KR970006701B1

KR970006701B1 - 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조

Info

Publication number: KR970006701B1
Application number: KR1019930025883A
Authority: KR
Inventors: 김유광
Original assignee: 대우전자주식회사; 배순훈
Priority date: 1993-11-30
Filing date: 1993-11-30
Publication date: 1997-04-29
Also published as: KR950016314A

Abstract

내용없음.

Description

투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조

제1도는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 일실시예를 나타낸 단면도.

제2도는 본 발명의 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 일실시예를 나타낸 단면도.

제3도는 제2도에 따른 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

20 : 구동 기판 21, 22, 23 : 제1, 제2, 제3지지부

24 : 탄성부 25 : 신호 전극

26 : 세라믹 27 : 바이어스 전극

28 : 거울

본 발명은 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조에 관한 것으로, 특히, 광로 조절 장치의 구조가 안정하게 되도록 하기에 적합한 투사형 화살 표시 장치의 광로조절 장치 구조에 관한 것이다.

일반적으로, 화상 표시 장치는 표시 방법에 따라 직시형 화상 표시 장치와 투사형 화상 표시 장치로 구분된다.

먼저, 직시형 화상 표시 장치로는 음극선관(cathode ray tube; CRT) 등이 있는데, 이러한 음극선관은 화질은 좋으나, 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증대와 원가가 비싸지는 결점이 있다.

다음, 투사형 화상 표시 장치로는 대화면 액정 디스플레이(active matrix liquid crystal display; AMLCD)등이 있는데, 이러한 대화면 액정 디스플레이는 박형화가 가능하여 중량을 작게할 수는 있으나, 편광판에 의한 광 손실이 크고 액정 디스플레이를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT)가 각 화소마다 형성되어 있기 때문에 개구율(광의 투과 면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.

따라서, 그 액정 디스플레이의 상기와 같은 단점을 해결하기 위하여 미합중국 Aura사에 의해 광로 조절 장치중의 하나인 AMA(actuated mirror arrays)를 이용한 투사형 화상 표시 장치가 개발되었다.

또한, AMA는 구동 방식에 따라 액츄에이터가 M×1의 매트릭스로 된 1차원 AMA와 액츄에이터가 M×N의 매트릭스로 된 2차원 AMA로 구분된다.

이때, M과 N은 임의의 정수이다.

그리고, 상기 AMA를 구성하는 각 액츄에이터는 압전 소자나 전왜 소자로 이루어져 그 압전 소자나 전왜 소자에 전압이 인가될 경우, 전계가 발생하므로써 변형되어 상부에 장착된 거울을 기울어지게 하므로 그 각 거울에 반사되는 빛이 해당 렌즈 등을 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 되어 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다.

제1도는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조의 일실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어진 구동 기판(1) 표면 일측에 지지부(2)가 형성되고 지지부(2) 표면 및 픽셀 영역에 탄성부(Si3N4)(4), 신호 전극(5), 세라믹(압전 세라믹 또는 전왜 세라믹)(6) 그리고 바이어스 전극(7)이 차례로 형성되며, 금속(3)이 상기 탄성부(4) 및 지지부(2)를 수직으로 관통되어 형성된다.

또한, 바이어스 전극(7) 표면에 지지부(2)와는 반대 측에 거울 지지부(8)가 형성되고 그 거울 지지부(8) 표면 및 픽셀 영역에 거울(9)이 형성되어 이루어진다.

이와 같이 이루어지는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치를 보면, 각 바이어스 전극(7)을 접지하고 구동 기판(1)내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호 전극(5)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되므로써 상부 및 하부에 전압이 인가되는 세라믹(6)은 분극된 방향에 의해 변형된다.

따라서, 그 세라믹(6)의 변형에 의해 바이어스 전극(7)이 해당 방향으로 경사지게 되므로 거울(9)도 경사지게 되어 화상을 형성하기 위한 광이 그 거울(9) 표면에 반사되어 해당 렌즈(도면중에 도시되지 않음)를 통해 화면(도면중에 도시되지 않음)의 일정 부분에 도달하게 되므로써 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다.

그러나, 이와 같은 종래의 기술에 있어서는 구조가 불안정하기 때문에 장시간 구동시, 고장이 발생하기 쉽고 에어 갭(air gap) 형성을 위해 희생막을 제거하는 공정을 실시할 경우, 변형이 발생하여 신뢰성이 저하하는 결점이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 결점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 거울을 양측에서 지지하도록 하여 장시간 구동시에도 안정된 동작이 이루어질 수 있도록 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 구동 기판 표면 중앙에 제1지지부가각각 형성되고 그 제1지지부와 일정 간격을 두며 구동 기판 표면에 제2지지부가 각각 형성되며, 그 제1지지부 및 구동 기판 표면과 일정 간격을 두며 제2지지부와는 반대 편에 제3지지부가 형성된다.

또한, 제2, 제3지지부 사이에 탄성부, 신호 전극, 세라믹 그리고 바이어스 전극이 제1지지부를 관통하면서 차례로 형성된다.

이때, 신호 전극은 제2지지부를 관통하여 구동 기판 표면에 접속되어 형성된다.

그리고, 거울이 제1, 제3지지부 표면에 걸쳐 각 픽셀 영역에 제1지지부 영역 부근에서 V자 형태를 이루면서 형성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 이와 같은 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제2도를 참조하면, 본 발명 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 일실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어지는 구동 기판(20) 표면 중앙에 제1지지부(세라믹)(21)가 각각 형성되고 그 제1지지부(21)와 일정 간격을 두며 구동 기판(20) 표면에 제2지지부(세라믹)(22)가 각각 형성되며, 그 제1지지부(21) 및 3동 기판(20) 표면과 일정 간격을 두며 제2지지부(22)와는 반대 편에 제3지지부(세라믹)(23)가 형성된다.

또한, 제2, 제3지지부(22)(23) 사이에 탄성부(질화물)(24), 신호 전극(금속)(25), 세라믹(전왜 세라믹 또는 압전 세라믹)(26) 그리고 바이어스 전극(금속)(27)이 제1지지부(21) 상측 중앙을 관통하면서 차례로 형성된다.

이때, 신호 전극(25)은 제2지지부(22)를 수직 방향으로 관통하여 구동 기판(20) 표면에 접속되어 형성된다.

그리고, 거울(금속)(28)이 제1, 제3지지부(21)(23) 표면에 걸쳐 각 픽셀 영역에 제1지지부(21) 영역 부근에서 V자 형태를 이루면서 형성되어 이루어진다.

이와 같이 이루어지는 본 발명 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치를 제3도를 참조하여 보면, 각 바이어스 전극(27)을 접지하고 구동기판(20)내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호 전극(25)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되므로써 상부 및 하부에 전압이 인가되는 세라믹(26)은 분극된 방향에 의해 변형된다.

따라서, 그 세라믹(26)이 변형에 의해 거울(28)이 해당방향으로 경사지게 되므로 화상을 형성하기 위한 광이 거울(28) 표면에 반사되어 해당 렌즈를 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 되므로써 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 각 픽셀의 거울(28)이 제2, 제3지지부(22)(23)에 의해 좌우측에서 대칭적으로 고정되므로 거울(28)의 구조가 안정하게 되고 이에 따라 구동이 안정하게 이루어지며, 구동시, 종래 액츄에이터의 선단 변위를 이용하면서 거울(28)의 경사부분 길이는 액츄에이터 길이의 반에 해당하므로 경사각이 커져 해상도가 향상되는 효과가 있다.

Claims

구동 기판(20) 표면 중앙에 제1지지부(21)가 각각 형성되고 그 제1지지부(21)와 일정 간격을 두며 구동 기판(20) 표면에 제2지지부(22)가 각각 형성되며, 상기 제1지지부(21) 및 구동 기판(20) 표면과 일정 간격을 두며 제2지지부(22)와는 반대 편에 제3지지부(23)가 형성되고 제2, 제3지지부(22)(23) 사이에 탄성부(24), 신호 전극(25), 세라믹(26) 그리고 바이어스 전극(27)이 제1지지부(21) 상부를 관통하면서 차례로 형성되며, 거울(28)이 제1, 제3지지부(21)(23) 표면에 걸쳐 각 픽셀 영역에 형성되어 이루어지는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 신호 전극(25)은 제2지지부(22)를 관통하여 구동 기판(20) 표면에 접속되어 이루어지는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 거울(28)은 제1지지부(21) 영역에서 V자 형태로 되어 이루어지는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 제1, 제2, 제3지지부(21-23)는 적어도 하나가 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 탄성부(24)는 질화물로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 신호 전극(25)는 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 세라믹(26)은 전왜 세라믹 또는 압전 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 바이어스 전극(27)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
제1항에 있어서, 상기 거울(28)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.