KR960012280A - 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법 및 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치 - Google Patents

반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법 및 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치 Download PDF

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KR960012280A
KR960012280A KR1019950031292A KR19950031292A KR960012280A KR 960012280 A KR960012280 A KR 960012280A KR 1019950031292 A KR1019950031292 A KR 1019950031292A KR 19950031292 A KR19950031292 A KR 19950031292A KR 960012280 A KR960012280 A KR 960012280A
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KR
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electrical characteristics
semiconductor device
shape
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simulating
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KR1019950031292A
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다까아끼 다쯔미
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이데이 노브유끼
소니 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 목적은 반도체장치에 대한 시뮬레이션에 적합한 기술, 예를 들면 반도체장치의 배선의 용량, 전류밀도등의 시뮬레이션에 대하여 필요한 데이터를 용이하게 예를들면 화면을 보면서 간단히 거둬들이고 또한 가지각색의 시뮬레이터 입력데이터로서 재이용가능하고, 작성데이터가 정확하며 작업시간의 단축이 가능하기도 한 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법 및 그것에 이용하는 입력데이터 생성장치를 제공하는데 있다. 그 구성은 반도체장치의 전기적 특성을 시뮬레이트하는 시뮬레이션방법에 있어서, 반도체장치의 착안하는 부분의 재질과, 전기적 특성과, 형태를 지정하는 공정1을 갖추는 동시에 이 형태의 지정은 몇개의 선정한 단순화한 형태모델중에서 선택하여 지정하는 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치 및 이 데이터를 이용한 시뮬레이션 방법.

Description

반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법 및 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 실시예1의 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치의 전체구성을 나타내는 도면이다,
제2도는 실시예1ㅇ데 있어서의 처리의 흐름을 나타내는 도면이다,
제3도는 실시예1에 있어서 지정할 수 있는 형태예를 나타내는 도면이다(원추형),
제4도는 실시예1에 있어서 지정할 수 있는 형태예를 나타내는 도면이다(6면체),
제5도는 실시예1에 있어서 지정할 수 있는 형태예를 나타내는 도면이다(스푼컷 형태),
제6도는 실시예1에 있어서의 형태의 편집화면을 나타내는 도면이다,
제7도는 실시예1에 있어서의 6면체의 지정을 설명하는 도면이다,
제8도는 실시예1에 있어서의 스푼컷 형태의 지정을 설명하는 도면이다,
제9도는 실시예1에 있어서의 도형지정의 포멧의 설명도이다.

Claims (8)

  1. 반도체장치의 전기적 특성을 시뮬레이트하는 시뮬레이션 방법에 있어서, 반도체장치의 착안하는 부분의 재질과, 전기적 특성과, 형태를 지정하는 공정을 갖추는 동시에, 이 형태의 지정은 몇개의 선정한 단순화한 형태모델중에서 선택하여 지정하는 것인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 전기적 특성의 시물레이션 방법.
  2. 제1항에 있어서, 형태의 지정이 원추사다리형태, 6면체형태, 스푼컷 형태중에서 선택하는 지정인 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법.
  3. 제2항에 있어서, 6면체의 형태지정이 직6면체, 직6면체끼리를 연결하는 형태중에서 선택하는 지정인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 시뮬레이트하는 전기적 특성이 반도체장치의 배션의 전기적 특성이며, 시뮬레이트하여야할 배선의 재질을 나타내는 데이터와, 이 배선의 저항을 나타내는 데이터와, 배선의 전극위치를 지정하는 데이터와, 배선의 형태를 지정하는 데이터와, 배선간의 관계를 나타내는 데이터를 각각 입력하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법.
  5. 반도체장치의 전기적 특성을 시뮬레이트하기 위한 필요한 입력정보를 작성하는 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치로서, 반도체장치의 착안하는 부분의 재질과, 전기적 특성과, 형태를 지정하는 공정을 갖추는 동시에, 이형태의 지정은 몇개의 선정한 단순화한 형태모델중에서 선택하여 지정하여 시뮬레이션용 입력데이터로 하는 것인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치.
  6. 제5항에 있어서, 형태의 지정이 원추사다리형태, 6면체형태, 스푼컷 형태중에서 선택하는 지정인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치.
  7. 제6항에 있어서, 6면체의 형태지정이 직6면체, 직6면체끼리를 연결하는 형태중에서 선택하는 지정인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 시뮬레이트하는 전기적 특성이 반도체장치의 배선의 전기적 특성이며, 시뮬레이트하여야할 배선의 재질을 나타내는 데이터와, 이 배선의 저항을 나타내는 데이터와, 배선의 전극위치를 지정하는 데이터와, 배선의 형태를 지정하는 데이터와, 배선간의 관계를 나타내는 데이터를 각각 입력하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션 입력데이터 생성장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950031292A 1994-09-29 1995-09-22 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법 및 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치 KR960012280A (ko)

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JP25954594A JPH0897215A (ja) 1994-09-29 1994-09-29 半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ生成装置

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