KR0131570B1 - 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조 - Google Patents

투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조

Info

Publication number
KR0131570B1
KR0131570B1 KR1019930025880A KR930025880A KR0131570B1 KR 0131570 B1 KR0131570 B1 KR 0131570B1 KR 1019930025880 A KR1019930025880 A KR 1019930025880A KR 930025880 A KR930025880 A KR 930025880A KR 0131570 B1 KR0131570 B1 KR 0131570B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceramic
mirror
optical path
structure according
electrode
Prior art date
Application number
KR1019930025880A
Other languages
English (en)
Other versions
KR950016311A (ko
Inventor
윤동선
Original Assignee
배순훈
대우전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 배순훈, 대우전자주식회사 filed Critical 배순훈
Priority to KR1019930025880A priority Critical patent/KR0131570B1/ko
Priority to US08/346,958 priority patent/US5550680A/en
Priority to CN94112763A priority patent/CN1050674C/zh
Priority to JP6297606A priority patent/JPH07199094A/ja
Publication of KR950016311A publication Critical patent/KR950016311A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0131570B1 publication Critical patent/KR0131570B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/74Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/74Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
    • H04N5/7416Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal
    • H04N5/7458Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal the modulator being an array of deformable mirrors, e.g. digital micromirror device [DMD]

Abstract

본 발명은 광로 조절 장치가 제어하는 광의 효율을 높게 하도록 하기에 적합한 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조에 관한 것으로, 종래의 기술에 있어서는 구동시, 바이어스 전극(7)의 표면이 평평하지 않고 곡면을 이루기 때문에 광의 반사율이 나쁘므로 광효율이 떨어져 결국, 밝기가 저하되고 지지부(2)에서 구동부(탄성부(3)부터 바이어스 전극(7)까지의 우측 끝면)까지의 거리가 멀기 때문에 구동시, 강성이 떨어지기 때문에 응답 속도가 느리게 되는 결점이 있었으나, 본 발명에서는 광을 반사시키기 위한 거울(16)이 T 자가 마주보고 있는 형태로 형성되므로 구동시, 거울(16) 대부분이 직선 형태로 경사져 광 반사 효율이 증가하고 거울(16)이 지지부(11)와 구동 부분이 짧기 때문에 강성이 커져 응답 속도가 빠르므로 상술한 결점을 개선시킬수 있는 것이다.

Description

투사형 화상표시 장치의 광로 저절 장치 구조
제 1도는 종래의 기술에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조의 일 실시예를 나타낸 단면도
제 2도는 본 발명에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조의 일 실시예를 나타낸 단면도
제 3도는 제 2도의 거울을 나타낸 평면도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 구동기관 11 : 지지부
12 : 세라믹 13 : 바이어스 전극
14 : 신호전극 15 : 거울 몸체
16 : 거울
본 발명은 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조에 관한 것으로 특히, 광로 조절 장치가 제어하는 광의 효율을 높게 하도록 하기에 적합한 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치 구조에 관한 것이다. 일반적으로 화상 표시 장치는 표시 방법에 따라 직시형 화상 표시 장치와 투사형 화상 표시 장치로 구분된다. 먼저, 직시형 화상 표시 장치로는 음극선관(cathode ray tube; CRT)등이 있는데, 이러한 음극선관은 비교적 화질은 좋으나, 화면을 크게 함에 따라 그 음극선관의 중량 및 두께가 증대하고 원가도 비싸지는 결점이 있다. 다음, 투사형 화상 표시 장치로는 액정 디스플레이(active matrix liquid crystal display; AMLCD)등이 있는데, 이러한 액정 디스플레이는 박형화가 가능하여 중량을 작게할 수는 있으나, 편광판에 의한 광 손실이 크고 액정 디스플레이를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT)가 각 화소마다 형성되어 있기 때문에 개구율(광의 투과 면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다. 따라서, 그 액정 디스플레이의 상기와 같은 단점을 해결하기 위하여 미합중국 Aura 사에 의해 광로 조절 장치중의 하나인 AMA(actuated mirror arrays)를 이용한 투사형 화상 표시 장치가 개발되었다. 또한, AMA는 구동 방식에 따라 액츄에이터가 M X 1의 매트릭스로 된 1차원 AMA와 액츄에이터가 M X N의 매트릭스로 된 2차원 AMA로 구분된다.
이때, M과 N은 임의의 정수이다. 그리고, 상기 AMA를 구성하는 각 액츄에이터는 압전 소자나 전왜 소자로 이루어져 그 압전 소자나 전왜 소자에 전압이 인가될 경우, 전계가 발생함으로써 변형되어 상부에 장착된 거울을 기울어지게 하므로 그 각 거울에 반사되는 빛이 해당렌즈 등을 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 되어 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다. 제 1도는 종래의 기술에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조의 일 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어진 구동 기판(1) 표면 일측에 지지부(2)가 형성되고 지지부(2) 표면 및 픽셀 영역에 탄성부(3), 신호 전극(5), 세라믹(압전 세라믹, 전왜 세라믹)(6) 그리고 바이어스 전극(7)이 차례로 형성되며, 금속(4)이 상기 탄성부(3) 및 지지부(2)를 수직으로 관통되어 이루어진다. 이와 같이 이루어지는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치를 보면, 각 바이어스 전극(7)을 접지하고 구동기판(1)내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호 전극(5)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되므로써 상부 및 하부에 전압이 인가되는 세라믹(6)은 분극된 방향에 의해 변형된다.
따라서, 그 세라믹(6)의 변형에 의해 바이어스 전극(7)이 해당 방향으로 경사지게 되므로 화상을 형성하기 위한 광이 그 바이어스 전극(7)에 각각 반사되어 해당렌즈(도면중에 도시되지 않음)을 통해 화면(도면중에 도시되지 않음)의 일정부분에 도달하게 됨으로써 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다. 이때, 상기 바이어스 전극(7)은 금속으로 이루어져 전극의 기능 뿐만 아니라, 거울의 기능도 함께 갖는다. 그러나, 이와 같은 종래의 기술에 있어서는 구동시, 바이어스 전극(7)의 표면이 평평하지 않고 곡면을 이루기 때문에 광의 반사율이 나쁘므로 광 효율이 떨어져 결국, 밝기가 저하되고 지지부(2)에서 구동부(탄성부(3)부터 바이어스 전극(7)까지의 우측 끝면)까지의 거리가 멀기 때문에 구동시, 강성이 떨어지기 때문에 응답 속도가 느리게 되는 결점이 있다.본 발명은 이와 같은 종래의 결점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 구조를 개선시켜 구동시, 거울이 평평한 상태로 경사지도록함으로써 광 효율을 향상시킬 수 있는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조를 제공하는데 그 목적이 있다. 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 구동기판 중앙에 지지부가 형성되고 지지부 위 픽셀 여역 내측에 세라믹이 형성되며, 세라믹 표면 및 세라믹과 지지부를 관통하여 바이어스 전극이 형성되고 세라믹의 드러난 하측 면 및 지지부의 양측면에 신호 전극이 형성된다. 또한, 바이어스 전극 표면 및 각 픽셀 영역에 거울 몸체 및 거울이 차례로 형성되어 이루어짐을 특징으로 한다. 이하, 이와 같은 본 발명의 일 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제 2도를 참조하면, 제 2도는 본 발명에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조의 일 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어지는 구동 기판(10) 중앙에 지지부(세라믹)(11)가 형성되고 지지부(11)위 필셀 영역 내측에 세라믹(12)이 형성되며, 세라믹(12) 표면 및 세라믹(12)과 지지부(11)를 관통하여 바이어스 전극(금속)(13)이 형성되고 세라믹(12)의 드러난 하측 면 및 지지부(11)의 양측면에 신호 전극(금속)(14)이 형성된다. 또한, 바이어스 전극(13) 표면 및 각 픽셀 영역에 거울 몸체(세라믹)(14) 및 거울(금속)(16)이 차례로 형성되어 이루어진다. 이 때, 거울(16)은 광 반사 기능이 매우 중요하기 때문에 반사율이 좋은 금속을 사용해야 한다. 그리고, 상기 거울(16)은 T 자가 마주보고 있는 형태로 형성된다. 이와 같이 이루어지는 본 발명에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절장치 구조를 제 3도를 참조하여 보면, 각 바이어스 전극(13)을 접지시키고 구동 기판(10)내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호 전극(14)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되도록 함으로써 아래위로 전압이 인가되는 세라믹(12)은 분극된 방향에 의해 변형된다.
따라서, 그 세라믹(12)의 변형에 의해 각 거울(16)이 경사지게 되므로 화상을 형성하기 위한 광이 그 각 거울(16)에 의해 해당 방향으로 반사되어 해당 렌즈를 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 됨으로써 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다. 즉, 제 3도의 A-A선을 절단한 단면이 제 2도에 도시된 바와 같으며 구동시, 세라믹(12)이 수축될 경우 거울 몸체(15)의 지지에 의해 거울(16)은 아래방향으로 휘게된다. 이때, 제 3도와 같이 거울(16)은 T자가 마주보고 있는 형태로 있기 때문에 거울(16)의 중앙 부분은 곡선 형태로 변형되지만 거울(16)의 대부분 면적에 해당하는 그 거울(16)의 상측 및 하측은 직선으로 경사진다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 광을 반사시키기 위한 거울(16)이 T자가 마주보고 있는 형태로 형성되므로 구동시, 거울(16) 대부분이 직선 형태로 경사져 광 반사 효율이 증가하고 거울(16)이 지지부(11)와 구동 부분이 짧기 때문에 강성이 커져 응답 속도가 빠르다.

Claims (8)

  1. 구동기판(10) 중앙에 지지부(11)가 형성되고 지지부(11)위 픽셀 영역 내측에 세라믹(12)이 형성되며, 세라믹(12) 표면 및 세라믹(12)과 지지부(11)를 관통하여 바이어스 전극(13)이 형성되고 세라믹(12)의 드러난 하측 면 및 지지부(11)의 양측 면이 신호 전극(14)이 형성되며, 바이어스 전극(13)표면 및 각 픽셀 영역에 거울 몸체(15) 및 거울(16)이 차례로 형성되어 이루어지는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조..
  2. 제 1항에 있어서, 상기 거울(16)은 "T"자가 마주보고 있는 형태로 형성된 투사형 화상 표시 장치의 광로 1조절 장치 구조.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 지지부(11)는 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치구조.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 바이어스 전극(13)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치구조.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 신호 전극(14)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치구조.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 거울 몸체(15)는 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  7. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 거울(16)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  8. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 세라믹(12)은 전왜 세라믹 또는 압전 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
KR1019930025880A 1993-11-30 1993-11-30 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조 KR0131570B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019930025880A KR0131570B1 (ko) 1993-11-30 1993-11-30 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조
US08/346,958 US5550680A (en) 1993-11-30 1994-11-30 Thin film actuated mirror array having an improved optical efficiency
CN94112763A CN1050674C (zh) 1993-11-30 1994-11-30 具有改进光学效率的薄膜驱动反射镜阵列
JP6297606A JPH07199094A (ja) 1993-11-30 1994-11-30 MxN薄膜アクチュエーテッドミラーアレー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019930025880A KR0131570B1 (ko) 1993-11-30 1993-11-30 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR950016311A KR950016311A (ko) 1995-06-17
KR0131570B1 true KR0131570B1 (ko) 1998-04-16

Family

ID=19369403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019930025880A KR0131570B1 (ko) 1993-11-30 1993-11-30 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5550680A (ko)
JP (1) JPH07199094A (ko)
KR (1) KR0131570B1 (ko)
CN (1) CN1050674C (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970003448B1 (ko) * 1993-07-21 1997-03-18 대우전자 주식회사 투사형 화상표시장치용 광로조절장치 및 그 제조방법
JPH07151984A (ja) * 1993-09-23 1995-06-16 Daewoo Electron Co Ltd M×nエレクトロディスプレーシブアクチュエーテッドミラーアレーの製法
US5637517A (en) * 1995-05-26 1997-06-10 Daewoo Electronics Co., Ltd. Method for forming array of thin film actuated mirrors
KR0159416B1 (ko) * 1995-05-26 1999-01-15 배순훈 광로 조절 장치
TW357271B (en) * 1996-02-26 1999-05-01 Seiko Epson Corp Light regulator, display and the electronic machine
US5789264A (en) * 1996-03-27 1998-08-04 Daewoo Electronics Co., Ltd. Method for manufacturing a thin film actuated mirror having a flat light reflecting surface
KR980003662A (ko) * 1996-06-28 1998-03-30 배순훈 큰 구동 각도를 가지는 박막형 광로 조절 장치
US5815305A (en) * 1997-03-10 1998-09-29 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
TW442783B (en) * 1999-07-09 2001-06-23 Ind Tech Res Inst Folding mirror
WO2002086602A1 (en) * 2001-04-17 2002-10-31 M2N, Inc. Micro-actuator and micro-device using the same

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3463572A (en) * 1966-10-21 1969-08-26 Perkin Elmer Corp Optical phase modulation apparatus
US3904274A (en) * 1973-08-27 1975-09-09 Itek Corp Monolithic piezoelectric wavefront phase modulator
US4111538A (en) * 1976-02-25 1978-09-05 Xerox Corporation Projection system of high efficiency
US4985926A (en) * 1988-02-29 1991-01-15 Motorola, Inc. High impedance piezoelectric transducer
JP2815910B2 (ja) * 1989-07-19 1998-10-27 シャープ株式会社 投影形画像表示装置
US5185660A (en) * 1989-11-01 1993-02-09 Aura Systems, Inc. Actuated mirror optical intensity modulation
US5260798A (en) * 1989-11-01 1993-11-09 Aura Systems, Inc. Pixel intensity modulator
US5083854A (en) * 1990-02-15 1992-01-28 Greyhawk Systems, Inc. Spatial light modulator with improved aperture ratio
US5140396A (en) * 1990-10-10 1992-08-18 Polaroid Corporation Filter and solid state imager incorporating this filter
US5287215A (en) * 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems
US5175465A (en) * 1991-10-18 1992-12-29 Aura Systems, Inc. Piezoelectric and electrostrictive actuators
JP2798845B2 (ja) * 1992-03-26 1998-09-17 株式会社テック インクジェットプリンタヘッドの製造方法
JP3151644B2 (ja) * 1993-03-08 2001-04-03 日本碍子株式会社 圧電/電歪膜型素子
KR960016286B1 (ko) * 1993-03-31 1996-12-07 대우전자 주식회사 투사형화상표시장치
US5423207A (en) * 1993-12-27 1995-06-13 International Business Machines Corporation Advanced PZT glide head design and implementation for a small slider

Also Published As

Publication number Publication date
KR950016311A (ko) 1995-06-17
JPH07199094A (ja) 1995-08-04
CN1115856A (zh) 1996-01-31
CN1050674C (zh) 2000-03-22
US5550680A (en) 1996-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970003007B1 (ko) 투사형 화상표시장치용 광로조절장치 및 그 구동방법
KR970003466B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조 방법
JP2000028933A (ja) アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイ、並びにアレイ型光変調素子の駆動方法
KR0131570B1 (ko) 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조
US6700554B2 (en) Transmissive display device using micro light modulator
US7812923B2 (en) Liquid crystal display device and method for driving the same with particular light focusing unit
JPH05181127A (ja) 反射防止特性を備えたアクティブマトリクスlcd投影システム
KR970008397B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR970006677B1 (ko) 투사형화상표시장치의광로조절장치구조
KR970008399B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR970008396B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR970006699B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조방법
KR970006698B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
US11782306B2 (en) Display device
KR970006701B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
KR970006693B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 구조
KR970006690B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
KR970006700B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR101211299B1 (ko) 백라이트 유닛 및 이를 이용한 액정표시장치
KR0178188B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 제조방법
KR100207372B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 구조
KR100207368B1 (ko) 광로 조절 장치
KR970003451B1 (ko) 투사형화상표시장치의 광로조절기
KR100208025B1 (ko) 표시장치의 패널 및 그 제조방법
KR0161452B1 (ko) 액정 디스플레이의 백라이트

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20011128

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee