KR970006698B1 - 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조 - Google Patents

투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조 Download PDF

Info

Publication number
KR970006698B1
KR970006698B1 KR1019930025879A KR930025879A KR970006698B1 KR 970006698 B1 KR970006698 B1 KR 970006698B1 KR 1019930025879 A KR1019930025879 A KR 1019930025879A KR 930025879 A KR930025879 A KR 930025879A KR 970006698 B1 KR970006698 B1 KR 970006698B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceramic
metal
image display
display device
light path
Prior art date
Application number
KR1019930025879A
Other languages
English (en)
Other versions
KR950016310A (ko
Inventor
이석원
Original Assignee
대우전자 주식회사
배순훈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to KR1019930025879A priority Critical patent/KR970006698B1/ko
Application filed by 대우전자 주식회사, 배순훈 filed Critical 대우전자 주식회사
Priority to RU96110182/09A priority patent/RU2140722C1/ru
Priority to HU9601094A priority patent/HU220516B1/hu
Priority to JP51252995A priority patent/JP3283881B2/ja
Priority to AU80052/94A priority patent/AU693119B2/en
Priority to CN94193967A priority patent/CN1047056C/zh
Priority to CA002175198A priority patent/CA2175198A1/en
Priority to CZ19961180A priority patent/CZ288846B6/cs
Priority to PCT/KR1994/000148 priority patent/WO1995012287A1/en
Priority to PL94314124A priority patent/PL176406B1/pl
Priority to BR9407923A priority patent/BR9407923A/pt
Priority to ES94117124T priority patent/ES2140490T3/es
Priority to DE69420666T priority patent/DE69420666T2/de
Priority to MYPI94002871A priority patent/MY113977A/en
Priority to US08/331,399 priority patent/US5661611A/en
Priority to EP94117124A priority patent/EP0651274B1/en
Priority to TW083110157A priority patent/TW279930B/zh
Publication of KR950016310A publication Critical patent/KR950016310A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR970006698B1 publication Critical patent/KR970006698B1/ko
Priority to US08/877,084 priority patent/US5900998A/en

Links

Landscapes

  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

내용없음.

Description

투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
제1도는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 일 실시예를 나타낸 단면도.
제2도는 종래 투사형 화상 표시 자치의 광로 조절 장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도.
제3도는 본 발명 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 일 실시예를 나타낸 단면도.
제4도는 본 발명 투사형 화상 표시 자치의 광로 조절 장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
20, 30 : 구동 기판 21, 31 : 지지부
22, 36 : 멤브레인 23, 32 : 금속
24, 33 : 신호 전극 25, 34 : 세라믹
26, 35 : 바이어스 전극 37 : 거울
본 발명은 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조에 관한 것으로, 광로 조절 장치의 광 효율을 높게 하기에 적합한 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조에 관한 것이다.
일반적으로, 화상 표시 장치는 표시 방법에 따라 직시형 화상 표시 장치와 투사형 화상 표시 장치로 구분된다.
먼저, 직시형 화상 표시 장치로는 음극선관(cathode ray tube : CRT) 등이 있는데, 이러한 음극선관은 화질이 좋으나, 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증대와 원가가 비싸지는 결점이 있다.
다음, 투사형 화상 표시 장치로는 대화면 액정 디스플레이(active matrix liquid crystal display : AMLCD)등이 있는데, 이러한 대화면 액정 디스플레이는 박형화가 가능하여 중량을 작게할 수는 있으나, 편광판에 의한 광 손실이 크고 액정 디스플레이를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(thin film transistor : TFT)가 각 화소마다 형성되어 있기 때문에 개구율(광의 투과 면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.
따라서, 그 액정 디스플레이의 상기와 같은 단점을 해결하기 위하여 미합중국 Aura사에 의해 광로 조절 장치중의 하나인 AMA(actuated mirror arrays)를 이용한 투사형 화상 표시 장치가 개발되었다.
또한, AMA는 구동 방식에 따라 액츄에이터가 MX1의 매트릭스로 된 1차원 AMA와 액츄에이터가 MXN의 매트릭스로 된 2차원 AMA로 구분된다.
이때, M과 N은 임의의 정수이다.
그리고, 상기 AMA를 구성하는 각 액츄에이터는 압전 소자나 전왜 소자로 이루어져 그 압전 소자나 전왜소자에 전압이 인가될 경우, 전계가 발생하므로써 변형되어 상부에 장착된 거울을 기울어지게 하므로 그 각 거울에 반사되는 빛이 해당 렌즈 등을 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 되어 원하는 영상을 디스플레이 할 수 있다.
제1도는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 일 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어진 구동 기판(1) 표면 일측에 지지부(2)가 형성되고 지지부(2) 표면 및 픽셀 영역에 멤브레인(membrane)(3), 신호 전극(5), 세라믹(압전 세라믹, 전왜 세라믹)(6) 그리고 바이어스 전극(7)이 차례로 형성되며, 금속(4)이 상기 멤브레인(3) 및 지지부(2)를 수직으로 관통되어 이루어진다.
제2도는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막트랜지스터로 이루어진 구동 기판(10) 표면 일측에 지지부(11)가 형성되고 지지부(11) 표면 및 픽셀 영역에 멤브레인(12), 신호 전극(14), 세라믹(압전 세라믹, 전왜 세라믹)(15) 그리고 바이어스 전극(16)이 차례로 형성되며, 금속(13)이 상기 멤브레인(12) 및 지지부(11)를 수직으로 관통되어 형성된다.
또한, 바이어스 전극(16) 표면 지지부(11)와는 반대측에 거울 지지부(17)가 형성되고 거울 지지부(17) 표면 및 픽셀 영역에 거울 몸체(18) 및 거울(19)이 차례로 형성되어 이루어진다.
이와 같이 이루어지는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치를 보면, 각 바이어스 전극(7)(16)을 접지하고 구동 기판(1)(10) 내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호 전극(5)(14)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되므로써 상부 및 하부에 전압이 인가되는 세라믹(6)(15)은 분극된 방향에 의해 변형된다.
따라서, 그 세라믹(6)(15)의 변형에 의해 바이어스 전극(7) 및 거울(19)이 해당 방향으로 경사지게 되므로 화상을 형성하기 위한 광이 그 바이어스 전극(7) 및 거울(19)에 각각 반사되어 해당 렌즈(도면중에 도시되지 않음)을 통해 화면(도면중에 도시되지 않음)의 일정 부분에 도달하게 되므로써 원하는 영상을 디스플레이할 수 있다.
이때, 상기 바이어스 전극(7)은 금속으로 이루어져 전극의 기능 뿐만 아니라, 거울의 기능도 함께 갖는다.
그러나, 이와 같은 종래의 기술에 있어서는 다음과 같은 결점이 있다.
첫째, 제1도의 경우, 구동시, 거울 기능을 겸하는 바이어스 전극(7) 표면이 오목하게 휘어지게 되므로 광효율이 저하한다.
둘째, 제2도의 경우, 구조가 다수의 층으로 이루어지기 때문에 제조하기가 어렵고 구조가 불안정하다.
본 발명은 이와 같은 종래의 결점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 구조를 개선시켜 구동시, 거울이 평평한 상태로 경사지도록 하므로써 광효율을 향상시킬 수 있는 투사형 화상 장치의 광로 조절 장치 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
이하, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명을 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제3도를 참조하면, 본 발명 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 일 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어진 구동 기판(20) 표면 일측에 지지부(세라믹)(21)가 형성되고 지지부(21) 표면에 걸치며 픽셀 영역에 구동 기판(20) 표면과 일정 간격을 유지하면서 멤브레인(세라믹)(22)이 형성된다.
또한, 금속(23)이 멤브레인(22)과 지지부(21)를 수직으로 관통되어 형성되고 금속(23) 표면 및 그 금속(23) 주변 영역에 신호 전극(금속)(24)이 형성되며, 드러난 전 표면에 세라믹(압전 세라믹 또는 전왜 세라믹)(25) 및 바이어스 전극(금속)(26)이 차례로 형성되어 이루어진다.
그리고, 제4도는 본 발명 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도로, 다수의 박막 트랜지스터로 이루어진 구동 기판(30) 표면 일측에 지지부(세라믹)(31)가 형성되고 그 지지부(31) 일측 영역에 금속(32)이 수직으로 관통되어 형성되며, 금속(32) 및 지지부(31) 표면에 걸쳐져 픽셀 영역에 구동 기판(30) 표면과는 일정 간격을 두며 신호 전극(금속)(33) 및 세라믹(압전 세라믹 또는 전왜 세라믹)(34)이 차례로 형성된다.
또한, 세라믹(34) 표면 일측에 바이어스 전극(금속)(35)이 형성되고 드러난 전 표면에 멤브레인(세라믹)(36) 및 거울(금속)(37)이 차례로 형성된다.
이와 같이 이루어지는 본 발명 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치를 보면, 각 바이어스 전극(26)(35)을 접지하고 구동 기판(20)(30) 내의 각 박막 트랜지스터의 구동에 의해 각 신호 전극(24)(33)에 화상을 형성하기 위한 신호가 선택적으로 인가되므로써 전압이 인가되는 세라믹(25)(34)은 분극된 방향에 의해 변형된다.
따라서, 그 세라믹(25)(34)의 변형에 의해 각 거울(37) 및 바이어스 전극(26)이 경사지게 되므로 화상을 형성하기 위한 광이 그 각 거울(37) 및 바이어스 전극(26)에 반사되어 해당 렌즈를 통해 화면의 일정 부분에 도달하게 되므로써 원하는 영상을 디스플레이 할 수 있다.
이때, 상기 바이어스 전극(26)은 전극의 기능 뿐만 아니라, 거울의 기능도 함께 갖는다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 제3도의 경우, 구동시, 신호 전극(24) 좌측 끝 부분에서 변형이 발생하므로써 그 좌측 이상의 부분에 해당하는 바이어스 전극(26)은 곡면없이 경사지므로 광 효율이 높아진다.
둘째, 제4도의 경우, 구동시, 바이어스 전극(35) 좌측 끝부분에서 변형이 발생하므로써 그 좌측 이상의 부분에 해당하는 거울(37)은 곡면없이 경사지므로 광 효율이 높아진다.
또한, 변형 부분을 좁게하고 거울 부분(26)(37)을 넓게 하면 광 효율은 더욱 증가한다.

Claims (13)

  1. 구동기판(20) 표면 일측에 지지부(21)가 형성되고 지지부(21) 표면에 걸치며 픽셀 영역에 구동 기판(20)과 일정 간격을 유지하면서 멤브레인(22)이 형성되며, 금속(23)이 멤브레인(22)과 지지부(21)를 수직으로 관통되어 형성되고 금속(23) 표면 및 그 금속(23) 주변 영역에 신호 전극(24)이 형성되며, 드러난 전 표면에 세라믹(25) 및 바이어스 전극(26)이 차례로 형성되어 이루어지는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지부(21)는 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  3. 제1항에 있어서, 상기 멤브레인(22)은 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  4. 제1항에 있어서, 상기 신호 전극(24)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  5. 제1항에 있어서, 상기 세라믹(25)은 압전 세라믹 또는 전왜 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  6. 제1항에 있어서, 상기 바이어스 전극(26)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  7. 구동 기판(30) 표면 일측에 지지부(31)가 형성되고 그 지지부(31) 일측 영역에 금속(32)이 수직으로 관통되어 형성되며, 금속(32) 및 지지부(31) 표면에 걸쳐져 픽셀 영역에 구동 기판(30)과는 일정 간격을 두며 신호 전극(33) 및 세라믹(34)이 차례로 형성되고 세라믹(34) 표면 일측에 바이어스 전극(35)이 형성되며, 드러난 전 표면에 멤브레인(36) 및 거울(37)이 차례로 형성되어 이루어지는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  8. 제7항에 있어서, 상기 지지부(31)는 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  9. 제7항에 있어서, 상기 신호 전극(33)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  10. 제7항에 있어서, 상기 세라믹(34)은 압전 세라믹 또는 전왜 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  11. 제7항에 있어서, 상기 바이어스 전극(35)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  12. 제7항에 있어서, 상기 멤브레인(36)은 세라믹으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
  13. 제7항에 있어서, 상기 거울(37)은 금속으로 된 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조.
KR1019930025879A 1993-10-29 1993-11-30 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조 KR970006698B1 (ko)

Priority Applications (18)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019930025879A KR970006698B1 (ko) 1993-11-30 1993-11-30 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
BR9407923A BR9407923A (pt) 1993-10-29 1994-10-25 Conjunto de M x N espelhos atuados de filme fino sistema de projeçao ótico e processo para fabricaçao de um conjunto de M x N espelhos atuados de filme fino
JP51252995A JP3283881B2 (ja) 1993-10-29 1994-10-25 Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
AU80052/94A AU693119B2 (en) 1993-10-29 1994-10-25 Thin film actuated mirror array and methods for its manufacture
CN94193967A CN1047056C (zh) 1993-10-29 1994-10-25 薄膜致动反射镜阵列及其制造方法
CA002175198A CA2175198A1 (en) 1993-10-29 1994-10-25 Thin film actuated mirror array and methods for its manufacture
CZ19961180A CZ288846B6 (cs) 1993-10-29 1994-10-25 Soustava ovládaných zrcadel tenkého filmu a způsob její výroby
PCT/KR1994/000148 WO1995012287A1 (en) 1993-10-29 1994-10-25 Thin film actuated mirror array and methods for its manufacture
RU96110182/09A RU2140722C1 (ru) 1993-10-29 1994-10-25 Тонкопленочная приводимая в действие зеркальная матрица и способ ее изготовления
HU9601094A HU220516B1 (hu) 1993-10-29 1994-10-25 Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés és eljárás annak előállítására
PL94314124A PL176406B1 (pl) 1993-10-29 1994-10-25 Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych
ES94117124T ES2140490T3 (es) 1993-10-29 1994-10-28 Matriz de espejos accionados de pelicula delgada y su metodo de fabricacion.
DE69420666T DE69420666T2 (de) 1993-10-29 1994-10-28 Anordnung von gesteuerten Dünnschichtspiegeln und Verfahren zu deren Herstellung
MYPI94002871A MY113977A (en) 1993-10-29 1994-10-28 Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof
US08/331,399 US5661611A (en) 1993-10-29 1994-10-28 Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof
EP94117124A EP0651274B1 (en) 1993-10-29 1994-10-28 Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof
TW083110157A TW279930B (ko) 1993-10-29 1994-11-03
US08/877,084 US5900998A (en) 1993-10-29 1997-06-17 Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019930025879A KR970006698B1 (ko) 1993-11-30 1993-11-30 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR950016310A KR950016310A (ko) 1995-06-17
KR970006698B1 true KR970006698B1 (ko) 1997-04-29

Family

ID=19369402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019930025879A KR970006698B1 (ko) 1993-10-29 1993-11-30 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970006698B1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR950016310A (ko) 1995-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970003007B1 (ko) 투사형 화상표시장치용 광로조절장치 및 그 구동방법
KR970003466B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조 방법
KR0131570B1 (ko) 투사형 화상표시 장치의 광로 조절 장치구조
KR100283452B1 (ko) 모노모프박막액츄에이티드미러어레이
KR970006698B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
KR970008396B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR970008399B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR970006677B1 (ko) 투사형화상표시장치의광로조절장치구조
KR970008397B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR970006701B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
KR970006693B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 구조
KR970006699B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 제조방법
KR970006700B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조
KR970006690B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 구조
US5861979A (en) Array of thin film actuated mirrors having an improved optical efficiency and an increased performance
KR100207372B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로조절장치 구조
KR970003451B1 (ko) 투사형화상표시장치의 광로조절기
KR0178188B1 (ko) 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 제조방법
KR100207368B1 (ko) 광로 조절 장치
KR970008403B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로 조절 장치의 제조 방법
KR0159416B1 (ko) 광로 조절 장치
KR100258105B1 (ko) 박막형 광로조절장치
KR970006985B1 (ko) 투사형 화상표시장치
KR970008404B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 광로 조절기
KR970003010B1 (ko) 광로조절장치의 구동방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20060324

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee