KR950703269A - X선을 사용한 기체이온발생장치와 방법 및 이를 이용한 각종장치와 구조 - Google Patents

X선을 사용한 기체이온발생장치와 방법 및 이를 이용한 각종장치와 구조 Download PDF

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히또시 이나바
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    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/06—Carrying-off electrostatic charges by means of ionising radiation

Abstract

본 발명은 어떤 분위기하에서도 발진을 수반하지 않고 가스중에 정이온과 부이온 및/또는 전자를 생성시킬 수 있은 X선을 사용한 기체이온발생장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 대전물체의 전하를 단시간에 중화할 수 있고, 정전기의 발생을 완전히 방지할 수 있는 대전물체의 중화방법과 중화구조 및 이를 이용한 반송장치, 웨트벤치, 클린룸등의 각종 장치, 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다. X선을 사용한 기체 이온발생장치는, 기압, 대기압 또는 감압하에 있는 공기에 연 X선영역의 전자파를 조사함으로써, 이 가스중에 정이온과 부이온 및/또는 전자를 생서하도록 한 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 대전물체중화구조는, 대전물체 주변의 분위기가스로 향해 연X선영역의 전자파를 조사할 수 있는 적당한 위치에 X선 유닛을 배치한 것을 특징으로 한다.

Description

X선을 사용한 기체이온발생장치와 방법 및 이를 이용한 각종장치와 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에서 사용되는 X선유닛의 예를 보인 측면도이다.
제4도는 중화실험에 사용된 장치의 개념도이다.

Claims (24)

  1. 가압, 대기압 또는 감압하에 있는 공기에 연X선영역의 전자파를 조사함으로써, 이 공기중에 정이온과 부이온 및/또는 전자를 생성하도록 한 것을 특징으로 하는 정부의 전하를 발생하는 X선을 사용한 기체이온발생장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공기는 기류(氣流)공기인 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 기체이온발생장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 기류공기의 상류측에 연X선영역의 전자파를 조사하도록 한 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 기체이온발생장치.
  4. 대전물체 주변의 분위기공기를 향해 연X선영역의 전자파를 조사할 수 있는 적당한 위치에 X선 유닛이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화구조.
  5. 제4항에 있어서, 상기 분위기공기는 대전물체방향으로 향하는 기류공기이고, 상기 대전물체보다도 상류측에 있어서의 공기로 향해 연X선영역의 전자파를 조사할 수 있도록 상기 X선 유닛이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화구조.
  6. 청정한 공기가 천정에서 마루로 향하는 다운플로우로 있는 클린룸에 있어서, 천정면에 대해 대략 평행으로 연X선영역의 전자파를 조사할 수 있도록 X선 유닛이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화구조.
  7. 프로세스 장치로 피처리물체를 반송하기 위한 반송실을 갖는 반송장치에 있어서, 상기 반송실내의 분위기 가스에 연X선영역의 전자파를 조사할 수 있도록 X선 유닛을 배치한 것을 특징으로 하는 반송장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 반송실과 프로세스장치사이에 로드로크실을 개재시키고 이 로드로크실내의 분위기 가스에 연X선영역의 전자파를 조사할 수 있도록 X선 유닛을 배치한 것을 특징으로 하는 반송장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 반송실을, 연X선영역의 전자파에 대해 투명한 재질로 형성한 것을 특징으로 하는 반송장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 연X선영역에 대해 투명한 재질로서 폴리이미드를 사용하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  11. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 반송실을, Cr/Fe(원자비)가 1이상인 열산화 부동태막을 표면에 갖는 스텐레스강으로 형상함과 아울러, 반송실의 적당한 위치에 연X선영역의 전자파를 조사하기 위한 입사구를 설치하고, 이 입사구를 통해 연X선 영역의 전자파를 반송실내의 분위기가스에 조사하도록 한 것을 특징으로 하는 반송장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 입사구에, 외부측으로 돌출하는 포트부를 설치하고, 이 포트부의 길이를 포트부의 선단개구로 부터 반송실내의 피처리물체를 보는 것이 불가능하도록 한 길이로 설정하고, 상기 포트부의 선단개구에 연X선영역의 전자파에 대해 투명한 재질로 이루어지는 필터를 설치한 것을 특징으로 하는 반송장치.
  13. 제7항 내지 제12항중 어느 하나에 있어서, 상기 반송장치는, 반송실내의 하방에서 가스를 분출시킴으로써 피반송물을 부상반송시키는 반송장치인 것을 특징으로 하는 반송장치.
  14. 제13항에 있어서, 반송실의 하방에서 분출하는 가스는 불순물농도가 수ppb이하의 질소가스 또는 수분농도가 수ppb이하의 공기인 것을 특징으로 하는 반송장치.
  15. 외부에서 거주실의 내부로 공기를 공급하기 위한 공기도입수단을 갖는 건물 혹은 탈것의 거주실에 있어서, 상기 공기에 연X선영역의 전자파를 조사함으로써, 이 공기중에 정이온과 부이온 및/또는 전자를 생성하는 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 거주실.
  16. 외부에서 식물재배실의 내부로 공기를 공급하기 위한 공기도입수단을 갖는 식물 재배실에 있어서, 상기 공기에 연X선영역의 전자파를 조사함으로써, 이 공기중에 정이온과 부이온 및/또는 전자를 생성하는 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 식물재배실.
  17. 연X선영역의 전자파를, 가압, 대기압 또는 감압하에 있는 공기에 조사함으로써, 이 공기중에 정이온과 부이온 및/또는 전자를 생성시키는 것을 특징으로 하는 X선조사를 이용한 정부의 전하발생방법.
  18. 연X선영역의 전자파를 대전물체 주변의 분위기공기에 조사함으로써, 이 분위기 공기를 이온화시켜 정이온과 부이온 및/또는 전자를 생성하고, 이 생성된 정이온에 의해 부전하를, 부이온 및/또는 전자에 의해 정전하를 중화하는 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 연X선영역의 전자파는, 파장이 1Å~수백Å의 연X선인 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화방법.
  20. 제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 연X선영역의 전자파는 타켓전압을 4kV 이상으로 하여 발생시킨 전자파인 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화방법.
  21. 제18항 내지 20항중 어느 하나에 있어서, 상기 연X선영역의 전자파는 타켓전류를 60μA이상으로 하여 발생시킨 전자파인 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화방법.
  22. 제18항 내지 21항중 어느 하나에 있어서, 상기 분위기공기는, 수분농도가 수ppb이하인 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화방법.
  23. 제18항 내지 22항중 어느 하나에 있어서, 상기 분위기공기의 압력은, 1000Torr~1 Torr인 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화방법.
  24. 제23항에 있어서, 상기 분위기공기의 압력은 1000Torr~20 Torr인 것을 특징으로 하는 대전물체의 중화방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950700573A 1992-08-14 1993-08-13 X선을 사용한 기체이온발생장치와 방법 및 이를 이용한 각종장치와 구조 KR950703269A (ko)

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