KR0169180B1

KR0169180B1 - 위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체

Info

Publication number: KR0169180B1
Application number: KR1019950044786A
Authority: KR
Inventors: 더글라스 싱클레어 제임스; 안드레스 잰코스키 콘스탄스
Original assignee: 엘리 웨이스; 에이티앤드티 코포레이션
Priority date: 1994-11-30
Filing date: 1995-11-29
Publication date: 1999-01-15
Also published as: JPH08219511A; EP0714701A1; KR960016978A; US5549512A

Abstract

외측으로부터 작업 구역에 접근할 수 있게 하고, 또한, 어떤 유독 물질이 작업자 지역을 오염시키도록 포위체로부터 탈출하는 것을 방지하면서, 포위체내에 청정 작업구역을 제공하는 방법 및 장치이다.

포위체의 구멍에 가까이 그 포위체내에 제공된 더 높은 압력 영역이, 먼지가 들어가는 것과 유독 물질이 탈출하는 것을 방지한다.

Description

위험한 공정 도구를 위한 소형 포위체

제1도는 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 단면도.

제2도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치의 단면도.

제3도는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 장치의 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

18 : 작업면 19 : 도입구

20 : 배기구 30 : 필터

40 : 공급 플리넘 42 : 배기 플리넘

50,60 : 판 70,370 : 작업 체임버

80,320 : 내측 벽 82,310 : 미닫이 문

210 : 베인 350 : 가이드

351 : 외측 미닫이 문

본 발명은, 안에서 사용되거나 만들어진 위험한 물질이나 생성물에 의해 오염되는 것으로부터 작업자와 환경을 보호하면서 청정 작업구역을 만들기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히, 습식 화학 작업대의 보호에 관한 것이다.

전자 공업 또는 제약 공업과 같은 공업들에서는, 공기가 체임버 내에서 여과된 다음 작업구역 위에서 통과하게 되는 청정한 후드(hood)내에서 작업이 종종 행해진다. 이것이 체임버 외측의 압력에 대하여 정압(正壓)하에 행해지고, 그렇지 않으면, 물품들을 넣거나 꺼내는 것이 필요할 때 또는 조작자가 체임버 내에서 작업할 필요가 있을 때 먼지 입자들이 작업구역내로 흡인된다.

그러한 후드는, 전체 실험실을 1등급 조건으로 유지하는 것보다 더 저렴하게 설치되고 작동된다. 그등급 매김은 입방 피트당 0.5 마이크로미터보다 큰 입자들의 수를 나타내고, 정규 실험실에서 이 수는 적어도 100,000이다.

미국 특허 제5,259,812호(디. 에이. 클레인섹)는 문을 가진 분할 벽에 의해 분리된, 체임버내의 실험실 방과 곁방을 나타내고 있다. 이들 방 모두가, 외측 공기가 청정실내로 들어가는 것을 방지하는 정압 입구 시스템을 형성한다. 또한, 외부 공기가 격납 센터내로 들어가게 함이 없이 샘플들을 제거하도록 2층 고무로 차폐된 통상의 아이리스 포트(iris port)들과 이중 문 전이 상자(transition box)를 이용하는 청정실내 격납 센터(containment center)도 기술되어 있다.

미국 특허 제5,255,710호(디. 팔머)는 압력원으로부터 포위체로 흐르는 공기 흐름의 2단계 제어를 가르쳐 주고 있고, 여기서, 피스톤이, 도관을 가변적으로 제한하도록, 압력원으로부터 흐르는 공기가 통과할 수 있는 구멍과 플리넘을 한정하며, 그 피스톤의 중량이 공기 흐름에 대한 피스톤의 방해를 줄이는 방향으로 그 피스톤을 이동시키는 경향이 있다. 피스톤과 포위체 사이에 위치된 조정가능한 밸브가 공기의 흐름을 추가로 방해한다. 압력원의 세기의 변화가 플리넘 압력에 영향을 끼치지 않도록 게이트가 피스톤에 단단히 부착될 수 있다.

미국 특허 제5,029,518호(에프. 엑스. 오스틴)는 청정실의 벽을 구성하도록 현장에서 조립되는 규격화된 벽 부분들을 기술하고 있다. 각각의 벽 부분은 공기 복귀부로서 작용하고, 청정실로부터 벽 부분 내에서 상방으로 청정실의 천장내의 부압(負壓) 플리넘까지 공기를 보낸다.

미국 특허 제4,880,581호(에프. 알. 다스톨리 등)는 장치의 일 부분 위에 덮개를 배치하는 것을 기술하고 있고, 미국 특허 제4,682,927호(피. 알. 사우스워스 등)는 청정실들 사이에서 반도체 웨어퍼들의 카세트들을 이동시키도록 컨베이어 시스템을 사용하는 것을 나타내고 있다.

작업자와 환경의 보호에 대한 강화되는 규정상의 필요조건들에 따라, 작업구역에 접근할 수 있게 하고, 작업구역내에서 사용되거나 발생된 유독 화학약품이나 병원균을 완전히 제거하면서 먼지로부터 작업물을 보호할 필요가 여전히 존재한다. 먼지의 침입을 방지하도록 작업 구역내에 정압이 요구되지만, 유독 물질의 탈출을 방지하기 위해서는 부압이 요구된다고 하는 명백히 모순되는 필요조건들을 다루는 수단이 요구된다. 그러한 장치는 또한, 흐름 조건들을 연속적으로 모니터하는 것을 요하지 않아야 한다.

본 발명은 작업구역내의 유독 오염물질이 실내로 탈출하지 않게 하면서 청정 구역내로 부품들이나 조작자의 손이 출입할 수 있게 하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 이것은, 체임버 외측의 압력보다 더 높은 압력의 격리 영역을 체임버의 입구 바로 뒤쪽에 형성함으로써 달성된다. 이것에 의해, 먼지가 들어가지 못하게 될 뿐만 아니라, 유독 물질의 탈출도 방지된다. 따라서, 체임버의 입구에 가까운 격리 압력보다 더 작은 작업 압력과 같은 압력의 다른 영역이 체임버내에 유지된다. 이러한 압력차가 유독 오염물질의 탈출을 방지한다.

본 발명의 일 실시예에서, 오염되지 않은 가스가 공급 압력으로 포위체(enclosure)의 일 말단부로 공급되고, 격리 영역을 형성하도록 포위체의 구멍에 가까이 포위체 내측에 격리 압력이 유지된다. 그 격리 영역 뒤쪽에서 작업 압력이 유지되어 작업 영역을 형성한다. 그 포위체는 다른 말단부를 배기 압력으로 유지시킴으로써 배기된다. 상기한 압력들을 오염물질을 제거하는 압력 경도(傾度)와 흐름을 형성하도록 강하 순서로 유지된다. 격리 압력은 또한, 체임버 외측의 것보다 더 높은 압력으로 유지된다. 격리 영역내 공기의 일 부분이 구멍을 통해 탈출하여 먼지 입자들이 들어가지 못하게 하고, 그 공기의 일 부분은 또한 작업 영역내로도 흘러 체임버내의 오염물질이 탈출하지 못하게 한다. 격리 영역과 작업 영역 앞에 배플(baffle)을 배치하는 것에 의해 소망의 압력차가 발생된다. 그 배플이 격리 영역 위에서 흐름에 아무런 방해를 부여하지 않거나, 또는 방해 정도가 배플의 깊이를 가로질러 변할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에서는. 먼지가 체임버내로 들어가지 못하게 하고 유독 오염물질이 체임버 밖으로 나가지 못하게 하는 요구되는 압력 부동관계를 형성하기 위해, 베인(vane)이 체임버내에서 흐르는 공기의 일 부분을 차단한다.

그 베인은 제 위치에 고정되거나, 또는 각 설비에 대한 흐름을 최적화하도록 위치가 변경되게 구성될 수 있다.

외측 압력과 대부분의 체임버내의 작업 압력보다 더 높은 압력의 격리 영역을 형성하는 것의 이점은, 물품들을 넣고 꺼내기 위해 또는 조작자의 조작을 위해 체임버에의 접근이 허용되면서도, 체임버내의 유독 오염물질이 구멍을 통하여 탈출하는 것이 방지되고 외측의 먼지 입자들이 작업물을 해치는 것이 방지된다는 것이다. 배플 또는 베인의 사용에 의해 일단 압력차가 확립되면, 격리 압력을 외측 압력 이상으로 유지시키기에 충분한 흐름을 유지하도록 하는 것을 제외하고는 추가 조정이 요구되지 않는다.

본 발명의 이들 및 다른 특징들과 이점들은, 첨부 도면들과 관련하여 기술된 바람직한 실시예들을 하기 상세한 설명으로부터 더 양호하게 이해될 것이다.

제1도를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 장치(100)가 도시되어 있고, 이 장치(100)는 윗면(10), 앞면(12), 바닥면(14), 뒷면(16), 작업면(18), 도입구(19), 및 배기구(20)를 포함한다. 그 윗면, 앞면, 바닥면, 및 뒷면이 측면들(91, 93)(도시되지 않음)과 함께 체임버를 형성한다. 그 체임버는 도입구(19)와 배기구(20), 및 앞면(12)에 형성된 구멍(15)을 제외하고는 기밀(氣密)되어 있다.

필터(30)가 작업면(18) 윗쪽에 배치되어 있고, 측면들, 윗면(10), 및 앞면(12)과 뒷면(16)의 상부 부분들과 함께 공급 플리넘(plenum)(40)을 형성한다. 그 공급 플리넘(40)의 치수는, 그 플리넘의 체적이 필터(30)위의 지역 내에 비교적 일정한 공급 압력을 확보하기에 충분하여야 한다는 것을 제외하고는 중요하지 않다.

일련의 배기 구멍들(44)이 작업면(18)에 뚫려 있어, 필터(30)로부터 흘려 내려오는 공기가 배기 플리넘(42)으로 들어가고 배기구(20)를 통해 제거될 수 있게 한다.

필터(30) 바로 위에는, 일련의 흐름 구멍들(51)이 형성되어 있는 판(50)이 고정적으로 설치되어 있다. 그 흐름 구멍들(51)은, 그 흐름 구멍들의 면적이 판(50)의 면적의 50%를 초과하도록 배열되어 있다. 그 판(50)은 체임버의 측면들에 고정되어 있다. 또한, 일련의 흐름 구멍들(61)이 형성되어 있는 판(60)이 체임버의 측면들에 미끄럼 이동가능하게 설치되어 있다. 그 흐름 구멍들(61)은, 그 흐름 구멍들의 면적이 판(60)의 면적의 50%를 초과하도록 배열되어 있다. 고정된 판(50)과 미끄럼 이동 가능한 판(60)의 가장자리들(52, 62)은 각각, 고정된 판(50) 아래에 있는 필터(30)의 깊이의 5%-30%일 수 있는 거리 만큼 앞면(12)의 내측 표면(13)으로부터 떨어져 있다. 필터의 상부 표면(32)과 고정된 판(50)의 하부 표면(54) 사이의 거리는 전형적으로는 0.2-1.0인치(5.08-25.4mm)이다. 내측 벽(80)이 필터(30)의 하부 표면(34)과 작업면(18) 사이에서 체임버를 가로질러 수직으로 설치되어 있다. 그 내측 벽(80)에 설치된 가이드(81)가, 일련의 구멍들(84)을 가지고 있는 미닫이 문(82)을 유지하고 있다. 그 구멍들(84)은, 작업 체임버로부터 물품들을 제거하기 위해 미닫이 문(82)이 개방될 때 압력와해를 최소화 시킨다. 내측 벽(80)과 앞면(12)의 내측 표면(13) 사이의 거리는 0.5-6.0인치(1.27-15.24cm)일 수 있다.

위에 기술된 2판 설비의 목적은, 판 아래 필터로 흘러 들어가는 공기에서의 조정가능한 압력 강하를 제공하기 위한 것이다. 판들의 가장자리들(52, 62)과 내측 표면(13) 사이 공급 플리넘(40)내 공기는 필터로 들어갈 때 방해받지 않는다. 그 결과, 필터의 하부 표면에서 나오는 여과된 공기에 대하여 보면, 판들(50, 60)의 가장자리들(52, 62)과 내측 표면(13)에 의해 형성된 간격부 아래 작업 체임버(70)의 전방 부분내에서는, 그 판들 아래의 영역에서보다 더 높은 압력의 영역이 형성되게 된다. 이러한 높은 압력에 의해, 작업 체임버의 대부분과 외측(더러운) 대기와의 사이에 격리 영역이 형성된다. 그 격리 영역으로부터 구멍(15)을 통하여 외부로 여과된 공기가 약간 흐르게 되는데, 이러한 흐름이 작업 체임버내로 외부 입자들이 들어가는 것을 방지한다. 또한, 내측 표면(13)과 가장자리(52) 사이 간격부로부터의 여과된 공기가 배기 구멍(44) 쪽으로 하방으로 흐를 때 그 작업 체임버의 내부로 약간 흐르게 된다. 이러한 흐름 성분이 유독 증기 또는 입자들의 탈출을 방지한다. 그 작업 체임버내에서 발생된 유독 물질들은 배기 구멍들(44), 배기 플리넘(42), 및 배기구(20)를 통해 제거되고, 그 배기구에서, 그 유독 물질들이 처리 및 폐기 처분을 위해 보내진다. 배기 구멍들(44)의 크기, 배열, 및 위치는 중요하지 않고, 특정한 공정에 따라 결정된다. 예를 들어, 배기 플리넘이 뒷면(16)의 전방에 위치될 수도 있다.

이 장치(100)내에서 가장 높은 압력은 공급 플리넘(40)내의 공급 압력(Ps)이다. 격리 공간부로 들어가는 공기에 대해서는 필터를 통과할 때 압력 강하가 있게 된다. 그 격리 공간부내 압력이 Pi이고, 그 압력은 체임버 외측의 압력(Po)을 초과하여야 한다. 즉, Pi Po이어야 한다. 가장 낮은 압력은 배기 압력(Px)이다. 따라서, Ps Pi Pw Px의 압력 부등 관계가 요구된다. 여기서 Pw는 판들(50, 60)아래 필터(30) 바로 아래에서의 체임버내 압력이다. 이러한 관계에서, Pw는 Po보다 더 크거나, 그와 같거나, 또는 그 보다 작을 수 있다. 전형적인 체임버에서는, Pw가 Po보다 0.0005 - 0.01 물기둥 인치(inch of water) 더 크다.

본 발명을 실시하는 방법은, 각각의 설비에 대하여 위에 기재된 압력 부등 관계를 설정하는 것을 포함한다. 각각의 필터 타입은 특징적인 압력 강하를 가지며, 배기 구멍의 크기, 배열, 및 위치가 변할 수 있다. 공급 압력과 배기 압력도 건물내 소형 포위체의 위치에 따라 변한다. 위에 기술된 판 설비와 같은 배플(baffle), 또는 고정된 판만을 제공하는 것에 의해서도, 유독 물질의 탈출을 방지하는 압력 부등 관계 Pi Pw가 보장된다.

제2도를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 장치(200)가 도시되어 있고, 여기서, 상기한 장치(100)의 것들과 동일한 이 장치(200)의 구성요소들이 상기한 실시예에서와 동일한 참조번호로 나타내어져 있다.

베인(vane)(210)이 앞면(12)에 대략 평행한 방향으로 공급 플리넘(40)내에 설치된다. 그 베인(210)은 피벗(212)에 부착되어 있고, 그 피벗의 적어도 일 단부는, 그 베인과 흐름 방향 사이의 각도가 수직으로부터 -45도(제2도에 점선으로 도시됨)에서 +45도(제2도에 실선으로 나타내어짐)까지 변경될 수 있도록 포위체(enclosure)의 측면들(도시되지 않음)중 하나를 통과한다. 그 베인은 체임버의 뒷면(16) 보다는 앞면(12)에 더 가까이 위치되어 있다. 피벗(212)은 앞면과 뒷면 사이의 거리의 2% - 30%의 거리 만큼 앞면의 내측 표면(13)으로부터 떨어져 있을 수 있고, 베인은 필터(30)의 상부 표면(32)과 윗면(10) 사이의 거리의 10% - 90%의 거리 만큼 그의 단축(短軸)을 따라 피벗(212)으로부터 멀리 연장할 수 있다. 그 베인은 또한 0.2 - 1.0인치(5.08 - 25.4mm)만큼 필터(30)의 상부 표면(32) 윗쪽에 위치된다.

베인의 목적은, 상기한 장치(100)의 설명에서의 것과 동일한 필터에 들어가는 공기에서의 압력차를 제공하기 위한 것이다. 그 효과는 또한, 격리 공간부와 앞에서와 같은 압력 부등 관계를 형성하는 것이다.

제3도를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 장치(300)가 도시되어 있고, 여기서, 이전의 도면들에서와 동일한 기능을 가지는 요소들이 동일한 참조번호로 나타내어져 있다.

이 장치(300)는 피벗(212)에 설치된 베인(210)을 구비하고 있다. 미닫이 문(310)이 일련의 구멍들(312)을 가지고 있고, 작업면(18) 상에 얹혀 있도록 미끄럼이동 가능하게 설치되어 있다. 내측 벽(320)이 피벗(212)과 작업면(18) 사이에 고정되어 있고, 일련의 구멍들(322)을 가지고 있다. 그 구멍들의 목적은, 작업 체임버(370)로부터 물품들을 제거하기 위해 미닫이 문(310)이 개방될 때 어떤 압력 와해를 최소화하기 위한 것이다. 가이드들(350)이 앞면(12)의 구멍(15)을 덮는 외측 미닫이 문(351)을 유지하고 있다.

상기한 장치(100) 및 장치(200)의 설명에서 주어진 바와 같은, 체임버내 유독 오염물질의 탈출과 체임버 외부의 먼지 입자들의 침입을 방지하도록 하는 압력 부등 관계들과 그들의 협동 작용이 여기서도 그대로 적용된다.

본 발명의 앞에서 기술된 실시예들은, 외부의 먼지로부터 작업물을 보호함과 동시에, 유독 오염물질이 탈출하는 것을 방지하고, 간단하고 유지관리가 필요없는 설비로 체임버에 접근할 수 있게 하는 능력을 포함하여 많은 이점들을 가진다.

구체적으로 기술된 실시예들에 대한 변경 및 개조가 본 발명의 범위로부터 벗어남이 없이 행해질 수 있다. 특히, 첫 번째 실시예의 장치(100)의 배플과 두 번째 실시예의 장치(200)의 베인이 필터 아래에 배치될 수도 있다. 베플, 베인 및 내측 벽이 여러 가지 실시예 들에서 단독으로 또는 서로 협력하여 사용될 수 있다. 제1도의 장치(100)의 미닫이 문이 제2도의 장치(200)에도 설치될 수 있고, 제3도의 장치(300)의 앞면(12)에 부착된 미닫이 문이 제1도의 장치(100)와 제2도의 장치(200)에도 설치될 수 있다.

Claims

2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체로부터 작업자 환경으로 오염물질이 탈출하는 것을 방지하는 방법으로서, 상기 포위체의 일 말단부에서 오염되지 않은 가스를 공급 압력으로 그 포위체에 공급하는 단계 : 격리 영역을 형성하기 위해, 상기 구멍에 가장 가깝고 상기 말단부들 사이에 있는 영역에서 상기 포위체내에 격리 압력을 유지하는 단계 : 오염물질이 발생되는 작업 영역을 형성하기 위해, 2개의 상기 말단부들과 상기 격리 영역에 의해 형성되는 영역에서 상기 포위체 내에 작업 압력을 유지하는 단계 ; 상기 포위체의 다른 말단부에서 배기 압력을 유지하는 단계 ; 상기 포위체 전체에 걸쳐 압력 경도(傾度)와 흐름을 형성하기 위해, 상기 압력들을 다음의 강하 순서, 즉, 공급 압력, 격리 압력, 작업 압력, 및 배기 압력의 순서로 유지하는 단계 ; 및 상기 다른 말단부에서 가스와 오염물질을 제거하는 단계를 포함하는, 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈출을 방지하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 격리 압력을 상기 포위체 외측의 대기의 압력보다 더 높은 수준으로 유지하는 것을 더 포함하는, 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈출을 방지하는 방법.
제1항에 있어서, 격리 압력과 작업 압력 사이의 압력차를 유지하는 것이, 격리 영역과 작업 영역 앞에서 흐름내에 배플을 배치하는 것을 더 포함하는 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈출을 방지하는 방법.
제1항에 있어서, 흐름에 대략 수직인 방향으로 배플의 흐름에 대한 방해를 변화시키는 것을 더 포함하는, 포위체로부터 작업자 환경으로의 오염물질 탈출을 방지하는 방법.
2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼저 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법으로서, 상기 포위체의 일 말단부에서 가스를 공급 압력으로 그 포위체에 공급하는 단계 : 격리 영역을 형성하기 위해, 상기 구멍에 가장 가깝고 상기 말단부들 사이에 있는 영역에서 상기 포위체내에 격리 압력을 유지하는 단계 : 입자들이 없이 유지될 작업 영역을 형성하기 위해, 2개의 상기 말단부들과 상기 격리 영역에 의해 형성되는 영역에서 상기 포위체내에 작업 압력을 유지하는 단계 : 상기 포위체의 다른 말단부에서 배기 압력을 유지하는 단계 ; 상기 포위체 전체에 걸쳐 압력 경도와 흐름을 형성하기 위해, 압력들을 다음의 강하 순서, 즉, 공급 압력, 격리 압력, 작업 압력, 및 배기 압력의 순서로 유지하는 단계 ; 상기 포위체 외측의 대기의 압력보다 더 높은 수준으로 상기 격리 압력을 유지하는 단계 및 상기 다른 말단부에서 가스를 제거하는 단계를 포함하는, 포위체내로 먼저 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법.
제5항에 있어서. 격리 압력과 작업 압력 사이의 압력차를 유지하는 것이, 격리 영역과 작업 영역 앞에서 흐름내에 배플을 배치하는 것을 더 포함하는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법.
제5항에 있어서, 흐름에 대략 수직인 방향으로 배플의 흐름에 대한 방해를 변화시키는 것을 더 포함하는, 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하는 방법.
2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고, 그 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하는 방법으로서, 상기 포위체의 일 말단부에서 가스를 공급 압력으로 그 포위체에 공급하는 단계 ; 격리 영역을 형성하기 위해, 상기 구멍에 가장 가깝고 상기 말단부들 사이에 있는 영역에서 상기 포위체내에 격리 압력을 유지하는 단계 ; 입자들이 없이 유지될 작업 영역을 형성하기 위해, 2개의 상기 말단부들과 상기 격리 영역에 의해 형성되는 영역에서 상기 포위체내에 작업 압력을 유지하는 단계 ; 상기 포위체의 다른 말단부에서 배기 압력을 유지하는 단계 ; 상기 포위체 전체에 걸쳐 압력 경도를 형성하기 위해 상기 압력들을 다음의 강하 순서, 즉, 공급 압력, 격리 압력, 작업 압력 및 배기 압력의 순서로 유지하는 단계 ; 상기 포위체 외측의 대기의 압력보다 더 높은 수준으로 상기 격리 압력을 유지하는 단계 및 상기 다른 말단부에서 가스와 유독 오염물질을 제거하는 단계를 포함하는 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하는 방법.
제8항에 있어서, 격리 압력과 작업 압력 사이의 압력차를 유지하는 것이, 격리 영역과 작업 영역 앞에서 흐름내에 배플을 배치하는 것을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하는 방법.
제8항에 있어서, 흐름에 대략 수직인 방향으로 배플의 흐름에 대한 방해를 변화시키는 것을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하는 방법.
2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고, 그 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하기 위한 장치로서, 상기 포위체의 일 영역내의 가스 흐름에, 그 포위체의 다른 영역내의 흐름에 제공되는 방해보다 더 큰 방해를 제공하는 배플을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제11항에 있어서 상기 배플이 상기 포위체의 일 영역에 걸쳐 있고, 상기 포위체의 다른 영역에서는 흐름이 방해되지 않게 하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제11항에 있어서, 상기 배플이 상기 포위체의 일 영역에서의 흐름에 변화하는 방해를 제공하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제11항에 있어서, 상기 배플이 제1세트의 흐름 구멍들을 가진 제1 판과, 제2세트의 흐름 구멍들을 가지고 있고 상기 제1판에 대하여 미끄럼 이동가능하게 설치된 제2판을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제11항에 있어서, 상기 배플이, 그 배플이 흐름에 더 큰 방해를 제공하는 다른 영역보다, 상기 구멍에 더 가까이 위치된 상기 포위체의 일 영역에서의 흐름에 더 작은 방해를 제공하는, 포위체내로의 먼지 입자 들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제11항에 있어서, 작업면, 뒷벽, 2개의 측면들, 및 필터의 하부 표면과 함께 작업 영역을 형성하는, 상기 포위체내의 내측 벽을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제16항에 있어서, 상기 내측 벽을 통해 작업 체임버로부터 물품들이 제거될 수 있게 하도록 상기 내측 벽에 설치된 미닫이 문을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제17항에 있어서, 상기 미닫이 문에 형성된 일련의 구멍들을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고, 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하기 위한 포위체로서, 가스를 위한 도입구를 가진 윗면, 포위체로부터 배기구를 가진 바닥면, 상기 윗면과 바닥면을 연결하고 서로 떨어져 있는 2개의 측면들 ; 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 뒷면 ; 구멍을 가지고 있고 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 앞면 ; 상기 2개의 측면들과 뒷면에 연결되고 상기 구멍 윗쪽에 위치되는 필터 ; 상기 구멍 뒤쪽에 위치되고 미닫이 문을 지지하고 있는 내측벽 및 상기 구멍 윗쪽에 위치되고, 상기 측면들과 뒷면에 연결되며, 배플과 상기 앞면의 내측 표면과의 사이에 간격부를 형성하는 가장자리를 가지는 배플을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제19항에 있어서, 상기 배플이 흐름에 대한 방해를 변화시키기 위해 협동하는 고정된 핀과 이동가능한 판을 포함하고, 그 판들 각각이 일련의 흐름 구멍들을 가지는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
2개의 말단부들과 그들 사이의 구멍을 가지는 포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고, 그 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출되는 것을 방지하기 위한 장치로써, 제1 말단부와 상기 구멍과의 사이에서 상기 포위체내에 설치되고, 상기 제1 말단부로부터 제2 말단부로 흐르는 가스의 일 부분을 차단하는 베인을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제21항에 있어서, 상기 구멍이 상기 포위체의 앞면에 형성되고, 상기 베인이 상기 포위체의 맞은편 뒷면보다는 상기 앞면에 더 가까이 위치되는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제21항에 있어서, 상기 베인의 한 축선이 상기 말단부들 사이의 축선에 대략 수직인 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제21항에 있어서, 상기 베인이 그 베인과 상기 제2 말단부 사이에서 상기 포위체내에 압력차가 존재하게 하는 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제21항에 있어서, 상기 베인의 한 축선과 상기 말단부들 사이의 축선과의 사이의 각도가 가변적인, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
제21항에 있어서, 상기 각도가 -45도로부터 +45도까지에서 변할 수 있는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 장치.
포위체내로 먼지 입자들이 들어가는 것을 방지하고, 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하기 위한 포위체로서 가스를 위한 도입구를 가진 윗면 ; 포위체로부터의 배기구를 가진 바닥면 ; 상기 윗면과 바닥면을 연결하고 서로 떨어져 있는 2개의 측면들 ; 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 뒷면 ; 구멍을 가지고 있고 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 앞면 ; 상기 2개의 측면들과 뒷면에 연결되고 상기 구멍 윗쪽에 위치되는 필터 및 상기 구멍 윗쪽에 맞은편 뒷면보다는 상기 구멍에 더 가까이 위치되고, 상기 2개의 측면들에 연결되어 있으며, 상기 윗면과 바닥면 사이의 축선과 베인과의 사이에 각도를 이루는 축선을 가지는 베인을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제27항에 있어서, 상기 각도가 상기 베인과 바닥면 사이에서 상기 포위체내의 압력차를 제어하도록 변경될 수 있는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제27항에 있어서, 작업면, 뒷벽, 2개의 측면들, 및 필터의 하부 표면과 함께 작업 영역을 형성하는, 상기 포위체내의 내측 벽을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제29항에 있어서, 상기 내측 벽을 통해 상기 작업 영역으로부터 물품들이 제거 될 수 있게 하도록 상기 내측 벽에 설치된 미닫이 문을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제30항에 있어서, 상기 미닫이 문에 형성된 일련의 구멍들을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
먼지 입자들이 포위체내로 들어가는 것을 방지하고, 포위체내의 오염물질이 작업자 환경으로 탈출하는 것을 방지하기 위한 포위체로서, 가스를 위한 도입구를 가진 윗면, 포위체로부터의 배기구를 가진 바닥면, 상기 윗면과 바닥면을 연결하고 서로 떨어져 있는 2개의 측면들, 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 뒷면, 구멍을 가지고 있는 상기 윗면, 바닥면, 및 2개의 측면들을 연결하는 앞면 ; 상기 2개의 측면들과 뒷면에 연결되고, 상기 구멍 윗쪽에 위치되는 필터 ; 상기 구멍 윗쪽에 맞은편 뒷면보다는 상기 구멍에 더 가까이 위치되고, 상기 2개의 측면들에 연결되어 있으며, 상기 윗면과 바닥면 사이의 축선과 베인과의 사이에 각도를 이루는 축선을 가지는 베인 ; 및 작업면, 뒷면, 2개의 측면들, 및 필터의 하부 표면과 함께 작업 영역을 형성화는, 상기 포위체내의 내측 벽을 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제32항에 있어서, 상기 내측 벽을 통해 작업 제임버로부터 물품들이 제거될 수 있게 하도록 상기 내측 벽에 설치된 미닫이 문을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제33항에 있어서, 상기 미닫이 문에 형성된 일련의 구멍들을 더 포함하는, 포위체내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체내 오염물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.
제32항에 있어서, 상기 구멍을 덮는 외측 미닫이 문을 더 포함하는, 포위체 내로의 먼지 입자들의 들어감과 작업자 환경으로의 포위체 내 오염 물질의 탈출을 방지하기 위한 포위체.