KR960016978A - 위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체 - Google Patents

위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체 Download PDF

Info

Publication number
KR960016978A
KR960016978A KR1019950044786A KR19950044786A KR960016978A KR 960016978 A KR960016978 A KR 960016978A KR 1019950044786 A KR1019950044786 A KR 1019950044786A KR 19950044786 A KR19950044786 A KR 19950044786A KR 960016978 A KR960016978 A KR 960016978A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
enclosure
contaminants
pressure
dust particles
escape
Prior art date
Application number
KR1019950044786A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0169180B1 (ko
Inventor
더글라스 싱클레어 제임스
안드레스 잰코스키 콘스탄스
Original Assignee
엘리 웨이스
에이티앤드티 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘리 웨이스, 에이티앤드티 코포레이션 filed Critical 엘리 웨이스
Publication of KR960016978A publication Critical patent/KR960016978A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0169180B1 publication Critical patent/KR0169180B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L1/00—Enclosures; Chambers
    • B01L1/04—Dust-free rooms or enclosures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21F—PROTECTION AGAINST X-RADIATION, GAMMA RADIATION, CORPUSCULAR RADIATION OR PARTICLE BOMBARDMENT; TREATING RADIOACTIVELY CONTAMINATED MATERIAL; DECONTAMINATION ARRANGEMENTS THEREFOR
    • G21F7/00—Shielded cells or rooms
    • G21F7/015—Room atmosphere, temperature or pressure control devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

외측으로부터 작업 구역에 접근할 수 있게 하고, 또한, 어떤 유독 물질이 작업자 지역을 오염시키도록 포위체로부터 탈출하는 것을 방지하면서 포위체내에 청정 작업구역을 제공하는 방법 및 장치이다. 포위체의 구멍에 가까이 그 포위체내에 제공된 더 높은 압력 영역이, 먼지가 들어가는 것과 유독 물질이 탈출하는 것을 방지한다.

Description

위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 단면도,
제2도는 븐 발명의 다른 실시예에 따른 장치의 단면도,
제3도는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 장치의 단면도.

Claims (35)

  1. 2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체로부터 작업자 환경으로 오염물질이 탈출하는 것을 방지하는 방법으로서. 상기 포위체의 일말단부에서, 오염되지 않은 가스를 공급 압력으로 그 포위체에 공급하는 단계, 격리 영역을 형성하기 위해, 상기 구멍에 가장 가깝고 상기 말단부들 사이에 있는 영역에서 상기 포위체내에 격리 압력을 유지하는 단계; 오염물질이 발생되는 작업 영역을 형성하기 위해, 2개의 상기 말단부들과 상기 격리 영역에 의해 형성되는 영역에서 상기 포위체내에 작업 압력온 유지하는 단계; 상기 포위체의 다른 말단부에서 배기 압력을 유지하는 단계; 상기 포위체 전체에 걸쳐 압력 경도(經度)와 흐름을 형성하기 위해, 상기 압력들을 다음의 강하 순서, 즉, 공급 압력, 격리 압려, 작업 압력, 및 배기 압력의 순서로 유지하는 단계; 및 상기 다른 말단부에서 가스와 오염물질을 제거하는 단계를 포함하는, 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈출을 방지하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 격리 압력은 상기 포위체 외측의 대기의 압력보다 더 높은 수준으로 유지하는 것을 더 포함하는, 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈출을 방지하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 격리 압력과 작업 압력 사이의 압력차를 유지하는 것이, 격리 영역과 작업 영역 앞에서 흐름내에 배플을 배치하는 것을 더 포함하는, 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈춘을 방지하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 흐름에 대략 수직인 방향으로 배플의 흐름에 대한 방해를 변화시키는 것을 더 포함하는 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈출을 방지하는 방법.
  5. 2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법으로서, 상기 포위체의 일 말단부에서 가스를 공급 압력으로 그 포위제에 공급하는 단계; 격리 영역을 형성하기 위해, 상기 구멍에 가장 가깝고 상기 말단부들 사이에 있는 영역에서 상기 포위체내에 격리 압력을 유지하는 단계, 입자들이 없이 유지될 작업 영역을 형성하기 위해, 2개의 상기 말단부들과 상기 격리 영역에 의해 형성는 영역에서 상기 포위체내에 작업 압력을 유지하는 단계; 상기 포위체의 다른 말단부에서 배기 압력을 유지하는 단계; 상기 포위체 전체에 걸쳐 압력 경도와 흐름을 형성하기 위해, 싱기 압력들을 다음의 강하 순서, 즉, 공급 압력, 격리 압력, 작업 압력, 및 배기 압력의 순서로 유지하는 단계; 상기 포위체 외측의 대기의 압력보다 더 높은 수준으로 상기 격리 압력을 유지하는 단계; 및 상기 다른 말단부에서 가스를 제거하는 단계를 포함하는, 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 격리 압력과 작업 압력 사이의 압력차를 유지하는 것이, 격리 영역과 작업 영역 앞에서 흐름내에 배플을 배치하는 것을 더 포함하는, 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법.
  7. 제5항에 있어서, 흐름에 대략 수직인 방향으로 배플의 흐름에 대한 방해를 변화시키는 것을 더 포함하는, 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법.
  8. 2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고, 그 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하는 방법으로서, 상기 포위체의 일 말단부에서 가스를 공급 압력으로 그 포위체에 공급하는 단계; 격리 영역을 형성하기 위해, 상기 구멍에 가장 가깝고 상기 말단부들 사이에 있는 영역에서 상기 포위체내에 격리 압력을 유지하는 단계; 입자들이 없이 유지될 작업 영역을 형성하기 위해, 2개의 상기 말단부들과 상기 격리 영역에 의해 형성되는 영역에서 상기 포위체내에 작업 압력을 유지하는 단계; 상기 포위체의 다른 말단부에서 배기 압력을 유지하는 단계; 상기 포위체 전체에 걸쳐 압력 경도를 형성하기 위해 상기 압력들을 다응의 강하 순서, 즉, 공급 알력, 격리 압력, 작업 압력, 및 배기 압력의 순서로 유지하는 단계, 상기 포위체 외측의 대기의 압력보다 더 높은 수준으로 상기 격리 압력을 유지하는 단계; 및 상기 다른 말단부에서 가스와 유독 오염물질을 제거하는 단계를 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 격리 압력과 작업 압력 사이의 압련차를 유지하는 것이, 격리 영역과 작업 영역 앞에서 흐름내에 배플을 배치하는 것을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로외 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 흐름에 대락 수직인 방향으로 배플의 흐름에 대한 방해를 변화시키는 것을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하는 방법.
  11. 2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고 그 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈츨하는 것을 방지하기 위한 장치로서, 상기 포위체의 일 영역내의 가스 흐름에, 그 포위체의 다른 영역내의 흐름에 제공되는 방해보다 더 큰 방해를 제공하는 배플을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 배플이 상기 포위체의 일 영역에 걸쳐 있고, 상기 포위체의 다른 영역에서는 흐름이 방해되지 않게 하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 배플이 상기 포위체의 일 영역에서의 흐름에 변화하는 방해를 제공하는, 포위체 내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탑출을 방지하기 위한 장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 배플이 제1세트의 흐름 구멍들을 가진 제1판과, 제2세트의 흐름 구멍들을 가지고 있고 상기 제1판에 대하여 미끄럼 이동가능하게 설치된 제2판을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  15. 제11항에 있어서, 상기 배플이, 그 배플이 흐름에 더 큰 방해를 제공하는 다른 영역보다, 상기 구멍에 더 가까이 위치된 상기 포위체의 일 영역에서의 흐름에 더 작은 방해를 제공하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  16. 제11항에 있어서, 작업면, 뒷벽, 2개의 측면들, 및 필터의 하부 표면과 함께 작업 영역을 형성하는, 상기 포위체내의 내측 벽을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 내측 벽을 통해 작업 체임버로부터 물품들이 제거될 수 있게 하도록 상기 내측벽에 설치된 미닫이 문딜 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 미닫이 문에 형성된 일련의 구멍들을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  19. 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하기 위한 포위체로서, 가스를 위한 도입구를 가진 윗면; 포위체로부터의 배기구를 가진 바닥면; 상기 윗면과 바닥면을 연결하고 서로 떨어져 있는 2개의 측면들; 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 뒷면: 구멍을 가지고 있고 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 앞면; 상기 2개의 측면들과 됫면에 연결되고 상기 구멍 윗쪽에 위치되는 필터; 상기 구멍 뒷쪽에 위치되고 미닫이 문을 지지하고 있는 내측벽: 및 상기 구멍 윗쪽에 위치되고, 상기 측면들과 뒷면에 연결되며, 배플과 상기 앞면의 내측 표면과의 사이에 간격부를 형성하는 가장자리률 가지는 배플을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  20. 제19항에 있어서, 상기 배플이, 흐름에 대한 방해를 변화시키기 위해 협동하는 고정된 판과 이동가능한 판을 포함하고, 그 판든 각각이 일련의 흐름 구멍들을 가지는, 포위체내로의 먼지 입자든의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질을 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  21. 2개의 맡단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고 그 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출되는 것을 방지하기 위한 장치로서, 제1말단부와 상기 구멍과의 사이에서 상기 포위체내에 설치되고,상기 제1말단부로부터 제2말단부로 흐르는 가스의 일부분을 차단하는 베인을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈측을 방지하기 위한 장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 구멍이 상기 포위체의 앞면에 형성되고, 상기 베인이 상기 포위체의 맞은편 뒷면 보다는 상기 앞면에 더 가까이 위치되는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  23. 제21항에 있어서, 상기 베인의 한 축선이 상기 말단부들 사이의 축선에 대략 수직인, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  24. 제21항에 있어서, 상기 베인이, 그 베인과 상기 제2말단부 사이에서 상기 포위체내에 압력차가 존재하게 하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  25. 제21항에 있어서, 상기 베인의 한 축선과 상기 말단부들 사이의 축선과의 사이의 각도가 가변적인, 포위 체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  26. 제21항에 있어서, 상기 각도가 -45도로부터 +45도까지에서 변할 수 있는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
  27. 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하기 위한 포위체로서, 가스를 위한 도입구를 가진 윗면: 포위체로부터의 배기구를 가진 바닥면; 상기 윗면과 바닥면을 연결하고 서로 떨어져 있는 2개의 측면들: 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 뒷면; 구멍을 가지고 있고 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 앞면; 상기 2개의 측면들과 뒷면에 연결되고 상기 구멍 윗쪽에 위치되는 필터 ; 및 상기 구멍 윗쪽에 맞은편 뒷면보다는 상기 구멍에 더 가까이 위치되고, 상기 2개의 측면들에 연결되어 있으며, 상기 윗면과 바닥면 사이의 축선과 베인과의 사이에 각도를 이루는 축선을 가지는 베인을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  28. 제27항에 있어서, 상기 각도가 상기 베인과 바닥면 사이에서 상기 포위체내의 압력차를 제어하도록 변경 될 수 있는, 포위체내로의 먼지 임자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  29. 제27항에 있어서, 작업면, 뒷벽, 2개의 측면들, 및 필터의 하부 표면과 함께 작업 영역을 형성하는, 상기 포위체내의 내측 벽을 더 포함하는, 포위체내로외 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  30. 제29항에 있어서, 상기 내측 벽을 통해 상기 작업 영역으로부터 물품들이 제거될 수 있게 하도록 상기 내측 벽에 설치된 미닫이 문을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  31. 제30항에 있어서, 상기 미닫이 문에 헝성된 일련의 구멍들을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  32. 먼지 입자들이 포위체내로 들어가는 것을 방지하고 포위체내의 오염물질이 적업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하기 위한 포위체로서, 가스를 위한 도입구를 가진 윗면; 포위체로부터의 배기구를 가진 바닥면; 상기 윗면과 바닥면을 연결하고 서로 떨어져 있는 2개의 측면들; 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 뒷면; 구멍을 가지고 있고 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 앞면: 상기 2개의 측면들과 뒷면에 연결되고 상기 구멍 윗쪽에 위치되는 필터; 상기 구멍 윗쪽에 맞은편 뒷면보다는 상기 구멍에 더 가까이 위치되고, 상기 2개의 측면들에 연결되어 있으며, 상기 윗면과 바닥면 사이의 축선과 베인과의 사이에 각도를 이루는 축선을 가지는 베인; 및 작업면, 뒷면, 2개의 측면들, 및 필터의 하부 표면과 함께 작업 영역을 형성하는, 상기 포위체내의 내측 벽을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  33. 제32항에 있어서, 상기 내측 벽을 통해 작업 체임버로부틱 물품들이 제거될 수 있게 하도록 상기 내측벽에 설치된 미닫이 문을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  34. 제33항에 있어서, 상기 미닫이 문에 형성된 일련의 구멍들을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
  35. 제32항에 있어서 상기 구멍을 덮는 외측 미닫이 문을 더 포함하는 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950044786A 1994-11-30 1995-11-29 위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체 KR0169180B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/346,806 1994-11-30
US8/346,806 1994-11-30
US08/346,806 US5549512A (en) 1994-11-30 1994-11-30 Minienvironment for hazardous process tools

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960016978A true KR960016978A (ko) 1996-06-17
KR0169180B1 KR0169180B1 (ko) 1999-01-15

Family

ID=23361122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950044786A KR0169180B1 (ko) 1994-11-30 1995-11-29 위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5549512A (ko)
EP (1) EP0714701A1 (ko)
JP (1) JPH08219511A (ko)
KR (1) KR0169180B1 (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PT1245093E (pt) 2000-01-07 2007-01-31 Aware Inc Sistemas e métodos de diagnóstico para modems de portadoras múltiplas
US6582178B2 (en) 2000-08-14 2003-06-24 Daniel G. Petruccelli Mini-modual manufacturing environmental
KR100583730B1 (ko) * 2004-06-29 2006-05-26 삼성전자주식회사 기판 이송 시스템 및 상기 시스템의 프레임 내 압력을조절하는 방법
FR2879471B1 (fr) * 2004-12-20 2007-01-26 Commissariat Energie Atomique Dispositif de limitation des consequences ultimes d'un incendie generalise non maitrise dans une cellule d'entreposage de matieres dangereuses
EP2049646A2 (en) * 2006-07-14 2009-04-22 Xcellerex, Inc. Environmental containment systems
JP2008032335A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Hitachi High-Technologies Corp ミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法
US9623506B2 (en) 2011-02-01 2017-04-18 Illinois Tool Works Inc. Fume extractor for welding applications
JP6121190B2 (ja) * 2012-02-22 2017-04-26 住友重機械工業株式会社 ホットセル
US9839948B2 (en) * 2013-01-29 2017-12-12 Illinois Tool Works Inc. Fume evacuation system
CN107126907A (zh) * 2016-02-26 2017-09-05 南京中硼联康医疗科技有限公司 药物合成装置
WO2018026389A1 (en) * 2016-08-01 2018-02-08 Mallinckrodt Nuclear Medicine Llc Hepa filter airflow distribution systems
KR101740675B1 (ko) * 2016-08-31 2017-05-26 주식회사 재진엔지니어링 국소배기장치용 흡입장치
US20190329305A1 (en) * 2018-04-25 2019-10-31 Timothy McKibben Fume hood air channeling device

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3895570A (en) * 1973-09-27 1975-07-22 Baker Company Inc Air-insulated work station
FR2417372A1 (fr) * 1978-02-16 1979-09-14 Hauville Francois Enceinte pour manipulations effectuees sur des produits contaminants ou necessitant une atmosphere sterile
JPS5518134A (en) * 1978-07-25 1980-02-08 Fuji Electric Co Ltd Signal generator
FR2485698B1 (fr) * 1980-06-24 1985-06-14 Aurore Sa Poste de travail a ecoulements laminaires
US4682927A (en) * 1982-09-17 1987-07-28 Nacom Industries, Incorporated Conveyor system
US4637301A (en) * 1984-02-06 1987-01-20 Environmental Air Control, Inc. Contamination control work station
JPS61161147A (ja) * 1985-01-08 1986-07-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 無塵排気装置
CH667712A5 (de) * 1985-10-02 1988-10-31 Landis & Gyr Ag Arbeitsstation zur bereitstellung einer stabilisierten lufttemperatur in einer kammer.
JPS62147249A (ja) * 1985-12-19 1987-07-01 Shimizu Constr Co Ltd クリ−ンル−ム
US4880581A (en) * 1986-12-24 1989-11-14 Alcon Laboratories, Inc. Means and method for aseptic particle-free production of articles
JPS63248449A (ja) * 1987-04-03 1988-10-14 Tadahiro Omi ドラフトチヤンバ
US4936922A (en) * 1987-05-21 1990-06-26 Roger L. Cherry High-purity cleaning system, method, and apparatus
US5255710A (en) * 1988-04-07 1993-10-26 David Palmer Process-chamber flow control system
GB8826827D0 (en) * 1988-11-16 1988-12-21 Envair Uk Ltd Clean air cabinets
US5029518A (en) * 1989-10-16 1991-07-09 Clean Air Technology, Inc. Modular clean room structure
JPH0439551A (ja) * 1990-06-01 1992-02-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd クリーントンネル
US5259812A (en) * 1992-09-23 1993-11-09 Kleinsek Don A Clean room and clean room containment center

Also Published As

Publication number Publication date
US5549512A (en) 1996-08-27
JPH08219511A (ja) 1996-08-30
EP0714701A1 (en) 1996-06-05
KR0169180B1 (ko) 1999-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960016978A (ko) 위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체
EP1759776A4 (en) DEVICE FOR REMOVING STATIC LOADS AND DUST
US6517594B2 (en) Air management system and method for chemical containment and contamination reduction in a semiconductor manufacturing facility
JP5416666B2 (ja) 安全キャビネット
US3880061A (en) Work station
US20050050669A1 (en) Vacuum enclosure for confining and removing debris produced by tool operation
JP2007130730A (ja) 切削装置
JP2010017844A (ja) 工作機械の防塵構造
JP2004181434A (ja) 安全キャビネット
US20030038564A1 (en) Cabinets for handling toxic or sterile materials
CA2426638A1 (en) A working enclosure
JPH0364477A (ja) 常圧処理装置
GB2336667A (en) Fume cupboards
CN110932061B (zh) 激光装置
US20050022487A1 (en) Biological safety cabinet
JP2005095708A (ja) 集塵フード付き作業台
KR100854292B1 (ko) 클린부스
JP4734238B2 (ja) 外部環境から梱包用装置を密閉および隔離するための構造
JP7445091B1 (ja) 安全作業装置
JP7428670B2 (ja) 安全キャビネット
CN220971075U (zh) 一种封闭式排烟的激光切割机
KR101967962B1 (ko) 시편 물성 시험장치
JPH08219512A (ja) 局所排気装置
JPS6142792Y2 (ko)
JPH0460795B2 (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20010929

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee