JPH0897215A - 半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ生成装置 - Google Patents
半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ生成装置Info
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- JPH0897215A JPH0897215A JP25954594A JP25954594A JPH0897215A JP H0897215 A JPH0897215 A JP H0897215A JP 25954594 A JP25954594 A JP 25954594A JP 25954594 A JP25954594 A JP 25954594A JP H0897215 A JPH0897215 A JP H0897215A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004088 simulation Methods 0.000 title claims description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置についてのシミュレーションに適
した技術、例えば半導体装置の配線の容量、電流密度等
のシミュレーションについて、必要なデータを容易に、
例えば画面を見ながら簡単に取り込め、さらにさまざま
なシミュレータの入力データとして再利用可能で、作成
データが正確であり、作業時間の短縮が可能でもある半
導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及びそれ
に用いる入力データ生成装置を提供する。 【構成】 半導体装置の電気的特性をシミュレートする
シミュレーション方法において、半導体装置の着目する
部分の材質と、電気的特性と、形状とを指定する工程１
を備えるとともに、該形状の指定は、いくつかの選定し
た単純化した形状モデルの中から選択して指定するシミ
ュレーション用入力データ生成装置及びこのデータを用
いたシミュレーション方法。
した技術、例えば半導体装置の配線の容量、電流密度等
のシミュレーションについて、必要なデータを容易に、
例えば画面を見ながら簡単に取り込め、さらにさまざま
なシミュレータの入力データとして再利用可能で、作成
データが正確であり、作業時間の短縮が可能でもある半
導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及びそれ
に用いる入力データ生成装置を提供する。 【構成】 半導体装置の電気的特性をシミュレートする
シミュレーション方法において、半導体装置の着目する
部分の材質と、電気的特性と、形状とを指定する工程１
を備えるとともに、該形状の指定は、いくつかの選定し
た単純化した形状モデルの中から選択して指定するシミ
ュレーション用入力データ生成装置及びこのデータを用
いたシミュレーション方法。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の電気的特
性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性
のシミュレーション用入力データ生成装置に関する。本
発明は、例えば、半導体装置の配線の容量、電流密度等
のシミュレーションのためのデータに必要な情報を、計
算機上で３次元形状入力を含めて簡単に作成し、さまざ
まなシミュレータの入力データを生成するための手法及
びそのデータ生成ツールとして利用することができる。
性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性
のシミュレーション用入力データ生成装置に関する。本
発明は、例えば、半導体装置の配線の容量、電流密度等
のシミュレーションのためのデータに必要な情報を、計
算機上で３次元形状入力を含めて簡単に作成し、さまざ
まなシミュレータの入力データを生成するための手法及
びそのデータ生成ツールとして利用することができる。
【０００２】
【従来の技術】３次元シミュレーションのためのデータ
入力装置としては、ＩＤＥＡＳをはじめとして多くのい
わゆる３Ｄ−ＣＡＤ（３−ｄｉｍｅｎｒｉｏｎａｌ Ｃ
ｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎｅｒ）が知
られている。これらは汎用の３次元入力装置であるた
め、半導体装置の配線容量、電流密度等のシミュレーシ
ョンに用いることを考えた場合に次のような問題があ
る。
入力装置としては、ＩＤＥＡＳをはじめとして多くのい
わゆる３Ｄ−ＣＡＤ（３−ｄｉｍｅｎｒｉｏｎａｌ Ｃ
ｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎｅｒ）が知
られている。これらは汎用の３次元入力装置であるた
め、半導体装置の配線容量、電流密度等のシミュレーシ
ョンに用いることを考えた場合に次のような問題があ
る。
【０００３】（１）さまざまな形状が入力可能で複雑な
形状を指定できるが、この分、覚えるべき操作が多い。
半導体装置の分野では、入力したい形状は単純なものが
数種類でよいので、これは却って操作の煩雑性を招く。 （２）抵抗率（ある立体に関して）や電極であるか否か
（ある平面に関して）など、特定の属性だけを持つ場合
について、その指定を与えることが難しい。 （３）形状間の関係（連続である、同じ電極である、な
ど）の指定が難しい。
形状を指定できるが、この分、覚えるべき操作が多い。
半導体装置の分野では、入力したい形状は単純なものが
数種類でよいので、これは却って操作の煩雑性を招く。 （２）抵抗率（ある立体に関して）や電極であるか否か
（ある平面に関して）など、特定の属性だけを持つ場合
について、その指定を与えることが難しい。 （３）形状間の関係（連続である、同じ電極である、な
ど）の指定が難しい。
【０００４】一方、市販の、電気的な装置を対象にした
シミュレーションツールは、逆に入力できる形状がきわ
めて限られていて（直方体程度である）、現実的に対処
できない。
シミュレーションツールは、逆に入力できる形状がきわ
めて限られていて（直方体程度である）、現実的に対処
できない。
【０００５】これらの問題に対して、半導体装置のシミ
ュレートに要する特定の形状入力のみを許すことで入力
を簡単にし、必要な属性設定のみを間違いなく簡単に行
えるシステムが望まれるわけであるが、これを実現する
技術は未だ開発されていない。
ュレートに要する特定の形状入力のみを許すことで入力
を簡単にし、必要な属性設定のみを間違いなく簡単に行
えるシステムが望まれるわけであるが、これを実現する
技術は未だ開発されていない。
【０００６】
【発明の目的】本発明は、上記の事情に鑑みて、半導体
装置についてのシミュレーションに適した技術を提供し
ようとするものであり、例えば半導体装置の配線の容
量、電流密度等のシミュレーションについて、必要なデ
ータを容易に、例えば画面を見ながら簡単に取り込め、
さらにさまざまなシミュレータの入力データとして再利
用可能で、作成データが正確であり、作業時間の短縮が
可能でもある半導体装置の電気的特性のシミュレーショ
ン方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション
用入力データ生成装置を提供することを目的とする。
装置についてのシミュレーションに適した技術を提供し
ようとするものであり、例えば半導体装置の配線の容
量、電流密度等のシミュレーションについて、必要なデ
ータを容易に、例えば画面を見ながら簡単に取り込め、
さらにさまざまなシミュレータの入力データとして再利
用可能で、作成データが正確であり、作業時間の短縮が
可能でもある半導体装置の電気的特性のシミュレーショ
ン方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション
用入力データ生成装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【目的を達成するための手段及び作用】本出願の請求項
１の発明は、半導体装置の電気的特性をシミュレートす
るシミュレーション方法において、半導体装置の着目す
る部分の材質と、電気的特性と、形状とを指定する工程
を備えるとともに、該形状の指定は、いくつかの選定し
た単純化した形状モデルの中から選択して指定するもの
であることを特徴とする半導体装置の電気的特性のシミ
ュレーション方法であって、これにより上記目的を達成
するものである。
１の発明は、半導体装置の電気的特性をシミュレートす
るシミュレーション方法において、半導体装置の着目す
る部分の材質と、電気的特性と、形状とを指定する工程
を備えるとともに、該形状の指定は、いくつかの選定し
た単純化した形状モデルの中から選択して指定するもの
であることを特徴とする半導体装置の電気的特性のシミ
ュレーション方法であって、これにより上記目的を達成
するものである。
【０００８】本出願の請求項２の発明は、形状の指定
が、円錐台形状、６面体形状、スプーンカット形状の中
から選択する指定であることを特徴とする請求項１に記
載の半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法で
あって、これにより上記目的を達成するものである。
が、円錐台形状、６面体形状、スプーンカット形状の中
から選択する指定であることを特徴とする請求項１に記
載の半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法で
あって、これにより上記目的を達成するものである。
【０００９】本出願の請求項３の発明は、６面体の形状
指定が、直方体、直方体どうしをつなぐ形状の中から選
択する指定であることを特徴とする請求項２に記載の半
導体装置の電気的特性のシミュレーション方法であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
指定が、直方体、直方体どうしをつなぐ形状の中から選
択する指定であることを特徴とする請求項２に記載の半
導体装置の電気的特性のシミュレーション方法であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
【００１０】本出願の請求項４の発明は、シミュレート
する電気的特性が半導体装置の配線の電気的特性であ
り、シミュレートすべき配線の材質を示すデータと、該
配線の抵抗を示すデータと、配線の電極位置を指定する
データと、配線の形状を指定するデータと、配線間の関
係を示すデータを各々入力する工程を含むことを特徴と
する請求項１ないし３のいずれかに記載の半導体装置の
電気的特性のシミュレーション方法であって、これによ
り上記目的を達成するものである。
する電気的特性が半導体装置の配線の電気的特性であ
り、シミュレートすべき配線の材質を示すデータと、該
配線の抵抗を示すデータと、配線の電極位置を指定する
データと、配線の形状を指定するデータと、配線間の関
係を示すデータを各々入力する工程を含むことを特徴と
する請求項１ないし３のいずれかに記載の半導体装置の
電気的特性のシミュレーション方法であって、これによ
り上記目的を達成するものである。
【００１１】本出願の請求項５の発明は、半導体装置の
電気的特性をシミュレートするための必要な入力情報を
作成するシミュレーション用入力データ生成装置であっ
て、半導体装置の着目する部分の材質と、電気的特性
と、形状とを指定する工程を備えるとともに、該形状の
指定は、いくつかの選定した単純化した形状モデルの中
から選択して指定してシミュレーション用入力データと
するものであることを特徴とする半導体装置の電気的特
性のシミュレーション用入力データ生成装置であって、
これにより上記目的を達成するものである。
電気的特性をシミュレートするための必要な入力情報を
作成するシミュレーション用入力データ生成装置であっ
て、半導体装置の着目する部分の材質と、電気的特性
と、形状とを指定する工程を備えるとともに、該形状の
指定は、いくつかの選定した単純化した形状モデルの中
から選択して指定してシミュレーション用入力データと
するものであることを特徴とする半導体装置の電気的特
性のシミュレーション用入力データ生成装置であって、
これにより上記目的を達成するものである。
【００１２】本出願の請求項６の発明は、形状の指定
が、円錐台形状、６面体形状、スプーンカット形状の中
から選択する指定であることを特徴とする請求項５に記
載の半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力
データ生成装置であって、これにより上記目的を達成す
るものである。
が、円錐台形状、６面体形状、スプーンカット形状の中
から選択する指定であることを特徴とする請求項５に記
載の半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力
データ生成装置であって、これにより上記目的を達成す
るものである。
【００１３】本出願の請求項７の発明は、６面体の形状
指定が、直方体、直方体どうしをつなぐ形状の中から選
択する指定であることを特徴とする請求項６に記載の半
導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ
生成装置であって、これにより上記目的を達成するもの
である。
指定が、直方体、直方体どうしをつなぐ形状の中から選
択する指定であることを特徴とする請求項６に記載の半
導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ
生成装置であって、これにより上記目的を達成するもの
である。
【００１４】本出願の請求項８の発明は、シミュレート
する電気的特性が半導体装置の配線の電気的特性であ
り、シミュレートすべき配線の材質を示すデータと、該
配線の抵抗を示すデータと、配線の電極位置を指定する
データと、配線の形状を指定するデータと、配線間の関
係を示すデータを各々入力する工程を含むことを特徴と
する請求項５ないし７のいずれかに記載の半導体装置の
電気的特性のシミュレーション入力データ生成装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
する電気的特性が半導体装置の配線の電気的特性であ
り、シミュレートすべき配線の材質を示すデータと、該
配線の抵抗を示すデータと、配線の電極位置を指定する
データと、配線の形状を指定するデータと、配線間の関
係を示すデータを各々入力する工程を含むことを特徴と
する請求項５ないし７のいずれかに記載の半導体装置の
電気的特性のシミュレーション入力データ生成装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
【００１５】本発明において、材質は、その物体が何か
らできているかを示すデータである。電気的特性は、例
えばその材質の抵抗を示すデータ（誘電率や抵抗率）等
である。本発明では、かかる着目する部分の材質と電気
的特性を設定する。この場合、材質とその電気的特性で
ある誘電率（あるいは抵抗率）等は属性データベースに
予め書いておくことができ、ユーザはその値を使うこと
もできるし、自分の好きな値に任意に設定することも可
能である。
らできているかを示すデータである。電気的特性は、例
えばその材質の抵抗を示すデータ（誘電率や抵抗率）等
である。本発明では、かかる着目する部分の材質と電気
的特性を設定する。この場合、材質とその電気的特性で
ある誘電率（あるいは抵抗率）等は属性データベースに
予め書いておくことができ、ユーザはその値を使うこと
もできるし、自分の好きな値に任意に設定することも可
能である。
【００１６】次に、本発明における形状指定であるが、
これはいくつかの選定した単純化した形状モデルの中か
ら選択して指定する。代表的には、円錐台形状、６面体
形状、スプーンカット形状の中から選択する。本発明の
実施に際して、代表的には、扱える形状として、「６面
体形状」「円錐台（円柱を含む）形状」及び「スプーン
カット形状」の３種類を設定することができる。６面体
はさらに、直方体及び直方体どうしを繋ぐ形状の２種類
を設定できるように構成できる。
これはいくつかの選定した単純化した形状モデルの中か
ら選択して指定する。代表的には、円錐台形状、６面体
形状、スプーンカット形状の中から選択する。本発明の
実施に際して、代表的には、扱える形状として、「６面
体形状」「円錐台（円柱を含む）形状」及び「スプーン
カット形状」の３種類を設定することができる。６面体
はさらに、直方体及び直方体どうしを繋ぐ形状の２種類
を設定できるように構成できる。
【００１７】電気的特性（電気的属性）として指定し得
るものに、特に形状指定の６面体の場合には、属性とし
て指定し得るものとして、電極である旨の指定がある。
電極は一般に、立体のある面が持つ属性である。面の数
は複数であったり、さらに複数の立体にわたる場合もあ
る。よって、６面体の場合、そのある一つの面を「電
極」として指定でき、あるいはその２以上の面を「電
極」として指定できる。また本発明では、電気的特性と
して電極と接続関係の２つの属性を簡単に定義できるよ
うに構成できる。例えば、電極は「電極番号」という項
目で指定できる。
るものに、特に形状指定の６面体の場合には、属性とし
て指定し得るものとして、電極である旨の指定がある。
電極は一般に、立体のある面が持つ属性である。面の数
は複数であったり、さらに複数の立体にわたる場合もあ
る。よって、６面体の場合、そのある一つの面を「電
極」として指定でき、あるいはその２以上の面を「電
極」として指定できる。また本発明では、電気的特性と
して電極と接続関係の２つの属性を簡単に定義できるよ
うに構成できる。例えば、電極は「電極番号」という項
目で指定できる。
【００１８】直方体どうしを結ぶ６面体の定義は、結ぶ
べき２つの直方体の名前を指定することによって簡単に
設定できる。複雑な６面体は定義できないが、一般に半
導体装置の配線という用途に限定すれば、直線どうしを
結ぶ６面体が定義できればそれで十分である。
べき２つの直方体の名前を指定することによって簡単に
設定できる。複雑な６面体は定義できないが、一般に半
導体装置の配線という用途に限定すれば、直線どうしを
結ぶ６面体が定義できればそれで十分である。
【００１９】また、形状の重なりを指定できる。特定の
形状を組み合わせて全体形状を定義するという意味で、
これはＣＳＧ（Ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｖｅ Ｓｏｌｉｄ
Ｇｅｏｍｅｔｒｙ）といわれる方法である。ＣＳＧで
は、プリミティブ（原形状）を組み合わせる（重ねる）
際に、さまざまな形状演算（例えば加算、減算、乗算な
ど）を行わせるが、本発明では、入力順序に意味を持た
せ、「あとから定義した図形で置き換えられる」という
ただひとつのルールのみで定義することができる。半導
体装置の分野については、一般にはこのルールだけで十
分であり、操作がその分簡略化される。
形状を組み合わせて全体形状を定義するという意味で、
これはＣＳＧ（Ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｖｅ Ｓｏｌｉｄ
Ｇｅｏｍｅｔｒｙ）といわれる方法である。ＣＳＧで
は、プリミティブ（原形状）を組み合わせる（重ねる）
際に、さまざまな形状演算（例えば加算、減算、乗算な
ど）を行わせるが、本発明では、入力順序に意味を持た
せ、「あとから定義した図形で置き換えられる」という
ただひとつのルールのみで定義することができる。半導
体装置の分野については、一般にはこのルールだけで十
分であり、操作がその分簡略化される。
【００２０】形状のストアについては、直方体、直方体
を結ぶ６面体のテキストファイルとしての表現（シンタ
ックス）を用いることができる。形状は、形状入力モジ
ュール上で行うが、テキストエディタで直接作ったり、
編集したりすることも可能である。
を結ぶ６面体のテキストファイルとしての表現（シンタ
ックス）を用いることができる。形状は、形状入力モジ
ュール上で行うが、テキストエディタで直接作ったり、
編集したりすることも可能である。
【００２１】本発明の実施に際しては、メッシュ生成モ
ジュールを、以下のように利用できる。即ち、生成した
形状に従ってメッシュ切りを行う。このために用いるメ
ッシュ生成モジュール自体については、さまざまなツー
ルが市販されている。
ジュールを、以下のように利用できる。即ち、生成した
形状に従ってメッシュ切りを行う。このために用いるメ
ッシュ生成モジュール自体については、さまざまなツー
ルが市販されている。
【００２２】シミュレーションデータ作成モジュール
は、形状データ、属性データ、メッシュ切り結果を用い
て特定のシミュレータへの入力データを生成するための
モジュールである。
は、形状データ、属性データ、メッシュ切り結果を用い
て特定のシミュレータへの入力データを生成するための
モジュールである。
【００２３】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
て説明する。但し当然のことではあるが、本発明は以下
の実施例により限定を受けるものではない。
て説明する。但し当然のことではあるが、本発明は以下
の実施例により限定を受けるものではない。
【００２４】実施例１ この実施例は、本発明を、半導体装置の電気的特性をシ
ミュレートする際に用いるために必要な入力情報を作成
するシミュレーション用入力データ生成装置として具体
化したものであり、特に、半導体装置の配線に関するシ
ミュレーションを行うための構成としたものである。
ミュレートする際に用いるために必要な入力情報を作成
するシミュレーション用入力データ生成装置として具体
化したものであり、特に、半導体装置の配線に関するシ
ミュレーションを行うための構成としたものである。
【００２５】本実施例の全体構成を図１に示す。本実施
例のツールは、大きく３つのモジュールに分けることが
できる。形状入力モジュール１、メッシュ生成モジュー
ル２、シミュレーションデータ作成モジュール３の３つ
のモジュールである。
例のツールは、大きく３つのモジュールに分けることが
できる。形状入力モジュール１、メッシュ生成モジュー
ル２、シミュレーションデータ作成モジュール３の３つ
のモジュールである。
【００２６】本実施例においては、その形状入力モジュ
ール１において、半導体装置の着目する部分の材質と、
電気的特性と、形状とを指定する。ここで、形状の指定
は、いくつかの選定した単純化した形状モデルの中から
選択して指定する。
ール１において、半導体装置の着目する部分の材質と、
電気的特性と、形状とを指定する。ここで、形状の指定
は、いくつかの選定した単純化した形状モデルの中から
選択して指定する。
【００２７】本実施例では、形状の指定は、円錐台形状
（円柱を含む）、６面体形状、スプーンカット形状の中
から選択する指定である。
（円柱を含む）、６面体形状、スプーンカット形状の中
から選択する指定である。
【００２８】またこの場合の６面体の形状指定は、直方
体、直方体どうしをつなぐ形状の中から選択する指定で
ある。
体、直方体どうしをつなぐ形状の中から選択する指定で
ある。
【００２９】本実施例においては、シミュレートする電
気的特性は、半導体装置の配線の電気的特性である。よ
ってここでは、シミュレートすべき配線の材質を示すデ
ータと、該配線の抵抗を示すデータと、配線の電極位置
を指定するデータと、配線の形状を指定するデータと、
配線間の関係を示すデータを各々入力する。
気的特性は、半導体装置の配線の電気的特性である。よ
ってここでは、シミュレートすべき配線の材質を示すデ
ータと、該配線の抵抗を示すデータと、配線の電極位置
を指定するデータと、配線の形状を指定するデータと、
配線間の関係を示すデータを各々入力する。
【００３０】メッシュ生成モジュール２は、ここでは、
着目する部分を分割して、計算位置を定めるものであ
る。計算位置は、メッシュ切りした交点位置で与えられ
る。よって、メッシュ生成により交点位置を決めること
により、計算位置が定められる。
着目する部分を分割して、計算位置を定めるものであ
る。計算位置は、メッシュ切りした交点位置で与えられ
る。よって、メッシュ生成により交点位置を決めること
により、計算位置が定められる。
【００３１】シミュレーションデータ生成モジュール３
は、与えられたデータから、シミュレーションのために
必要なデータを生成する。
は、与えられたデータから、シミュレーションのために
必要なデータを生成する。
【００３２】図１中の符号５は、得られたシミュレーシ
ョン用入力データを示すものである。このデータ５をシ
ミュレータに入れて、最終的なシミュレーション結果を
得るために用いるものである。
ョン用入力データを示すものである。このデータ５をシ
ミュレータに入れて、最終的なシミュレーション結果を
得るために用いるものである。
【００３３】形状入力モジュール１において入力された
形状データ、その他の電気的特性（属性）のデータ等
は、データストア４にストアしておくことができる。
形状データ、その他の電気的特性（属性）のデータ等
は、データストア４にストアしておくことができる。
【００３４】図２に本実施例を用いてユーザが行う処理
の流れを示す。各ステップ〜は各モジュール１〜３
に対応している。 形状入力モジュールを用いてシミュレーション対象の
形状及び材質、電気的特性である属性を入力する。 これをメッシュ切りする。 用いるシミュレータに応じたデータを生成する。
の流れを示す。各ステップ〜は各モジュール１〜３
に対応している。 形状入力モジュールを用いてシミュレーション対象の
形状及び材質、電気的特性である属性を入力する。 これをメッシュ切りする。 用いるシミュレータに応じたデータを生成する。
【００３５】メッシュ生成モジュール２、シミュレーシ
ョンデータ作成モジュール３は、それぞれ部品として置
き換えることが可能である。
ョンデータ作成モジュール３は、それぞれ部品として置
き換えることが可能である。
【００３６】即ち、シミュレーションデータ作成モジュ
ール３を置き換えることによって、ひとつの形状・属性
データから、さまざまなシミュレータに対応したデータ
を生成することができる。
ール３を置き換えることによって、ひとつの形状・属性
データから、さまざまなシミュレータに対応したデータ
を生成することができる。
【００３７】またメッシュ生成モジュールを置き換える
ことによって、やはりひとつの形状・属性データから、
さまざまなメッシュ切りを行わせることが可能である。
ことによって、やはりひとつの形状・属性データから、
さまざまなメッシュ切りを行わせることが可能である。
【００３８】次に、本実施例の形状入力モジュール１に
ついて説明する。ここで扱える形状は、「６面体形状」
「円錐台（円柱を含む）形状」及び「スプーンカット形
状」の３種類である。スプーンカット形状については、
扱わない構成にしてもよい。ここで６面体は、さらに２
種類に分けられる。 直方体 直方体どうしをつなぐ形状
ついて説明する。ここで扱える形状は、「６面体形状」
「円錐台（円柱を含む）形状」及び「スプーンカット形
状」の３種類である。スプーンカット形状については、
扱わない構成にしてもよい。ここで６面体は、さらに２
種類に分けられる。 直方体 直方体どうしをつなぐ形状
【００３９】これらの形状の例を図３ないし図５に示
す。即ち、図３に円錐形状（テーパ形状。上面と下面と
が同じ大きさの円の場合円柱形として指定できる）を示
し、図４に６面体（直方体及び直方体どうしをつなぐ６
面体）を示し、図５にスプーンカット形状を示す）。
す。即ち、図３に円錐形状（テーパ形状。上面と下面と
が同じ大きさの円の場合円柱形として指定できる）を示
し、図４に６面体（直方体及び直方体どうしをつなぐ６
面体）を示し、図５にスプーンカット形状を示す）。
【００４０】一般に、半導体装置のシミュレーションで
は上記種類の程度の形状さえ使えれば十分であり、指定
すべき内容がその分少なくて済む。
は上記種類の程度の形状さえ使えれば十分であり、指定
すべき内容がその分少なくて済む。
【００４１】次に、形状と属性（材質、電気的特性）の
定義方法について述べる。
定義方法について述べる。
【００４２】ユーザは、上記した形状を組み合わせて必
要な部品を構成するわけであるが、本実施例では形状の
編集は、形状入力モジュール上で行う。
要な部品を構成するわけであるが、本実施例では形状の
編集は、形状入力モジュール上で行う。
【００４３】図６は、本実施例において形状入力モジュ
ールを用いた形状の編集場面の例である。図６に符号６
で示すのは、エディタパネルとよばれ、形状をテキスト
で表現した一覧表である。符号７は画面上の形状表示で
あり、上記エディタパネル６に対応した実際の形状が具
体的に画面上に表示される。符号８は形状編集用パネル
であり、これはエディタパネル６に並んでいる形状のひ
とつを編集するためのパネルである。
ールを用いた形状の編集場面の例である。図６に符号６
で示すのは、エディタパネルとよばれ、形状をテキスト
で表現した一覧表である。符号７は画面上の形状表示で
あり、上記エディタパネル６に対応した実際の形状が具
体的に画面上に表示される。符号８は形状編集用パネル
であり、これはエディタパネル６に並んでいる形状のひ
とつを編集するためのパネルである。
【００４４】図示の例では、テーパ（円錐形。具体的に
は円柱状の接続孔）の形状と属性を編集するためのパネ
ルを示す。但し、そのほかの形状についても同様な方法
で簡単にデータを書き込んで、形状の変化をすぐに確か
められる。
は円柱状の接続孔）の形状と属性を編集するためのパネ
ルを示す。但し、そのほかの形状についても同様な方法
で簡単にデータを書き込んで、形状の変化をすぐに確か
められる。
【００４５】符号７で示した形状表示について述べれ
ば、符号７１は例えば第１層Ａｌ配線を示すために指定
された直方体であり、その一端面７２と上面７３とが電
極（接続をとる部分）として属性が付与される。符号７
４は、配線どうしの接続をとるための接続孔を示すため
に指定された円柱形で、その上下面が電極として属性が
付与される。符号７５で示すのは、第２層Ａｌ配線を示
すために指定された直方体であって、これは接続孔（接
続プラグ）を示す円柱形７４によって、第１層Ａｌ配線
を示す直方体７１と接続される形になっている。
ば、符号７１は例えば第１層Ａｌ配線を示すために指定
された直方体であり、その一端面７２と上面７３とが電
極（接続をとる部分）として属性が付与される。符号７
４は、配線どうしの接続をとるための接続孔を示すため
に指定された円柱形で、その上下面が電極として属性が
付与される。符号７５で示すのは、第２層Ａｌ配線を示
すために指定された直方体であって、これは接続孔（接
続プラグ）を示す円柱形７４によって、第１層Ａｌ配線
を示す直方体７１と接続される形になっている。
【００４６】パネル８には、直方体テーパ、スプーンと
いった、指定できる形状の表示があり、更に名前が表示
できるようになっている。図示のパネル８は、テーパ
（円錐）形状を指定するための描写パネルであるので、
上面の半径、下面の半径、高さ、及び中心のＸＹ座標、
上面のＺ座標、及び切り方の指定であるＸ，Ｙ，Ｚのメ
ッシュの指定が表示されている。また、材質（ここでは
Ｔｉを指定）、及びその電気的特性（属性）である抵抗
の指定がなされている。
いった、指定できる形状の表示があり、更に名前が表示
できるようになっている。図示のパネル８は、テーパ
（円錐）形状を指定するための描写パネルであるので、
上面の半径、下面の半径、高さ、及び中心のＸＹ座標、
上面のＺ座標、及び切り方の指定であるＸ，Ｙ，Ｚのメ
ッシュの指定が表示されている。また、材質（ここでは
Ｔｉを指定）、及びその電気的特性（属性）である抵抗
の指定がなされている。
【００４７】パネル８での指定（編集）は、一応データ
ベースによる指定で行うことができるが、更に任意に指
定を変えることができる。
ベースによる指定で行うことができるが、更に任意に指
定を変えることができる。
【００４８】上記指定（編集）における、材質の指定
は、その物体が何からできているか、即ち着目する部分
（図示例では接続孔内の物体）の材料が何かという指定
である。また、電気的材質としてのその材質の誘電率や
抵抗率を設定する。材質とその誘電率（あるいは抵抗
率）は属性データベースに書いてあるので、ユーザはそ
の値を使うこともできるし、自分の好きな値に設定する
ことも可能である。
は、その物体が何からできているか、即ち着目する部分
（図示例では接続孔内の物体）の材料が何かという指定
である。また、電気的材質としてのその材質の誘電率や
抵抗率を設定する。材質とその誘電率（あるいは抵抗
率）は属性データベースに書いてあるので、ユーザはそ
の値を使うこともできるし、自分の好きな値に設定する
ことも可能である。
【００４９】６面体の場合には指定すべき属性として、
他に電極がある。電極は立体のある面が持つ属性であ
る。面の数は複数であったり、さらに複数の立体にわた
る場合もある。ここでは電極と接続関係の２つの属性を
簡単に定義できるようにしている。即ち、図６で言え
ば、直方体７１の面７２，７３が電極であり、電極７３
は円柱７４の下面と接続するものである旨が指定でき
る。電極はここでは「電極番号」という項目で指定す
る。
他に電極がある。電極は立体のある面が持つ属性であ
る。面の数は複数であったり、さらに複数の立体にわた
る場合もある。ここでは電極と接続関係の２つの属性を
簡単に定義できるようにしている。即ち、図６で言え
ば、直方体７１の面７２，７３が電極であり、電極７３
は円柱７４の下面と接続するものである旨が指定でき
る。電極はここでは「電極番号」という項目で指定す
る。
【００５０】直方体どうしを結ぶ６面の定義は、結ぶべ
き２つの直方体の名前を指定することによって簡単に設
定できる。これを図７に示す。複雑な６面体は定義でき
ないが、半導体装置の配線という用途に限定すれば十分
である。
き２つの直方体の名前を指定することによって簡単に設
定できる。これを図７に示す。複雑な６面体は定義でき
ないが、半導体装置の配線という用途に限定すれば十分
である。
【００５１】図７を参照して、６面体の定義について説
明する。図７に符号（イ）で示すｓｈａｐｅ：ｓｌａｎ
ｔというのは、斜め配線であることを示している。図示
例の場合、ｎａｍｅ００２という直方体と、ｎａｍｅ０
０３という直方体とをつないでｎａｍｅ００４という６
面体を指定する。図７中に符号（ロ）で示すように、こ
の指定において、ｙｚ面のｘの値の大きいほうに００
２、小さいほうに００３という名前の形状が接続してい
る旨が定められている。何も書かないと電極であるとい
う指定になる。
明する。図７に符号（イ）で示すｓｈａｐｅ：ｓｌａｎ
ｔというのは、斜め配線であることを示している。図示
例の場合、ｎａｍｅ００２という直方体と、ｎａｍｅ０
０３という直方体とをつないでｎａｍｅ００４という６
面体を指定する。図７中に符号（ロ）で示すように、こ
の指定において、ｙｚ面のｘの値の大きいほうに００
２、小さいほうに００３という名前の形状が接続してい
る旨が定められている。何も書かないと電極であるとい
う指定になる。
【００５２】次に、スプーンカット形状の指定について
図８を参照して説明する。図８に符号（ハ）で示すｓｐ
ｏｏｎは、スプーンカット形状であることを示す。
（ニ）は、球の中心ｚ座標値を指定する。（ホ）は、中
心軸の上端のｘ，ｙ，ｚ各座標値である。（ヘ）は、球
の半径の指定、（ト）は、円柱の半径の指定である。
図８を参照して説明する。図８に符号（ハ）で示すｓｐ
ｏｏｎは、スプーンカット形状であることを示す。
（ニ）は、球の中心ｚ座標値を指定する。（ホ）は、中
心軸の上端のｘ，ｙ，ｚ各座標値である。（ヘ）は、球
の半径の指定、（ト）は、円柱の半径の指定である。
【００５３】以上の指定につき、まとめて、形状指定の
ストアのフォーマットについて述べる。上から見た図が
図９のような場合について説明する。テキストデータは
下記のように表示される。
ストアのフォーマットについて述べる。上から見た図が
図９のような場合について説明する。テキストデータは
下記のように表示される。
【００５４】 ｘ１０ −− ｎａｍｅ：００１ ｓｈａｐｅ：ｃｕｂｅ ｃｏｎｔａｃｔ：１ ｒａｗ：ＳｉＯ2 ｗ：８．０ ｄ：６．０ ｈ：２．０ ｕｌｅｆｔ ｘ：０ ｕｌｅｆｔ ｙ：０ ｔｏｐ：２．０ ｘｍｅｓｈ：８ ｙｍｅｓｈ：８ ｚｍｅｓｈ：８ ｘｍｓ ｆｃ：ＦＩＮＥＴＯＣ ｙｍｓ ｆｃ：ＣＯＡＲＳＥＴＯＦ ｚｍｓ ｆｃ：ＦＴＯＣＴＯＦ ｘ＋：ｎｏ ｘ−：ｎｏ −−
【００５５】上記テキストデータの主要なものの意味
は、次のとおりである。
は、次のとおりである。
【００５６】「ｘ１０」は、シミュレーション時に大き
さを１０倍にすることを示す（何も書かなければｘ１で
ある）。「ｓｈａｐｅ：ｃｕｂｅ」は、形状が直方体で
あることを示す。「ｃｏｎｔａｃｔ：１」は電極番号で
ある。「ｒａｗ：ＳｉＯ2 」は材質を示す。ｗ，ｄ，ｈ
はそれぞれ幅、奥行き、高さを示す。「ｕｌｅｆｔ
ｘ：０」「ｕｌｅｆｔ ｙ：０」は、何も書かれなけれ
ば０である。「ｔｏｐ：２．０」は、上面のｚ座標値を
示している。「ｘｍｅｓｈ：８」「ｙｍｅｓｈ：８」
「ｚｍｅｓｈ：８」は、メッシュの切り方を示す。何も
書かなければ均一である。「ｘｍｓ ｆｃ：ＦＩＮＥＴ
ＯＣ」は、ｘ方向に粗くなることを示し、「ｙｍｓ ｆ
ｃ：ＣＯＡＲＳＥＴＯＦ」は、ｙ方向に細かくなること
を示し、「ｚｍｓ ｆｃ：ＦＴＯＣＴＯＦ」は、ｚ方向
の両端が細かく中央が粗いことを示すもので、メッシュ
の指定であり、「ｘ＋：ｎｏ」は各断面の情報であり、
「ｘ−：ｎｏ」は、ｎｏで電極がついていないことを示
す。「−−」は、ｃｏｎｔａｃｔ即ち電極であることを
示す。
さを１０倍にすることを示す（何も書かなければｘ１で
ある）。「ｓｈａｐｅ：ｃｕｂｅ」は、形状が直方体で
あることを示す。「ｃｏｎｔａｃｔ：１」は電極番号で
ある。「ｒａｗ：ＳｉＯ2 」は材質を示す。ｗ，ｄ，ｈ
はそれぞれ幅、奥行き、高さを示す。「ｕｌｅｆｔ
ｘ：０」「ｕｌｅｆｔ ｙ：０」は、何も書かれなけれ
ば０である。「ｔｏｐ：２．０」は、上面のｚ座標値を
示している。「ｘｍｅｓｈ：８」「ｙｍｅｓｈ：８」
「ｚｍｅｓｈ：８」は、メッシュの切り方を示す。何も
書かなければ均一である。「ｘｍｓ ｆｃ：ＦＩＮＥＴ
ＯＣ」は、ｘ方向に粗くなることを示し、「ｙｍｓ ｆ
ｃ：ＣＯＡＲＳＥＴＯＦ」は、ｙ方向に細かくなること
を示し、「ｚｍｓ ｆｃ：ＦＴＯＣＴＯＦ」は、ｚ方向
の両端が細かく中央が粗いことを示すもので、メッシュ
の指定であり、「ｘ＋：ｎｏ」は各断面の情報であり、
「ｘ−：ｎｏ」は、ｎｏで電極がついていないことを示
す。「−−」は、ｃｏｎｔａｃｔ即ち電極であることを
示す。
【００５７】次に、形状の重なりについて説明すれば、
特定の形状を組み合わせて全体形状を定義するという意
味で、これはＣＳＧでは、プリミティブを組み合わせる
（重ねる）際に、さまざまな形状演算（例えば加算、減
算、乗算など）を行わせるが、ここでは入力順序に意味
を持たせ、「あとから定義した図形で置き換える」とい
うただひとつのルールのみを持つ。このルールだけで十
分であり、操作がその分簡略化される。
特定の形状を組み合わせて全体形状を定義するという意
味で、これはＣＳＧでは、プリミティブを組み合わせる
（重ねる）際に、さまざまな形状演算（例えば加算、減
算、乗算など）を行わせるが、ここでは入力順序に意味
を持たせ、「あとから定義した図形で置き換える」とい
うただひとつのルールのみを持つ。このルールだけで十
分であり、操作がその分簡略化される。
【００５８】形状のストアについては、本実施例では、
例えば直方体、直法体を結ぶ６面体のテキストファイル
としての表現（シンタックス）である。形状は、形状入
力モジュール上で行うが、テキストエディタで直接作っ
たり編集したりしたりも可能である。
例えば直方体、直法体を結ぶ６面体のテキストファイル
としての表現（シンタックス）である。形状は、形状入
力モジュール上で行うが、テキストエディタで直接作っ
たり編集したりしたりも可能である。
【００５９】本実施例でのメッシュ生成モジュールにつ
いては、生成した形状に従ってメッシュ切りを行うこと
ができるものであればよい。メッシュ生成モジュール自
体はさまざまなツールが市販されている。
いては、生成した形状に従ってメッシュ切りを行うこと
ができるものであればよい。メッシュ生成モジュール自
体はさまざまなツールが市販されている。
【００６０】シミュレーションデータ作成モジュールに
ついては、形状データ、属性データ、メッシュ切りの結
果を用いて、特定のシミュレータへの入力データを生成
するためのモジュールとして構成できる。
ついては、形状データ、属性データ、メッシュ切りの結
果を用いて、特定のシミュレータへの入力データを生成
するためのモジュールとして構成できる。
【００６１】
【発明の効果】上記詳述したように、本発明によれば、
半導体装置の配線の容量、電流密度等のシミュレーショ
ンについて、必要なデータを容易に、例えば画面を見な
がら簡単に取り込め、さらにさまざまなシミュレータの
入力データとして再利用可能で、作成データが正確であ
り、作業時間の短縮が可能でもある半導体装置の電気的
特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特
性のシミュレーション用入力データ生成装置を提供する
ことができた。
半導体装置の配線の容量、電流密度等のシミュレーショ
ンについて、必要なデータを容易に、例えば画面を見な
がら簡単に取り込め、さらにさまざまなシミュレータの
入力データとして再利用可能で、作成データが正確であ
り、作業時間の短縮が可能でもある半導体装置の電気的
特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特
性のシミュレーション用入力データ生成装置を提供する
ことができた。
【図１】実施例１の半導体装置の電気的特性のシミュレ
ーション用入力データ生成装置の全体構成を示す図であ
る。
ーション用入力データ生成装置の全体構成を示す図であ
る。
【図２】実施例１における処理の流れを示す図である。
【図３】実施例１において指定できる形状例を示す図で
ある（円錐形）。
ある（円錐形）。
【図４】実施例１において指定できる形状例を示す図で
ある（６面体）。
ある（６面体）。
【図５】実施例１において指定できる形状例を示す図で
ある（スプーンカット形状）。
ある（スプーンカット形状）。
【図６】実施例１における形状の編集画面を示す図であ
る。
る。
【図７】実施例１における６面体の指定を説明する図で
ある。
ある。
【図８】実施例１におけるスプーンカット形状の指定を
説明する図である。
説明する図である。
【図９】実施例１における図形指定のフォーマットの説
明図である。
明図である。
１ 形状入力モジュール ２ メッシュ生成モジュール ３ シミュレーションデータ生成モジュール ４ 形状データのストア ５ シミュレーション用入力データ
Claims (8)
- 【請求項１】半導体装置の電気的特性をシミュレートす
るシミュレーション方法において、 半導体装置の着目する部分の材質と、電気的特性と、形
状とを指定する工程を備えるとともに、 該形状の指定は、いくつかの選定した単純化した形状モ
デルの中から選択して指定するものであることを特徴と
する半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法。 - 【請求項２】形状の指定が、円錐台形状、６面体形状、
スプーンカット形状の中から選択する指定であることを
特徴とする請求項１に記載の半導体装置の電気的特性の
シミュレーション方法。 - 【請求項３】６面体の形状指定が、直方体、直方体どう
しをつなぐ形状の中から選択する指定であることを特徴
とする請求項２に記載の半導体装置の電気的特性のシミ
ュレーション方法。 - 【請求項４】シミュレートする電気的特性が半導体装置
の配線の電気的特性であり、 シミュレートすべき配線の材質を示すデータと、該配線
の抵抗を示すデータと、配線の電極位置を指定するデー
タと、配線の形状を指定するデータと、配線間の関係を
示すデータを各々入力する工程を含むことを特徴とする
請求項１ないし３のいずれかに記載の半導体装置の電気
的特性のシミュレーション方法。 - 【請求項５】半導体装置の電気的特性をシミュレートす
るための必要な入力情報を作成するシミュレーション用
入力データ生成装置であって、 半導体装置の着目する部分の材質と、電気的特性と、形
状とを指定する工程を備えるとともに、 該形状の指定は、いくつかの選定した単純化した形状モ
デルの中から選択して指定してシミュレーション用入力
データとするものであることを特徴とする半導体装置の
電気的特性のシミュレーション用入力データ生成装置。 - 【請求項６】形状の指定が、円錐台形状、６面体形状、
スプーンカット形状の中から選択する指定であることを
特徴とする請求項５に記載の半導体装置の電気的特性の
シミュレーション用入力データ生成装置。 - 【請求項７】６面体の形状指定が、直方体、直方体どう
しをつなぐ形状の中から選択する指定であることを特徴
とする請求項６に記載の半導体装置の電気的特性のシミ
ュレーション用入力データ生成装置。 - 【請求項８】シミュレートする電気的特性が半導体装置
の配線の電気的特性であり、 シミュレートすべき配線の材質を示すデータと、該配線
の抵抗を示すデータと、配線の電極位置を指定するデー
タと、配線の形状を指定するデータと、配線間の関係を
示すデータを各々入力する工程を含むことを特徴とする
請求項５ないし７のいずれかに記載の半導体装置の電気
的特性のシミュレーション入力データ生成装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25954594A JPH0897215A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ生成装置 |
| KR1019950031292A KR960012280A (ko) | 1994-09-29 | 1995-09-22 | 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션방법 및 반도체장치의 전기적 특성의 시뮬레이션용 입력데이터 생성장치 |
| US08/533,939 US6446033B1 (en) | 1994-09-29 | 1995-09-26 | Method for simulating electrical characteristics of electronic device |
| DE69527754T DE69527754D1 (de) | 1994-09-29 | 1995-09-29 | Verfahren und Gerät zur Simulation der elektrischen Eigenschaften einer elektronischen Einrichtung |
| EP95402183A EP0704811B1 (en) | 1994-09-29 | 1995-09-29 | Method and apparatus for use in simulation of electrical characteristics of electronic device |
| AT95402183T ATE222385T1 (de) | 1994-09-29 | 1995-09-29 | Verfahren und gerät zur simulation der elektrischen eigenschaften einer elektronischen einrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25954594A JPH0897215A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897215A true JPH0897215A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=17335603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25954594A Pending JPH0897215A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 半導体装置の電気的特性のシミュレーション方法及び半導体装置の電気的特性のシミュレーション用入力データ生成装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6446033B1 (ja) |
| EP (1) | EP0704811B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0897215A (ja) |
| KR (1) | KR960012280A (ja) |
| AT (1) | ATE222385T1 (ja) |
| DE (1) | DE69527754D1 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5815154A (en) * | 1995-12-20 | 1998-09-29 | Solidworks Corporation | Graphical browser system for displaying and manipulating a computer model |
| US6219055B1 (en) * | 1995-12-20 | 2001-04-17 | Solidworks Corporation | Computer based forming tool |
| JPH1056166A (ja) * | 1996-08-12 | 1998-02-24 | Sony Corp | 半導体シミュレーション方法 |
| JP2972654B2 (ja) * | 1997-05-27 | 1999-11-08 | 日本電気株式会社 | 有限要素法におけるデータ作成計算装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| JP2002092414A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Saga Sanyo Industries Co Ltd | 電子部品の機種選択方法および電子部品メーカ・サーバ |
| US8299808B2 (en) * | 2005-03-18 | 2012-10-30 | Troxler Electronic Laboratories Inc. | Apparatuses and systems for density gauge calibration and reference emulation |
| DE102005060557A1 (de) * | 2005-10-17 | 2007-04-19 | Daimlerchrysler Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Simulation einer Fügeverbindung |
| US9972128B2 (en) | 2012-07-20 | 2018-05-15 | The University Of British Columbia | Methods and systems for generating polycubes and all-hexahedral meshes of an object |
| CA2925435A1 (en) | 2013-11-04 | 2015-05-07 | The University Of British Columbia | Methods and systems for generating polycube segmentations from input meshes of objects |
| US10210657B2 (en) | 2015-07-24 | 2019-02-19 | The University Of British Columbia | Methods and systems for hex-mesh optimization via edge-cone rectification |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US5278770A (en) * | 1990-06-25 | 1994-01-11 | Brooklin J. Gore | Method for generating input data for an electronic circuit simulator |
| IE69192B1 (en) | 1990-12-21 | 1996-08-21 | Hitachi Europ Ltd | A method of generating partial differential equations for simulation a simulation method and a method of generating simulation programs |
| JP2851447B2 (ja) * | 1991-03-08 | 1999-01-27 | 三菱電機株式会社 | 形状シミュレーション方法 |
| EP0597087B1 (en) * | 1992-06-02 | 1999-07-28 | Hewlett-Packard Company | Computer-aided design method for multilevel interconnect technologies |
| JP3111763B2 (ja) * | 1993-08-05 | 2000-11-27 | 松下電器産業株式会社 | 高能率伝送方法 |
| US5579249A (en) * | 1993-11-01 | 1996-11-26 | Texas Instruments Incorporated | System for modeling an integrated chip package and method of operation |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP25954594A patent/JPH0897215A/ja active Pending
-
1995
- 1995-09-22 KR KR1019950031292A patent/KR960012280A/ko not_active Application Discontinuation
- 1995-09-26 US US08/533,939 patent/US6446033B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-29 EP EP95402183A patent/EP0704811B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-29 DE DE69527754T patent/DE69527754D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-29 AT AT95402183T patent/ATE222385T1/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69527754D1 (de) | 2002-09-19 |
| EP0704811A3 (en) | 1996-09-04 |
| US6446033B1 (en) | 2002-09-03 |
| EP0704811A2 (en) | 1996-04-03 |
| ATE222385T1 (de) | 2002-08-15 |
| EP0704811B1 (en) | 2002-08-14 |
| KR960012280A (ko) | 1996-04-20 |
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