前記駆動部の上部に直接付着することによって各々
の前記反射器における前記中央タップ部が電気的信号に
応じて変形する際、各々の前記反射器における前記第１
および第２表面は残りの平面を傾斜させることによっ
て、前記第１および第２表面が光ビームを反射させられ
るようにして、その結果、光効率を増大させるＭｘＮミ
ラー層アレーとからなる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明のＭｘＮ薄膜アクチュエーテッ
ドミラーアレーの実施例について図面を参照しながら詳
細に説明する。
ドミラーアレーの実施例について図面を参照しながら詳
細に説明する。
【０００９】図１〜図３は、光投射システムに用いられ
る本発明の好ましい実施例に基づくＭｘＮ薄膜アクチュ
エーテッドミラーアレーの断面図および平面図である。
ここでＭおよびＮは正の整数である。なお、図１〜図３
において、同一の構成部分は同一の参照符号を付してい
る。
る本発明の好ましい実施例に基づくＭｘＮ薄膜アクチュ
エーテッドミラーアレーの断面図および平面図である。
ここでＭおよびＮは正の整数である。なお、図１〜図３
において、同一の構成部分は同一の参照符号を付してい
る。
【００１０】図１には、ＭｘＮ薄膜アクチュエーテッド
ミラー５１からなるアレー５０の断面図が示されてお
り、薄膜アクチュエーテッドミラー５１は、能動マトリ
ックス５２と、ＭｘＮ薄膜駆動構造５４のアレー５３
と、ＭｘＮ支持部５６のアレー５５と、ＭｘＮミラー層
５８のアレー５７とを含む。
ミラー５１からなるアレー５０の断面図が示されてお
り、薄膜アクチュエーテッドミラー５１は、能動マトリ
ックス５２と、ＭｘＮ薄膜駆動構造５４のアレー５３
と、ＭｘＮ支持部５６のアレー５５と、ＭｘＮミラー層
５８のアレー５７とを含む。
【００１１】図２は、図１に示されたＭｘＮ薄膜アクチ
ュエーテッドミラーアレー５０の断面を拡大して示す。
能動マトリックス５２は、基板５９と、ＭｘＮトランジ
スターアレー（図示せず）と、ＭｘＮ接続端子６１のア
レー６０とを含む。薄膜駆動構造５４の各々は、同一に
作成された第１および第２駆動部６２，６３を備えてい
る。各々の第１および第２駆動部６２，６３は、上面６
４、下面６５、側面６６６と遠位の端部６７および近位
の端部６８を有する。第１および第２駆動部６２，６３
の各々は、上面７０および下面７１を有する動的誘導物
質(motion-inducing material)（たとえば、圧電または
電歪物質）の薄膜層６９と、特定の厚さの第１および第
２電極７２，７３とを含み、第１電極７２は動的誘導薄
膜層６９の上面７０に配置され、第２電極７３は動的誘
導薄膜層６９の下面７１に配置されている。動的誘導薄
膜層６９が圧電物質、たとえば、ジリコン酸チタン酸鉛
(lead zirconium titanate;PZT) から形成された場合に
は、これらは必ず同一の方向に分極されなければならな
い。また、第１および第２電極７２，７３は電気的導電
性物質、たとえば、銀(Ag)または金(Au)で作られる。こ
の薄膜駆動構造５４において、各々の第１および第２駆
動部６２，６３の側面６６は互いに物理的に接触され
る。さらに、第１および第２駆動部６２，６３の第１電
極７２は互いに物理的に接触されることによって、共通
バイアス電極として機能し、第２電極７３は各々の駆動
部６２，６３における信号電極として機能する。そし
て、各々の駆動部６２，６３における第１および第２電
極７２，７３のあいだに位置する動的誘導薄膜層６９を
横切って印加された電気的信号は、動的誘導薄膜層６９
および駆動部６２，６３を変形させる。
ュエーテッドミラーアレー５０の断面を拡大して示す。
能動マトリックス５２は、基板５９と、ＭｘＮトランジ
スターアレー（図示せず）と、ＭｘＮ接続端子６１のア
レー６０とを含む。薄膜駆動構造５４の各々は、同一に
作成された第１および第２駆動部６２，６３を備えてい
る。各々の第１および第２駆動部６２，６３は、上面６
４、下面６５、側面６６６と遠位の端部６７および近位
の端部６８を有する。第１および第２駆動部６２，６３
の各々は、上面７０および下面７１を有する動的誘導物
質(motion-inducing material)（たとえば、圧電または
電歪物質）の薄膜層６９と、特定の厚さの第１および第
２電極７２，７３とを含み、第１電極７２は動的誘導薄
膜層６９の上面７０に配置され、第２電極７３は動的誘
導薄膜層６９の下面７１に配置されている。動的誘導薄
膜層６９が圧電物質、たとえば、ジリコン酸チタン酸鉛
(lead zirconium titanate;PZT) から形成された場合に
は、これらは必ず同一の方向に分極されなければならな
い。また、第１および第２電極７２，７３は電気的導電
性物質、たとえば、銀(Ag)または金(Au)で作られる。こ
の薄膜駆動構造５４において、各々の第１および第２駆
動部６２，６３の側面６６は互いに物理的に接触され
る。さらに、第１および第２駆動部６２，６３の第１電
極７２は互いに物理的に接触されることによって、共通
バイアス電極として機能し、第２電極７３は各々の駆動
部６２，６３における信号電極として機能する。そし
て、各々の駆動部６２，６３における第１および第２電
極７２，７３のあいだに位置する動的誘導薄膜層６９を
横切って印加された電気的信号は、動的誘導薄膜層６９
および駆動部６２，６３を変形させる。
【００１２】上面７４および下面７５を有するＭｘＮ支
持部５６の各々は、駆動部６２，６３の各々を支持する
ために用いられ、また、能動マトリックス５２上の相応
する接続端子６１に駆動構造５４の各々を電気的に連結
するために用いられる。
持部５６の各々は、駆動部６２，６３の各々を支持する
ために用いられ、また、能動マトリックス５２上の相応
する接続端子６１に駆動構造５４の各々を電気的に連結
するために用いられる。
【００１３】本発明のＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミ
ラー５１のアレー５０において、各々の駆動構造５４に
おける各々の第１および第２駆動部６２，６３は、近位
の端部６８で第１および第２駆動部６２，６３各々の下
部にある支持部５６の上面７４上に付着して支持部５６
の各々によって片持ち状に固定されており、その支持部
５６の各々の下面７５は能動マトリックス５２の上面に
位置している。各々の第１および第２駆動部６２，６３
の第２電極７３は相応する接続端子６１に連結される。
なお、支持部５６はセラミックで作られる。
ラー５１のアレー５０において、各々の駆動構造５４に
おける各々の第１および第２駆動部６２，６３は、近位
の端部６８で第１および第２駆動部６２，６３各々の下
部にある支持部５６の上面７４上に付着して支持部５６
の各々によって片持ち状に固定されており、その支持部
５６の各々の下面７５は能動マトリックス５２の上面に
位置している。各々の第１および第２駆動部６２，６３
の第２電極７３は相応する接続端子６１に連結される。
なお、支持部５６はセラミックで作られる。
【００１４】各々のミラー層５８は、光ビームを反射す
るためのミラー８３と支持層７６とを備える。各々のミ
ラー層５８は第１および第２反射器７７，７８に区分さ
れており、図３の平面図に示すように、第１および第２
反射器７７，７８は点線Ａ−Ａに対して互いに対称に配
置されている。各々の反射器７７，７８は、第１表面７
９と、それと反対側に位置する第２表面８０と、中央タ
ップ部８１とを有し、第１表面７９および第２表面８０
と中央タップ部８１とのあいだには、分割スロット８２
が形成されて分割されている。
るためのミラー８３と支持層７６とを備える。各々のミ
ラー層５８は第１および第２反射器７７，７８に区分さ
れており、図３の平面図に示すように、第１および第２
反射器７７，７８は点線Ａ−Ａに対して互いに対称に配
置されている。各々の反射器７７，７８は、第１表面７
９と、それと反対側に位置する第２表面８０と、中央タ
ップ部８１とを有し、第１表面７９および第２表面８０
と中央タップ部８１とのあいだには、分割スロット８２
が形成されて分割されている。
【００１５】反射器７７，７８の中央タップ部８１は、
各々の駆動構造５４における各々の駆動部６３，６４の
上部に直接付着されており、各々の反射器７７，７８に
おける中央タップ部８１が電気的信号に応じて変形する
際、各々の反射器７７，７８における第１および第２表
面７９，８０は残りの平面を傾斜すなわち平面状に維持
しながら傾斜する。したがって、ミラー層５８の有効長
さは各々の反射器の第１および第２表面７９，８０の全
長となり、アレー１０全体における光効率は従来のもの
よりも大幅に増大する。なお、各々のミラー層５８にお
ける第１および第２反射器７７，７８の中央タップ部は
互いに物理的に結合してもよく、または、分離してもよ
い。
各々の駆動構造５４における各々の駆動部６３，６４の
上部に直接付着されており、各々の反射器７７，７８に
おける中央タップ部８１が電気的信号に応じて変形する
際、各々の反射器７７，７８における第１および第２表
面７９，８０は残りの平面を傾斜すなわち平面状に維持
しながら傾斜する。したがって、ミラー層５８の有効長
さは各々の反射器の第１および第２表面７９，８０の全
長となり、アレー１０全体における光効率は従来のもの
よりも大幅に増大する。なお、各々のミラー層５８にお
ける第１および第２反射器７７，７８の中央タップ部は
互いに物理的に結合してもよく、または、分離してもよ
い。
【００１６】以上、本発明の好ましい実施例について説
明したが、本発明の範囲を逸脱することなく、当業者は
種々の改変をなし得るであろう。
明したが、本発明の範囲を逸脱することなく、当業者は
種々の改変をなし得るであろう。
【００１７】
【発明の効果】したがって、本発明によれば、ＭｘＮ薄
膜アクチュエーテッドミラーアレーにおける全体的な光
効率が大幅に向上する。
膜アクチュエーテッドミラーアレーにおける全体的な光
効率が大幅に向上する。
【図１】本発明の好ましい実施例による薄膜形ＭｘＮア
クチュエーテッドミラーアレーの断面図である。
クチュエーテッドミラーアレーの断面図である。
【図２】図１に示した本発明の薄膜形アクチュエーテッ
ドミラーアレーにおける薄膜形アクチュエーテッドミラ
ーの拡大断面図である。
ドミラーアレーにおける薄膜形アクチュエーテッドミラ
ーの拡大断面図である。
【図３】図２に示した薄膜形アクチュエーテッドミラー
の平面図である。
の平面図である。
【図４】従来の薄膜形ＭｘＮアクチュエーテッドミラー
アレーの断面図である。
アレーの断面図である。
５０ 薄膜形ＭｘＮアクチュエーテッドミラーアレー ５１ 薄膜形アクチュエーテッドミラー ５２ 能動マトリックス ５３ 薄膜形ＭｘＮ駆動構造アレー ５４ 薄膜形ＭｘＮ駆動構造 ５５ ＭｘＮ支持部アレー ５６ ＭｘＮ支持部 ５７ ＭｘＮミラー層アレー ５８ ミラー層 ５９ 基板 ６０ ＭｘＮ接続端子アレー ６２ 第１駆動部 ６３ 第２駆動部 ６９ 薄膜層 ７２ 第１電極 ７３ 第２電極 ７６ 支持層 ７７ 第１反射器 ７８ 第２反射器 ７９ 第１表面 ８０ 第２表面 ８１ 中央タップ部 ８２ 分割スロット
Claims (8)
- 【請求項１】 光投射形システムに用いるＭｘＮ薄膜ア
クチュエーテッドミラーアレー（ＭおよびＮは正の整
数）において、 基板と、ＭｘＮトランジスタアレーと、ＭｘＮ接続端子
とを含む能動マトリックスと、 それぞれ同一構造に形成された第１および第２駆動部を
備えるＭｘＮ薄膜駆動構造のアレーであって、前記各々
の第１および第２駆動部は、上面、下面、側面、近位の
端部および遠位の端部を有し、前記各々の第１および第
２駆動部は、上面および下面を備える少なくとも１つの
動的誘導物質の薄膜層を有し、前記各々の第１および第
２駆動部は、前記動的誘導薄膜層の上面に位置した第１
電極と前記動的誘導薄膜層の下面に位置した第２電極を
備えており、前記各々の駆動構造における前記各々の駆
動部の前記側面は互いに物理的に接触されており、前記
各々の駆動構造における前記第１および第２駆動部の各
々の前記第１電極は、前記第１および第２駆動部につい
て共通されることによって、共通バイアス電極として働
き、前記各々の駆動構造における前記第１および第２駆
動部の各々の前記第２電極は、相応する駆動部における
信号電極として働き、ここで各々の駆動部における第１
および第２電極のあいだに位置した動的誘導薄膜層を横
切って印加された電気的信号は動的誘導薄膜および前記
駆動部の変形を発生させるようにしたＭｘＮ薄膜駆動構
造アレーと、 前記各々の駆動構造における前記各々の駆動部の近位の
端部において、相応する前記駆動部を固定するＭｘＮ支
持部アレーと、 各々光ビームを反射するためのミラーと支持層とを備え
たＭｘＮミラー層のアレーであって、前記各々のミラー
層は第１および第２反射器に分けられて、前記第１およ
び第２反射器は互いに対称に配置され、前記各々の反射
器は、第１表面と、それと反対側の第２表面と、これら
のあいだに位置する中央タップ部とを含み、前記中央タ
ップ部と前記第１および第２表面とのあいだに分割スロ
ットが形成されており、前記各々の反射器の前記中央タ
ップ部を前記各々の駆動構造における各々の前記駆動部
の上部に直接付着することによって各々の前記反射器に
おける前記中央タップ部が電気的信号に応じて変形する
際、各々の前記反射器における前記第１および第２表面
は残りの平面を傾斜させることによって、前記第１およ
び第２表面が光ビームを反射させられるようにして、そ
の結果、光効率を増大させるＭｘＮミラー層アレーと、
からなるＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー。 - 【請求項２】 前記支持部の各々は、セラミックで作ら
れたことを特徴とする請求項１記載のＭｘＮ薄膜アクチ
ュエーテッドミラーアレー。 - 【請求項３】 前記第１および第２電極は、電気的導電
性物質で作られたことを特徴とする請求項１記載のＭｘ
Ｎ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー。 - 【請求項４】 前記支持層の各々は、セラミックで作ら
れたことを特徴とする請求項１記載のＭｘＮ薄膜アクチ
ュエーテッドミラーアレー。 - 【請求項５】 前記動的誘導薄膜層は、電歪または圧電
物質で作られたことを特徴とする請求項１記載のＭｘＮ
薄膜アクチュエーテッドミラーアレー。 - 【請求項６】 前記各々のミラー層における前記第１お
よび第２反射器の前記中央タップ部は物理的に結合され
たことを特徴とする請求項１記載のＭｘＮ薄膜アクチュ
エーテッドミラーアレー。 - 【請求項７】 前記各々のミラー層における前記第１お
よび第２反射器の前記中央タップ部は物理的に分離され
たことを特徴とする請求項１記載のＭｘＮ薄膜アクチュ
エーテッドミラーアレー。 - 【請求項８】 請求項１ないし請求項７に記載された構
造を有するＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー
を含むことを特徴とする投射形システム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930025880A KR0131570B1 (ko) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조 |
| KR1993-25880 | 1993-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07199094A true JPH07199094A (ja) | 1995-08-04 |
Family
ID=19369403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6297606A Ceased JPH07199094A (ja) | 1993-11-30 | 1994-11-30 | ＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5550680A (ja) |
| JP (1) | JPH07199094A (ja) |
| KR (1) | KR0131570B1 (ja) |
| CN (1) | CN1050674C (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997031283A1 (fr) * | 1996-02-26 | 1997-08-28 | Seiko Epson Corporation | Dispositif de modulation optique, ecran et dispositif electronique |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970003448B1 (ko) * | 1993-07-21 | 1997-03-18 | 대우전자 주식회사 | 투사형 화상표시장치용 광로조절장치 및 그 제조방법 |
| US5696618A (en) * | 1993-09-23 | 1997-12-09 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Electrodisplacive actuated mirror array and method for the manufacture thereof |
| KR0159416B1 (ko) * | 1995-05-26 | 1999-01-15 | 배순훈 | 광로 조절 장치 |
| US5637517A (en) * | 1995-05-26 | 1997-06-10 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Method for forming array of thin film actuated mirrors |
| US5789264A (en) * | 1996-03-27 | 1998-08-04 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film actuated mirror having a flat light reflecting surface |
| KR980003662A (ko) * | 1996-06-28 | 1998-03-30 | 배순훈 | 큰 구동 각도를 가지는 박막형 광로 조절 장치 |
| US5815305A (en) * | 1997-03-10 | 1998-09-29 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same |
| TW442783B (en) * | 1999-07-09 | 2001-06-23 | Ind Tech Res Inst | Folding mirror |
| WO2002086602A1 (en) * | 2001-04-17 | 2002-10-31 | M2N, Inc. | Micro-actuator and micro-device using the same |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3463572A (en) * | 1966-10-21 | 1969-08-26 | Perkin Elmer Corp | Optical phase modulation apparatus |
| US3904274A (en) * | 1973-08-27 | 1975-09-09 | Itek Corp | Monolithic piezoelectric wavefront phase modulator |
| US4111538A (en) * | 1976-02-25 | 1978-09-05 | Xerox Corporation | Projection system of high efficiency |
| US4985926A (en) * | 1988-02-29 | 1991-01-15 | Motorola, Inc. | High impedance piezoelectric transducer |
| JP2815910B2 (ja) * | 1989-07-19 | 1998-10-27 | シャープ株式会社 | 投影形画像表示装置 |
| US5185660A (en) * | 1989-11-01 | 1993-02-09 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
| US5260798A (en) * | 1989-11-01 | 1993-11-09 | Aura Systems, Inc. | Pixel intensity modulator |
| US5083854A (en) * | 1990-02-15 | 1992-01-28 | Greyhawk Systems, Inc. | Spatial light modulator with improved aperture ratio |
| US5140396A (en) * | 1990-10-10 | 1992-08-18 | Polaroid Corporation | Filter and solid state imager incorporating this filter |
| US5287215A (en) * | 1991-07-17 | 1994-02-15 | Optron Systems, Inc. | Membrane light modulation systems |
| US5175465A (en) * | 1991-10-18 | 1992-12-29 | Aura Systems, Inc. | Piezoelectric and electrostrictive actuators |
| JP2798845B2 (ja) * | 1992-03-26 | 1998-09-17 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| JP3151644B2 (ja) * | 1993-03-08 | 2001-04-03 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪膜型素子 |
| KR960016286B1 (ko) * | 1993-03-31 | 1996-12-07 | 대우전자 주식회사 | 투사형화상표시장치 |
| US5423207A (en) * | 1993-12-27 | 1995-06-13 | International Business Machines Corporation | Advanced PZT glide head design and implementation for a small slider |
-
1993
- 1993-11-30 KR KR1019930025880A patent/KR0131570B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1994
- 1994-11-30 US US08/346,958 patent/US5550680A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-11-30 JP JP6297606A patent/JPH07199094A/ja not_active Ceased
- 1994-11-30 CN CN94112763A patent/CN1050674C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997031283A1 (fr) * | 1996-02-26 | 1997-08-28 | Seiko Epson Corporation | Dispositif de modulation optique, ecran et dispositif electronique |
| US6094294A (en) * | 1996-02-26 | 2000-07-25 | Seiko Epson Corporation | Optical modulator device, display and electronic apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1050674C (zh) | 2000-03-22 |
| KR0131570B1 (ko) | 1998-04-16 |
| KR950016311A (ko) | 1995-06-17 |
| US5550680A (en) | 1996-08-27 |
| CN1115856A (zh) | 1996-01-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3595556B2 (ja) | 光投射システムで用いられる薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ | |
| AU689558B2 (en) | Thin film actuated mirror array | |
| JP3165444B2 (ja) | Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法 | |
| RU2125347C1 (ru) | Матрица управляемых тонкопленочных отражателей, предназначенная для использования в оптической проекционной системе, и способ ее изготовления | |
| JPH07199094A (ja) | ＭｘＮ薄膜アクチュエーテッドミラーアレー | |
| JP3561544B2 (ja) | Ｍ×ｎ薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法 | |
| US5689380A (en) | Thin film actuated mirror array for providing double tilt angle | |
| KR100283452B1 (ko) | 모노모프박막액츄에이티드미러어레이 | |
| JPH07301754A (ja) | Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレー及びその製造方法 | |
| US5708524A (en) | Array of electrically independent thin film actuated mirrors | |
| KR0131569B1 (ko) | 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조 | |
| MXPA97003079A (en) | Formed mirror of filmed delgadapara to be used in an opt projection system | |
| AU3780900A (en) | Monomorph thin film actuated mirror array |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20040224 |