KR960002528A - 유도성으로 연결된 고밀도 플라즈마 반응기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 가스를 함유할 수 있고 내부에 웨이퍼를 보유할 수 있는 진공챔버를 포함하는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기를 제공하려는 것이다. 본 발명에 따른 플라즈마 반응기는 또한, RF 안테나, 상기 RF 안테나에 RF 전력을 공급하기 위한 RF 전력원, 및 상기 RF 전력원과 상기 RF 코일 안테나 사이의 용량성 연결을 줄이기 위해서 상기 RF 전력원으로부터 상기 RF 안테나를 전기적으로 절연시키기 위한 절연수단을 포함한다. 바람직하게도, RF 코일 안테나를 절연시키기 위한 수단은 상기 RF 전력원을 가로질러서 연결된 제1권선 및 상기 RF 안테나를 가로질러서 연결된 제2권선을 갖는 변압기로 이루어져 있다. 바람직하게도, 플라즈마 반응기는 다수의 층을 갖는 도전성 패러데이(Faraday) 차폐물을 더 포함하며, 상기 페러데이 차폐물은 상기 RF 안테나와 상기 진공챔버 사이에 배치되어 있고, 와류전류 억제용 구멍을 갖추고 있으며, 상기 와류전류 억제용 구멍은 패러데이 차폐물의 인접한 층에서 상기 패러데이 차폐물의 도전부를 지향하는 상기 패러데이 차폐물의 각각의 층에 형성되어 있다. 진공챔버의 천정은 가스 분배 다기관으로서 기능한다. 천정의 내부층은 상기 가스분해 다기관의 샤워헤드이다.

Description

유도성으로 연결된 고밀도 플라즈마 반응기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기의 개략적인 다이어그램,
제2도는 제1도의 실시예에 채용된 패러데이 차폐물 및 가스 분배장치의 확대 사시도,
제3도는 제2도에 도시된 가스 분배장치의 저면도.

Claims (19)

  1. 플라즈마 가스를 함유할 수 있고 내부에 웨이퍼를 보유할 수 있는 진공챔버를 포함하는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기로서, RF 안테나 및 상기 RF 안테나에 RF 전력을 공급하기 위한 RF 전력원, 및 상기 RF 전력원에 대하여 상기 RF 안테나를 전기적으로 절연시키기 위한 절연수단을 포함하는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 절연수단은 상기 RF 전력원을 가로질러서 연결된 제1권선 및 상기 RF 안테나를 가로질러서 연결된 제2권선을 갖는 변압기로 이루어져 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  3. 제1항에 있어서, 다수의 층을 갖는 도전성 패러데이(Faraday) 차폐물을 더 포함하며, 상기 패러데이 차폐물은 상기 RF 안테나와 상기 진공챔버 사이에 배치되어 있고, 와류전류 억제용 개구부들을 갖추고 있으며, 상기 와류전류 억제용 개구부들은 상기 패러데이 차폐물의 인접한 층에서 상기 패러데이 차폐물의 도전부들을 지향하는 상기 패러데이 차폐물의 각각의 층에 형성되어 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  4. 제3항에 있어서, 상기 진공챔버를 덮는 천정 및 상기 천정의 내부면상에 형성된 가스 분배 다기관을 더 포함하며, 상기 RF 안테나는 상기 친정에 인접하여 배치되어 있고, 상기 패러데이 차폐물은 상기 RF 안테나와 상기 진공챔버의 상기 천정 사이에 위치되어 있으며, 상기 천정에는 상기 진공챔버의 내부를 지향하는 가스 분배용 오리피스가 구비되어 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  5. 제4항에 있어서, 상기 천정은 상기 진공챔버의 내부를 지향하는 오목면을 갖춘 돔형상을 가지며, 상기 RF 안테나는 돔형상의 상기 천정 주위로 나선형으로 코일이 감겨진 전도체로 이루어져 있고, 상기 와류전류 억제용 개구부들은 상기 전도체에 대하여 수직하게 놓여 있으며, 상기 패러데이 차폐물은 상기 천정의 상기 돔형상에 부합하는 돔형상의 도전성 시이트로 이루어져 있고, 상기 가스 분배용 오리피스는 상기 천정의 상기 돔형상에 부합하는 돔형상을 가지며, 상기 가스 분배 다기관, 상기 패러데이 차폐물, 상기 RF 안테나 및 상기 천정이 함께 하나의 유니트를 이루고 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  6. 제5항에 있어서, 상기 패러데이 차폐물은 한쌍의 얇은 도전성 돔형상 시이트로 이루어져 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  7. 플라즈마 가스를 함유할 수 있고 내부에 웨이퍼를 보유할 수 있는 진공챔버를 포함하는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기로서, (a) 상기 진공챔버에 인접하게 위치하고 RF 전력원에 연결되기에 적합하며 상기 진공챔버의 내부를 비출 수 있는 RF 안테나, 및 (b) 다수의 층들을 가지며 상기 RF 안테나와 상기 진공챔버 사이에 배치되고 와류전류 억제용 개구부들을 갖추고 있는 도전성 패러데이 차폐물로서, 상기 와류전류 억제용 개구부들은 상기 패러데이 차폐물의 인접한 층에서 상기 패러데이 차폐물의 도전부를 지향하는 상기 패러데이 차폐물의 각각의 층에 형성되어 있는, 패러데이 차폐물을 포함하는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  8. 제7항에 있어서, 상기 진공챔버를 덮는 천정 및 상기 천정의 내부면상에 형성된 가스 분배 다기관을 더 포함하며, 상기 RF 안테나는 상기 천정에 인접하여 배치되어 있고, 상기 패러데이 차폐물은 상기 RF 안테나와 상기 진공챔버의 상기 천정 사이에 위치되어 있으며, 상기 천정에는 상기 진공챔버의 내부를 지향하는 가스 분배용 오리피스가 구비되어 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  9. 제8항에 있어서, 상기 천정은 상기 진공챔버의 내부를 지향하는 오목면을 갖춘 돔형상을 가지며, 상기 RF 안테나는 돔형상의 상기 천정주위로 나선형으로 코일이 감겨진 전도체로 이루어져 있고, 상기 와류전류 억제용 개구부들은 상기 전도체에 대하여 수직하게 놓여 있으며, 상기 패러데이 차폐물은 상기 천정의 상기 돔형상에 부합하는 돔형상의 도전성 시이트로 이루어져 있고, 상기 가스 분배용 오리피스는 상기 천정의 상기 돔형상에 부합하는 돔형을 가지며, 상기 가스 분배 다기관, 상기 패러데이 차폐물, 상기 RF 안테나 및 상기 천정이 함께 하나의 유니트를 이루고 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  10. 제8항에 있어서, 상기 패러데이 차폐물은 한쌍의 얇은 도전성 돔형상 사이트로 이루어져 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  11. 제7항에 있어서, 상기 RF 안테나와 상기 패러데이 차폐물 사이에 위치된 절연층을 더 포함하는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  12. 제11항에 있어서, 상기 패러데이 차폐물은 다수의 도전층 및 인접한 상기 도전층들 사이에 우치된 절연층을 포함하고 있는 유도성으로 연결된 플라즈마 반응기.
  13. 플라즈마 반응기에서 상기 플라즈마 반응기의 내부내로 에너지를 유도성으로 연결하기 위한 조사기(applicator) 및 전력원을 포함하는 장치로서, (a) 상기 플라즈마 반응기의 상기 내부내로 유도성으로 연결된 에너지를 제공하기 위한 상기 조사기와 상기 전력원 사이에 연결된 절연층으로서, 용량성 연결을 최소화하면서 상기 전력원으로부터 상기 조사기로 전력을 전달할 수 있게 하는, 절연층, 및 (b) 상기 조사기로부터 떨어져서 상기 조사기와 상기 플라즈마 반응기 사이에서 상기 플라즈마 반응기에 가깝게 위치된 도전성 패러데이 차폐물로서, 서로 이격된 다수의 도전층들을 가지며, 각각의 상기 층에는 인접한 층의 강체부분을 지향하는 개구부들이 구비되어 있고, 상기 개구부들은 상기 충돌내에서 와류전류를 억제하는 방향으로 형성되어 있는, 패러데이 차폐물을 포함하는 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 플라즈마 반응기내의 가스 분배 다기관을 더 포함하며, 상기 가스 분배 다기관은 상기 패러데이 차폐물에 대향하는 상기 플라즈마 반응기의 내벽에 인접하게 위치하고, 상기 플라즈마 반응기의 내부를 지향하는 오리피스들을 갖추고 있는 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 전력원은 알에피(RF)이고, 상기 조사기는 변압기인 장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 플라즈마 반응기에는 돔형상의 상부벽이 구비되어 있고, 상기 조사기는 상기 상부벽 주위로 코일이 감겨진 도전체로서 이루어져 있으며, 상기 패러데이 차폐물은 상기 상부벽의 곡률에 부합되는 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 패러데이 차폐물의 상기 도전층들내에 형성된 구멍들은 상기 조사기 도전체의 인접한 부분의 방향에 대하여 수직한 방향으로 길게 연장되어 있는 장치.
  18. 제13항에 있어서, 상기 절연층은 상기 패러데이 차폐물과 상기 조사기 사이의 공간을 점유하고 있는 장치.
  19. 제13항에 있어서, 상기 절연층은 상기 패러데이 차폐물의 인접한 상기 도전층들 사이의 공간을 점유하고 있는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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