KR970006699B1 - 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조방법 - Google Patents

Abstract

내용없음.

Description

투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조방법

제1도는 종래 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 일 실시예를 나타낸 단면도.

제2도는 종래 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도.

제3도는 본 발명 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조의 일 실시예를 나타낸 공정 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

20 : 구동기판 21 : 지지부

22 : 희생막 23 : 탄성부

24 : 신호전극 25 : 세라믹

26 : 바이어스 전극

본 발명의 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조에 관한 것으로, 특히, 화질의 질을 높게 하기에 적합한 투사형 화상표시장치의 광로조절제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 화상표시장치는 표시 방법에 따라 직시형 화상표시장치와 투사형 화상표시장치로 구분된다.

먼저, 직시형 화상표시장치로는 음극선관(cathode ray tube; CRT) 등이 있는데, 이러한 음극선관은 화질이 좋으나, 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증대와 원가가 비싸지는 결점이 있다.

다음, 투사형 화상표시장치로는 대화면 액정 디스플레이(active matrix liquid crystal display; AMLCD)등이 있는데, 이러한 대화면 액정 디스플레이는 박형화가 가능하여 중량을 작게할 수는 있으나, 편광판에 의한 광 손실이 크고 액정 디스플레이를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(thin film transistor : TFT)가 각 화소마다 형성되어 있기 때문에 개구율(광의 투과 면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.

따라서, 그 액정 디스플레이의 상기와 같은 단점을 해결하기 위하여 미합중국 Aura사에 의해 광로조절장치중의 하나인 AMA(actuated mirror arrays)를 이용한 투사형 화상표시장치가 개발되었다.

또한, AMA는 구동 방식에 따라 액츄에이터가 M×1의 매트릭스로 된 1차원 AMA와 액츄에이터가 M×N의 매트릭스로 된 2차원 AMA로 구분된다.

이때, M과 N은 임의의 정수이다.

그리고, 상기 AMA를 구성하는 각 액츄에이터는 압전 소자나 전왜 소자로 이루어져 그 압전 소자나 전왜소자에 전압이 인가될 경우, 전계가 발생하므로써 변형되어 상부에 장착된 거울을 기울어지게 하므로 그 각 거울에 반사되는 빛이 해당 렌즈 등을 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 되어 원하는 영상을 디스플레이 할 수 있다.

제1도는 종래 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 일 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어진 구동기판(1) 표면 일측에 지지부(2)가 형성되고 지지부(2) 표면 및 픽셀 영역에 멤브레인(membrane)(3), 신호전극(5), 세라믹(압전 세라믹, 전왜 세라믹)(6) 그리고 바이어스 전극(7)이 차례로 형성되며, 금속(4)이 상기 멤브레인(3) 및 지지부(2)를 수직으로 관통되어 이루어진다.

제2도는 종래 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막트랜지스터로 이루어진 구동기판(1) 표면 일측에 지지부(2)가 형서되고 지지부(2) 표면 및 픽셀 영역에 멤브레인(3), 신호전극(5), 세라믹(6) 그리고 바이어스 전극(7)이 차례로 형성되며, 금속(4)이 상기 멤브레인(3) 및 지지부(2)를 수직으로 관통되어 형성되는 것은 종래와 같다.

또한, 바이어스 전극(7) 표면 지지부(2)와는 반대측에 거울 지지부(8)가 형성되고 거울 지지부(8) 표면 및 픽셀 영역에 거울 몸체(9) 및 거울(10)이 차례로 형성되어 이루어진다.

이와 같이 이루어지는 종래 투사형 화상표시장치의 광로조절장치를 보면, 각 바이어스 전극(7)을 접지하고 구동기판(1) 내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호전극(5)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되므로써 상부 및 하부에 전압이 인가되는 세라믹(6)은 분극된 방향에 의해 변형된다.

따라서, 그 세라믹(6)의 변형에 의해 바이어스 전극(7) 및 거울(10)이 해당 방향으로 경사지게 되므로 화상을 형성하기 위한 광이 그 바이어스 전극(7) 및 거울(10)에 각각 반사되어 해당 렌즈(도면중에 도시되지 않음)을 통해 화면(도면중에 도시되지 않음)의 일정 부분에 도달하게 되므로써 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다.

이때, 상기 제1도의 바이어스 전극(7)은 금속으로 이루어져 전극의 기능 뿐만 아니라, 거울의 기능도 함께 갖는다.

그러나, 이와 같은 종래의 기술에 있어서는 구조적으로 복잡하에 불안정하게 이루어져 있기 때문에 수명이 짧으며, 각 픽셀을 균일하게 제조하기가 어려워지며, 화질이 떨어진다.

본 발명은 이와 같은 종래의 결점을 해결하기 위하여 안출한 것으로 구조를 개선시켜 구동시, 안전한 구조로 화질을 향상시킬 수 있는 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 먼저, 구동기판 표면에 지지부를 선택적으로 형성하고 그 지지부 사이에 희생막을 형성한다.

다음, 희생막(22) 표면에 탄성부를 형성하고 지지부 중앙 일부를 제거하여 구멍을 형성한 후 그 구멍 및 표면에 신호전극을 선택적으로 형성한다.

이어, 표면에 세라믹과 바이어스 전극을 차례로 형성하고 상기 희생막을 제거하여 투사형 화살표시장치의 광로조절장치를 제조함을 특징으로 한다.

이하, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명을 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도를 참조하면, 본 발명 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조의 일 실시예를 나타낸 공정 단면도로, 먼저, 제3a도와 같이 다수의 박막 트랜지스터로 이루어진 구동기판(20) 표면에 지지부(세라믹)(21)를 선택적으로 형성되고 그 지지부(21) 사이 구동기판(20) 표면에 희생막(22)을 형성한다.

다음, 제3b도와 같이 희생막(22) 표면에 탄성부(나이트라이드)(23)를 형성하고 지지부(21) 중앙 일부를 표면부터 구동기판(20) 표면까지 제거하여 구멍을 형성한 후 그 구멍 및 표면에 신호전극(금속)(24)을 각 픽셀 단위에 따라 선택적으로 형성한다.

이어, 제3c도와 같이 전 표면에 세라믹(압전 세라믹 또는 전왜 세라믹)(25)과 바이어스 전극(금속)(26)을 차례로 형성하고 상기 희생막(22)을 모두 제거한다.

이와 같이 이루어지는 본 발명 투사형 화상표시장치의 광로조절장치를 보면, 각 바이어스 전극(26)을 접지하고 구동기판(20) 내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호전극(24)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되므로써 전압이 인가되는 세라믹(25)은 분극된 방향에 의해 변형된다.

따라서, 그 세라믹(25)의 변형에 의해 각 바이어스 전극(26)이 휘어지게 되므로 화상을 형성하기 위한 광이 그 각 바이어스 전극(26)에 반사되어 해당 렌즈를 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 되므로써 원하는 영상을 디스플레이 할 수 있다.

이때, 상기 바이어스 전극(26)은 전극의 기능 뿐만 아니라, 표면에 반사 기능을 주어 거울의 기능도 함께 갖는다.

즉, 구동시, 상기 세라믹(25)의 변형에 의해 바이어스 전극(26)이 굴곡되게 변형하므로써 그 변형이 슬릿(slit)(도면중에 도시되지 않음)을 통과하는 광 분포를 변화시켜 화상을 구현한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 각 지지부(21)에 의해 각 픽셀의 양 끝단이 고정되어 구조적으로 안정되며, 픽셀이 균일하게 형성되므로 화질이 개선되는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 구동기판(20) 표면에 지지부(21)를 선택적으로 형성되고 그 지지부(21) 사이 구동기판(20) 표면에 희생막(22)을 형성하는 단계와; 상기 희생막(22) 표면에 탄성부(23)를 형성하고 지지부(21) 중앙 일부를 표면부터 구동기판(20) 표면까지 제거하여 구멍을 형성한 후 그 구멍 및 표면에 신호전극(24)을 각 픽셀 단위에 따라 선택적으로 형성하는 단계와; 전 표면에 세라믹(25)과 바이어스 전극(26)을 차례로 형성하고 상기 희생막(22)을 제거하는 단계로 된 투사형 화살표시장치의 광로조절장치 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 지지부(21)는 세라믹으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 탄성부(23)는 나이트라이드로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 신호전극(24)은 금속으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 세라믹(25)은 전왜 세라믹 또는 압력 세라믹으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조 방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 바이어스 전극(26)은 금속으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조 방법.