JP6780171B2 - 流体の噴出方法および流体の成膜方法 - Google Patents
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Description
本発明の噴出とは、噴出口から流体が所望するスピードを持って移動することを指し、噴出口の下流の噴出流のパターンの面積が噴出口より大であって例えば滴下やディスペンス、スプレイを含む。よって噴出口は微細な孔でも、2流体スプレイノズルのような複合形状でも良く、その形状大小を問うものではない。流体が関係するあるいは製造される最終製品としては空中で液状薬剤を粒子化させて医薬品などに使用される造粒方法やメルトブローン方式あるいはエレクトロスピニング等による繊維や不織布製造も含まれる。脱イオン水や溶剤などの液体や粒子化したドライアイスなどを噴出して行う基材の洗浄も含まれる。更に粉粒体を圧縮ガスとともに噴出し対象物に接触乃至衝突させてバリ取りなどを行うブラストも含まれる。また成膜とは噴出流が被塗物などの対象物に向けて移動し、衝突または接触して付着することを含み一般的塗装、原料ガスを高温の対象物に接触させて成膜するCVDや、有機金属原料をバブリングさるなどしてキャリヤガスで移動させ成膜させるMOCVD法も含有する。圧縮気体と共に混合された流体として噴出口から噴出され移動させ塗着させる粉粒体、超臨界性と混合した液体などの流体のスプレイ、エアアシストディスペンスジェット、霧化(含む繊維化)施与、静電霧化(含む繊維化)施与等の粒子や繊維を被塗物に塗布する工法を含み、マイクロカーテン施与も含む。
マイクロカーテンとは広角パターンのエアレススプレイノズル等で液体などを1MPa以下好ましくは0.3MPa前後の比較的低圧でスプレイする際、霧になる前の液膜の部分を使用して被塗物とスプレイノズルをトラバースして塗布する方法であって塗面にオーバースプレイ粒子は発生しない。被塗物を通り過ぎて距離が離れると霧状に変化する。
また霧化(繊維化)施与とはスプレイによる粒子化以外に、液体や溶融体などを超音波、エレクトロスピニングなどのスピン、回転体による遠心力、メルトブローン方式などで粒子や繊維をつくりだす方法により対象物にそれらを付着あるいは塗布する工法を指す。
上記二つの方法は対象物の移動方向と直交または略直交して例えば1乃至30ミリメートル往復移動しヘッドまたは列ごとの噴出口の対象物上での噴出流のパターンをラップさせることもできる。このようなショートトラバースするときの付着するときのパターン幅は2乃至40ミリメートルの小径あるいは楕円の狭い角度のパターンを使用できる。パターン幅を限定するものでないが10mm以下が好ましく小さいパターン幅ほど流体の付着効率を高めることができる。1つのヘッドあるいは一列または略一列の複数の噴出口の数は多いほど生産性の面でよい。費用対効果から5乃至10個は対象物が小さいLEDなど向けの小型装置に好ましく、10乃至100個あるいはそれ以上はウェブなどへの液体や溶融体の噴射に適している。
もちろんサイクル内であればそれより長くてもよいが省資源の立場から消費量を多くすることは良くない。
4,5 第1サイクル噴出流
6 第2サイクル噴出流
7,8 第3サイクル噴出流
11,12,13,14 前列ヘッド
15,16,17,18 後列ヘッド
21,21,25,27 第1サイクル噴出流
22,24,26,28 第2サイクル噴出流
31,32,33,34 前列ヘッド
35,36,37,38 中列ヘッド
39,40,41,42 後列ヘッド
131,133,136,138,139,141 第1サイクル噴出流
132,134,135,137,140,142 第2噴出流
61,62,63~69、70 円上のヘッド
161,163,165,167,169 第1サイクル噴出流
162,164,166,168,170 第2サイクル噴出流
Claims (5)
- 液体、溶融体、粉粒体、超臨界性流体、ガスから少なくとも一つの流体を選択し、スプレイノズルを用いて、末広がりになるようにスプレイする方法であって、少なくとも一つの流体を洗浄液またはドライアイスから選択して対象物を洗浄するにあたり、複数のスプレイノズルを一列または略一列、または複数列、または円形内に配置する工程と、前記複数のスプレイノズルのうち、隣り合うスプレイノズルのスプレイ流が空中または対象物上で干渉しないようにタイミングをずらしてスプレイする工程からなることを特徴とする流体のスプレイ方法。
- 液体、溶融体、粉粒体、超臨界性流体、ガスから少なくとも一つの流体を選択し、スプレイノズルを用いて、末広がりになるようにスプレイする方法であって、少なくとも一つの流体をブラスト粒子として対象物に衝突させブラスト処理するにあたり、複数のスプレイノズルを一列または略一列、または複数列、または円形内に配置する工程と、前記複数のスプレイノズルのうち、隣り合うスプレイノズルのスプレイ流が空中または対象物上で干渉しないようにタイミングをずらしてスプレイする工程からなることを特徴とする流体のスプレイ方法。
- 選択した少なくとも一つの流体を用意する工程と、下流に複数のスプレイノズルを配置する開閉機構であって、前記流体の下流への流れを開閉する自動開閉機構を設ける工程と、複数の自動開閉機構を設ける工程と、複数の自動開閉機構のうち少なくとも二つの自動開閉機構を選択しそれぞれの下流のスプレイノズルが隣り合うように交互に設置される工程からなり、隣り合うスプレイノズルからの末広がりのスプレイ流が干渉しないように前記自動開閉機構の開閉のタイミングをずらしてそれぞれのスプレイ流が空中または対象物上で干渉しないようにすることを特徴とする請求項1または2の流体のスプレイ方法。
- 前記スプレイが二流体スプレイ方式であることを特徴とする請求項1乃至3のスプレイ方法。
- 前記スプレイをパルス的にスプレイし、少なくとも隣り合うスプレイノズルのスプレイ流が干渉しないようにパルスタイミングをずらしてスプレイすることを特徴とする請求項1乃至4のスプレイ方法。
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