KR960012303A - 박막형성방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

액체를 토출하는 노즐을 복수개 지닌 잉크제트헤드, 잉크제트헤드에서 토출된 액체가 부착되는 피도포기판을 전축에 대해 회전시키는 회전장치, 잉크제트헤드와 피도포판을 피도포기판에 대한 회전축의 근방영역과 회전축에서 떨어진 분리영역과의 사이에서 상대이동시키는 상대이동장치, 잉크제트헤드와 피도포기판과의 상대위치가, 근방영역에서 분리영역을 향해 상대적으로 이동함에 대응하여 상대이동장치에 의한 상대이동속도가 작아지도록 상대이동수단을 제어하는 상대이동제어장치 및 잉크제트헤드와 피도포기판과의 상대위치가, 근방영역에서 분리영역을 향해 상대적으로 이동함에 대응하여 회전장치에 의한 회전각속도가 작아지도록 상대이동수단을 제어하는 상대이동제어장치로 이루어진 박막형성장치이다.

Description

박막형성방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시에에 따른 박막형성장치의 구성도,
제2도는 박막형성장치의 잉크제트헤드의 단면도.

Claims (24)

  1. 액체를 토출하는 노즐을 복수개 지닌 잉크제트헤드(11,70,121,124,126,133,137,161,171,190); 잉크제헤드에서 토출된 액체가 부착되는 피도포기판(10)을 회전축에 대해 회전시키는 회전수단(50); 잉크제트헤드와 피도포기판을, 피도포기판에 대한 회전축의 근방영역과 회전축에서 떨어진 분리영역과의 사이에서 상대이동시키는 상대이동수단(51,54);과 잉크제트헤드와 피도포기판과의 상대위치가, 근방영역에서 분리영역을 향해 상대적으로 이동함에 대응하여 상대이동수단에 의한 상대이동속도가 작아지도록 상대이동수단을 제어하는 상대이동제어수단(52,53)으로 이루어지는 박막형성장치.
  2. 액체를 토출하는 노즐을 복수개 지닌 잉크제트헤드(11,70,121,124,126,133,137,161,171,190); 잉크제헤드에서 토출된 액체가 부착되는 피도포기판(10)을 회전축에 대해 회전시키는 회전수단(50); 잉크제트헤드와 피도포기판을, 피도포기판에 대한 회전축의 근방영역과 회전축에서 떨어진 분리영역과의 사이에서 상대이동시키는 상대이동수단(51,54);과 잉크제트헤드와 피도포기판과의 상대위치가, 근방영역에서 분리영역을 향해 상대적으로 이동함에 대응하여 회전수단에 의한 회전각속도가 작아지도록 상대이동수단을 제어하는 상대이동제어수단(52,53)으로 이루어지는 박막형성장치.
  3. 제1항에 있어서, 상대이동제어수단(52,53)이, 잉크제트헤드와 피도포기판과의 상대위치가 근방영역에서 분리영역을 향해 상대적으로 이동함에 대응하여 회전수단에 의한 회전각속도가 작아지도록 상대이동수단을 제어한느 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  4. 제3항에 있어서, 상대이동제어수단(52,53)은, 잉크제트헤드와 피도포기판과의 상대위치가 근방영역에서 분리영역을 향해 상대적으로 이동하는 이동거리에 반비례하여 상대이동의 속도를 감속하는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  5. 제4항에 있어서, 잉크제트헤드와 피도포기판과의 상대위치가 근방영역에서 분리영역을 향해 상대적으로 이동하는 이동거리를 X, 그 상대속도를 V라고 하면, 상대이동제어수단(52,53)에서 식 V=K1/X이 유지되고, K1이 0보다 크면, 잉크제트헤드와 피도포기판은 상대위치 Xs에서 다른 상대위치 Xe를 재는 이동거리 X에 의해 상대적으로 이동하고, 상대이동소요시간을 t라고 하면, K1은 미분방정식 K1(ds/dt)×X를 풀어서 결정되는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  6. 제3항에 있어서, 잉크제트헤드(70)에 인접하고, 공기류를 피도포기판을 향하여 유출시키는 공기유출헤드(71)가 더욱 설치되어서, 액체가 피도포기판에 토출된 직후에 공기류를 피도포기판으로 유출하는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  7. 제3항에 있어서, 잉크제트헤드에서 토출되는 액체를 대전시키는 대전수단(90)을 더욱 지닌 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  8. 제3항에 있어서, 잉크제트헤드가, 액체토출구(27,91)와 대향하여 공기토출구(25,92)를 설치하여, 공기로 출구에서 공기류를 유출시켜 액체토출구내의 액체압력과, 공기류에 의해 발생한 액체토출구근방의 공기압력과의 균형을 변화시킴으로서, 액체를 토출하는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  9. 제8항에 있어서, 공기토출구의 주위에 설치된 전극부재(93)와, 전극부재와 액체토출구내의 액체사이에 전위차를 인가하는 전위차인가수단(90)을 더욱 지녀, 잉크제트헤드에서 토출된 액체를 대전시키는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  10. 제1항에 있어서, 잉크제트헤드에서 토출된 액체가 비급속건조수지용액인 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  11. 제3항에 있어서, 토출되는 액체는, 막형성재료 및 막형성재료를 용해시키는 용제를 함유하는 용액상물질이며, 액체를 노즐에 공급하는 공급원(143)과, 피도포기판이 놓이고, 회전수단에 의해 회전하는 스테이지(140)와, 피도피가판을 가열하는 가열수단(139)을 더욱 지니는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  12. 제3항에 있어서, 잉크제트헤드와 피도포기판을 서로 연결하는 규정된 제1방향내에 잉크제트헤드를 이동시키는 제1이동수단(142,142Z)과, 스테이지상에 배치되어, 제1방향에 수직인 평며내에 2개의 수직방향으로 스테이지를 이동시키는 제2이동수단(140,140x,140y)를 더욱 지니는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  13. 제3항에 있어서, 피도포기판의 표면에 부착되는 액체가, 피도포기판표면에 균일하게 도포됨으로서 제1도포상태를 달성하는데 충분한 제1상대속도로 피도포기판을 회전시키고, 다음, 과도하게 도포된 도포액이 제1도포상태로 부터 비산됨으로서 피도포기판에, 제1도포상태보다 균일한 제2도포상태를 막을 형성하도록, 제1상대속도보다 고속의 제2상태속도로 피도포기판을 회전시키는 제어수단(53)을 더욱 지니는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  14. 제13항에 있어서, 잉크제트헤드는 액체를 정전력에 의해 노즐의 외방으로 흡인하여, 액체를 토출하는 정전흡인방식의 잉크제트헤드인 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  15. 제3항에 있어서, 잉크제트헤드는 액체를 정전력에 의해 노즐의 외방으로 흡인하여, 액체를 토출하는 정전흡인방식의 잉크제트헤드인 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  16. 제9항에 있어서, 액체의 비저항이 105Ω㎝이상의 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  17. 제8항에 있어서, 액체가 스트링상태로 토출되는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  18. 제3항에 있어서, 액체는 액체에 압력파를 작용함으로서 토출하는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  19. 제3항에 있어서, 잉크제트헤드는 노즐로 구성되고, 액체의 토출량의 한쪽 방향을 향해 점차 증가하도록 한쪽 방향으로 배열해 있는 복수의 토출부를 지녀, 최소토출량의 토출부가 기판근방영역쪽에 배치해 있는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  20. 제19항에 있어서, 상대이동수단은, 최소토출량의 토출구가 기판근방영역쪽에 배치해 있는 상태에서, 기판의 분리영역쪽을 향해 잉크제트헤드를 이동시키는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  21. 제19항에 있어서, 복수의 토출부는 등간격으로 배열해 있고, 직경이 분리영역쪽을 향해 점차 증가하는 복수의 노즐인 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  22. 제19항에 있어서, 복수의 토출부는 동일직경을 지니고, 배열피치가 분리영역쪽을 향해 점차 좁아지는 복수의 노즐인 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  23. 제19항에 있어서, 복수의 토출부는 등간격으로 배열해 있고, 노즐수가 분리영역쪽을 향해 점차 증가하는 복수의 노즐군인 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
  24. 제19항에 있어서, 복수의 토출부는 등간격으로 배열한 동일 직경의 복수의 노즐과, 노즐의 토출량을 분리영역쪽을 향해 점차 증가하도록 제어하는 유속제어부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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