KR960002612A - 폴리실리콘막 세정방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 실리사이드막 또는 전이금속막을 제조하기 전에 폴리실리콘막을 세정함으로써 실리사이드막 또는 전이금속막 형성 후의 잔류 자연산화막에 의한 필링현상 및 불순물입자 오염 등을 방지하기 위한 폴리실리콘막 세정방법에 관한 것으로 폴리실리콘막을 불산용액을 사용하여 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 불산, 질산, 초산 및 초순수 혼합용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 수산화암모늄, 과산화수소 및 초순수 혼합용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 불산용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척한 후 건조시키는 단계; 소정의 전이금속막을 형성하여 실리사이드막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (6)
- 반도체 소자 제조시 폴리실리콘막 상부에 실리사이드막을 형성하기 전 폴리실리콘막 세정방법에 있어서, 폴리실리콘막을 불산용액을 사용하여 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 불산, 질산, 초산 및 초순수 혼합용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 수산화암모늄, 과산화수소 및 초순수 혼합용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 불산용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척한 후 건조시키는 단계; 소정의 전이금속막을 형성하여 실리사이드막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘막 세정방법.
- 제1항에 있어서, 불산:질산:초산:초순수는 1:5:5:10의 비율로 혼합된 혼합용액인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘막 세정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 수산화암모늄:과산화수소:초순수는 1:1:5의 비율로 혼합된 혼합용액인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘막 세정방법.
- 반도체 소자 제조시 폴리실리콘막 상부에 실리사이드막을 형성하기 전 폴리실리콘막 세정방법에 있어서, 폴리실리콘막을 불산용액을 사용하여 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 불산, 질산 및 초순수 혼합용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 수산화암모늄, 과산화수소 및 초순수 혼합용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척하는 단계; 불산용액을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 세정하고 초순수로 세척한 후 건조시키는 단계; 소정의 전이금속막을 형성하여 실리사이드막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘막 세정방법.
- 제4항에 있어서, 불산:질산:초순수는 1:1:10의 비율로 혼합된 혼합용액인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘막 세정방법.
- 제4항에 있어서, 상기 수산화암모늄:과산화수소:초순수는 1:1:10의 비율로 혼합된 혼합용액인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘막 세정방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940015285A KR960002612A (ko) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 폴리실리콘막 세정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940015285A KR960002612A (ko) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 폴리실리콘막 세정방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR960002612A true KR960002612A (ko) | 1996-01-26 |
Family
ID=66688878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940015285A KR960002612A (ko) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 폴리실리콘막 세정방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960002612A (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100827684B1 (ko) * | 2001-10-30 | 2008-05-07 | 에이펫(주) | 반도체 소자의 세정액 및 이를 이용한 세정 방법 |
KR20180054598A (ko) * | 2015-09-16 | 2018-05-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치 및 기억 매체 |
-
1994
- 1994-06-29 KR KR1019940015285A patent/KR960002612A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100827684B1 (ko) * | 2001-10-30 | 2008-05-07 | 에이펫(주) | 반도체 소자의 세정액 및 이를 이용한 세정 방법 |
KR20180054598A (ko) * | 2015-09-16 | 2018-05-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치 및 기억 매체 |
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