FI70347B - Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao - Google Patents

Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao Download PDF

Info

Publication number
FI70347B
FI70347B FI831524A FI831524A FI70347B FI 70347 B FI70347 B FI 70347B FI 831524 A FI831524 A FI 831524A FI 831524 A FI831524 A FI 831524A FI 70347 B FI70347 B FI 70347B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
electrons
chamber
magnets
electron
window
Prior art date
Application number
FI831524A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI70347C (fi
FI831524L (fi
FI831524A0 (fi
Inventor
Pertti Puulalainen
Rauno Rantanen
Pertti Sikanen
Original Assignee
Enso Gutzeit Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Enso Gutzeit Oy filed Critical Enso Gutzeit Oy
Priority to FI831524A priority Critical patent/FI70347C/fi
Publication of FI831524A0 publication Critical patent/FI831524A0/fi
Priority to DE19843416198 priority patent/DE3416198A1/de
Priority to US06/606,719 priority patent/US4543487A/en
Priority to GB08411346A priority patent/GB2139416B/en
Priority to JP59088582A priority patent/JPS6035447A/ja
Publication of FI831524L publication Critical patent/FI831524L/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI70347B publication Critical patent/FI70347B/fi
Publication of FI70347C publication Critical patent/FI70347C/fi

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J33/00Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Description

70347
MENETELMÄ JA LAITE INTENSITEETTIJAKAUTUMALTAAN SÄÄDETTÄVÄN ELEK-TRONIVERHON SYNNYTTÄMISEKSI - FÖRFARANDE OCH ANORDNIIMG FuR ASTADKOMRAN-DE AV E IM AV INTENSITETFÖRDELNING JUSTERBAR ELEKTRONRIDA
Tämän keksinnön kohteena on menetelmä intensiteettijakautumal-taan säädettävän elektroniverhon synnyttämiseksi, jossa menetelmässä kammioon sijoitetulla, pitkänomaisella langalla synnytetään vapaita elektroneja lankaa ympäröivään tilaan, elektroneja kiihdytetään mainitussa tilassa sitä rajoittavalla elektrodira-kenteella ja kiihdytetyistä elektroneista muodostuva elektroni-verho ohjataan ulos kammipsta sen seinämässä olevasta, elektroneja läpäisevästä ikkunasta.
Materiaalipintoja voidaan käsitellä esimerkiksi määrättyjen kemiallisten reaktioiden aikaansaamiseksi kohdistamalla niihin elektronisäteily. Kysymykseen tulevista reaktioista voidaan mainita huoneen lämpötilassa tapahtuva kalvon ristisidostus tai po-lymerointi sekä pinnoitteiden tai laminaattien kovetus, ja lisäksi elektronisäteily soveltuu mm. pakkausten sterilointiin.
On tunnettua käyttää laajojen materiaalipintojen säteilytyksessä fokusoitua elektronisuihkua. Tässä menetelmässä pinnan eri osien samanaikainen säteilytys ei kuitenkaan ole mahdollista, vaan menetelmä edellyttää elektronisuihkun pyyhkäisemistä yli sateily-tettävän pinnan, mikä merkitsee sitä, että tarvittava laitteisto on suhteellisen monimutkainen.
On edelleen tunnettua toteuttaa säteilytys tasomaisen elektroni-verhon avulla, jolloin laitteisto muodostuu olennaisesti yksinkertaisemmaksi. Elektroniverho synnytetään käyttäen elektroni-lähteenä tyhjökammioon sijoitettua viivamaista hehkulankaa, josta irtoavat elektronit ki ihdytetään korkeajännitteellä ja ohjataan kammion seinämässä olevan elektroneja läpäisevän ikkunan kautta kammion ulkopuolelle. Menetelmässä on kuitenkin ollut vaikeutena se, että koska hehkulangan ominaisuudet vaihtelevat hieman langan eri kohdissa, on tuloksena ollut intensiteetti jakautumaltaan verhon leveyssuunnassa epätasainen elektroniverho.
70347 Tämän keksinnön tarkoituksena on poistaa edellä esitetyt tunnettuihin ratkaisuihin liittyvät epäkohdat ja muodostaa menetelmä, jolla voidaan synnyttää elektroniverho, jonka intensiteettija-kautuma verhon leveyssuunnassa on tasainen tai jossa ko. jakautuma voidaan säätää halutun mukaiseksi. Tunnusomaista keksinnön mukaiselle menetelmälle on se, että e 1ektroniverhon intensiteetti jakautuman säätö tapahtuu käyttäen pitkänomaista, magneettisesti pehmeää ainetta olevaa kappaletta sekä vierekkäisistä magneeteista muodostuvaa magneettiriviä, joista toinen on sijoitettu olennaisesti langan suuntaisesti kammion ikkunan suunnasta katsottuna langan taakse ja toinen on sijoitettu kammion ikkunan ulkopuolelle elektroniverhon eteen, jolloin magneeteilla aikaansaatavan säädön perustana on langasta emittoituneiden elektronien magneettikentän voimakkuudesta riippuva absorptio elektrodi-rakenteeseen .
Keksinnön mukainen menetelmä perustuu oleellisesti magneettikentän synnyttämiseen mainitun magneettisesti pehmeää ainetta olevan kappaleen ja vierekkäisistä magneeteista muodostuvan nag-neettirivin välille. Magneettikenttä vangitsee langasta emittoituneet elektronit spiraalimaisille radoille, joiden säde riippuu magneettikentän voimakkuudesta. Tällöin elektrongjaabsorboituu elektrodirakenteen muodostaman tilan seinämiin ennen niiden pääsyä elektroneja kiihdyttävään sähkökenttään absorboituneiden elektroneiden määrän ollessa säädettävissä magneettikentän avul-1 a.
Keksinnön mukaisella menetelmällä saavutetaan myös se, että elektroniverho ohjautuu elektroneja läpäisevän ikkunan läpi magneettikentän kenttäviivojen mukaisesti, jolloin ikkunan reunoihin osuvien elektronien aiheuttamat hajasäteily- ja lämpenemis-ongelmat vähenevät.
Synnytettävän elektroniverhon intensiteettijakautuman säätämiseksi verhon leveyssuunnassa voidaan magneetikentän voimakkuutta muutella laitteen eri kohdissa. Tätä varten voi kunkin magneetin etäisyys magneettisesti pehmeää ainetta olevasta kappaleesta olla säädettävissä itsenäisesti, tai vaihtoehtoisesti voidaan käyttää sähkömagneetteja, joista kunkin voimakkuus on säädettävissä itsenäisesti. Kummassakin tapauksessa on mahdollista sää- 70347 tää magneettikentän voimakkuutta ja siten säätää sähkökenttään pääsevien elektronien määrää elektroneja emittoivan langan suunnassa niin, että haluttu elektroniverhon intensiteettijakautuma saavutetaan.
Keksinnön kohteena on edelleen laite intensiteettijakautumaltaan j i säädettävän elektroniverhon synnyttämiseksi edellä kuvatulla menetelmällä. Laite käsittää pitkänomaisen, elektroneja emittoivan langan, lankaa ympäröivää tilaa rajoittavan elektrodirakenteen elektronien kiihdyttämiseksi sekä kammion, johon lanka ja elektrodirakenne on sijoitettu ja jonka seinämässä on elektroneja läpäisevä ikkuna, jonka läpi elektro-niverho on ohjattavissa, ja laitteelle on tunnusomaista se, että siihen kuuluu elektroniverhon intensiteettijakautumaa säätävinä eliminä pitkänomainen, magneettisesti pehmeää ainetta oleva kappale sekä vierekkäisistä magneeteista muodostuva magneettirivi, joista toinen on sijoitettu olennaisesti langan suuntaisesti kammion ikkunan suunnasta katsottuna langan taakse ja toinen on sijoitettu kammion ikkunan ulkopuolelle elektroniverhon eteen, jolloin magneeteilla aikaansaatavan säädön perustana on langasta emittoituneiden elektronien magneettikentän voimakkuudesta riippuva absorptio elektrodirakenteeseen.
Keksintöä selostetaan seuraavassa yksityiskohtaisemmin esimerkin avulla viittaamalla oheiseen piirustukseen, jossa
Kuvio 1 esittää erästä keksinnön mukaista laitetta intensiteetti j akautumaltaan säädettävän elektroniverhon synnyttämiseksi sekä elektroneilla säteilytettävää kalvorainaa laitteen sivusuunnasta nähtynä ja osaksi leikattuna.
Kuvio 2 esittää leikkausta II-II kuviosta 1.
Piirustuksessa on esitetty keksinnön erään sove1lutusmuodon mukainen laite intensiteettijakautumaltaan säädettävän elektroni-verhon synnyttämiseksi, joka käsittää sylinterimäisen, teräksisen tyhjökammion 1, pitkänomaisen, kammion akselin suuntaisen hehkulangan 2 sekä hehkulankaa ympäröivän pitkänomaisen teräksisen kuoren 3, joka muodostaa elektrodirakenteen. Kammion 1 seinämässä on kammion akselin suuntainen, elektroneja läpäisevä ik- 70347 kuna 4, joka on titaania ja jonka läpi laitteen synnyttämä elek-troniverho on ohjattavissa. E 1ektroniverhoa kuvaavat piirustuksessa nuolet 5. Hehkulankaa 2 ympäröivä kuori 3 on muotoiltu siten, että lanka sijaitsee kuoren muodostamassa pitkänomaisessa syvennyksessä 6, joka on avoin kammion seinämässä olevan ikkunan 4 suuntaan. Syvennyksen 6 kummallakin reunalla kuori 3 on muodostettu kiihdytyse 1ektrodiksi 7, jolloin elektrodit kiihdyttävät hehkulangasta 2 emittoituneet ja niiden väliseen sähkökenttään joutuneet elektronit verhona ikkunaa 4 kohti ja edelleen sen läpi niin, että ne osuvat ikkunan ohi johdettavaan, säteily-tettävään kalvorainaan 8.
Laitteella synnytettävän elektroniverhon 5 intensiteetin säätämiseksi on kuoreen 3 kammion ikkunan 4 suunnasta katsottuna hehkulangan 2 taakse sijoitettu hehkulangan suuntainen, ferromagneettista ainetta oleva kappale 9, joka on sopivammin rautaa. Ikkunan 4 ulkopuolelle, elektroniverhon 5 eteen on edelleen sijoitettu rivi vierekkäisiä magneetteja 10, jolloin kappaleen 9 ja magneettirivin välille on synnytettävissä magneettikenttä. Magneettikentän voimakkuuden säätämiseksi on kunkin magneetin 10 etäisyys elektroneja emittoivasta langasta 2 säädettävissä itsenäisesti, ja kuviossa 1 nähdään tilanne, jossa eräs magneeteista on sijoitettu hieman muita kauemmaksi langasta. Vaihtoehtoisesti voi magneettikentän voimakkuuden säätäminen tapahtua säätelemällä magneettien 10 magnetointivirtaa.
Elektroniverhon 5 synnyttäminen esitetyllä laitteella tapahtuu saattamalla kuori 3 muutaman sadan kV:n negatiiviseen jännitteeseen kammion 1 seinämään nähden ja muodostamalla kappaleen 9 ja magneettien 10 välille magneettikenttä. Hehkulangasta 2 emittoituvat elektronit joutuvat tällöin syvennyksessä 6 spiraalimaisille radoille, jolloin osa niistä absorboituu syvennyksen seinämiin ja osa pääsee kiihdytyselektrodien 7 väliseen sähkökenttään. Absorboituneiden elektronien osuus hehkulangasta 2 emittoituneesta elektronimäärästä riippuu laitteen eri kohdissa vallitsevan magneettikentän voimakkuudesta. Kiihdytys e 1ektrodit 7 kiihdyttävät sähkökenttään päässeet elektronit kammion 1 seinämässä olevaa ikkunaa 4 kohti verhona 5, joka ikkunan läpäistyään osuu ikkunan ja magneettien 10 välistä johdettuun säteilytettä-vään kalvorainaan 8. Koska kammion 1 seinämät ovat magneettises- 70347 ti kovaa ainetta, edistää magneettikenttä elektroniverhon 5 fokusoitumista ikkunaan 4 niin, että laitteen toimintaa häiritsevää hajasäteilyä ei sanottavasti esiinny.
Kun kuviossa 1 esitetyssä tapauksessa eräs magneeteista 10 on viety muita kauemmaksi hehkulangasta 2, merkitsee tämä sitä, että magneettikentän kenttäviivojen tiheys on tällä kohdalla pienentynyt ja elektronit joutuvat syvennyksessä 6 säteeltään suuremmille spiraaliradoille. Tästä on seurauksena elektronien lisääntynyt absorptio elektrodirakenteen 3 seinämiin ja elektroni-verhon 5 intensiteetin jääminen pienemmäksi kuin laitteen muissa kohdissa.
Alan ammattimiehelle on selvää, että keksinnön erilaiset sovel-lutusmuodot eivät rajoitu esitettyyn esimerkkiin vaan voivat vaihdella oheisten patenttivaatimusten puitteissa.

Claims (8)

1. Menetelmä intensiteettijakautumaltaan säädettävän elektroni-verhon (5) synnyttämiseksi, jossa menetelmässä kammioon (1) sijoitetulla, pitkänomaisella langalla (2) synnytetään vapaita elektroneja lankaa ympäröivään tilaan (6), elektroneja kiihdytetään mainitussa tilassa sitä rajoittavalla elektrodirakenteella (3) ja kiihdytetyistä elektroneista muodostuva elektroniverho ohjataan ulos kammiosta sen seinämässä olevasta, elektroneja läpäisevästä ikkunasta (4), tunnettu siitä, että elektroniverhon (5) intensiteettijakautuman säätö tapahtuu käyttäen pitkänomaista, magneettisesti pehmeää ainetta olevaa kappaletta (9) sekä vierekkäisistä magneeteista (10) muodostuvaa magneetti-riviä, joista toinen on sijoitettu olennaisesti langan (2) suuntaisesti kammion (1) ikkunan (4) suunnasta katsottuna langan taakse ja toinen on sijoitettu kammion ikkunan ulkopuolelle e 1ektroniverhon eteen, jolloin magneeteilla aikaansaatavan säädön perustana on langasta emittoituneiden elektronien magneettikentän voimakkuudesta riippuva absorptio elektrodirakenteeseen (3) .
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että säätö tapahtuu säätelemällä rivin eri magneettien (10) ja magneettisesti pehmeää ainetta olevan kappaleen (9) keskinäisiä etäisyyksiä.
3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että magneetteina (10) käytetään sähkömagneetteja ja että säätö tapahtuu säätelemällä rivin eri magneettien sähkövirtojen voimakkuuksia.
4. Laite intensiteetti jakautumaltaan säädettävän elektroniverhon (5) synnyttämiseksi jonkin patenttivaatimuksista 1-3 mukaisella menetelmällä, joka laite käsittää pitkänomaisen, elektroneja emittoivan langan (2), lankaa ympäröivää tilaa (6) rajoittavan elektrodirakenteen (3) elektronien kiihdyttämiseksi sekä kammion (1), johon lanka ja elektrodirakenne on sijoitettu ja jonka seinämässä on elektroneja läpäisevä ikkuna (4), jonka läpi elektro-nlverho on ohjattavissa, tunnettu siitä, että laitteeseen kuuluu elektroniverhon (5) intensiteettijakautumaa säätävinä eliminä pitkänomainen, magneettisesti pehmeää ainetta oleva 7 70347 kappale (9) sekä vierekkäisistä magneeteista (10) muodostuva magneettirivi, joista toinen on sijoitettu olennaisesti langan (2) suuntaisesti kammion (1) ikkunan (4) suunnasta katsottuna langan taakse ja toinen on sijoitettu kammion ikkunan ulkopuolelle elektroniverhon eteen, jolloin magneeteilla aikaansaatavan säädön perustana on langasta emittoituneiden elektronien magneettikentän voimakkuudesta riippuva absorptio elektrodirakenteeseen (3).
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen laite, tunnettu siitä, että rivin kunkin magneetin (10) etäisyys magneettisesti pehmeää ainetta olevasta kappaleesta (9) on säädettävissä itsenäisesti.
6. Patenttivaatimuksen 4 mukainen laite, tunnettu siitä, että magneetit (10) ovat sähkömagneetteja, joista kussakin sähkövirran voimakkuus on säädettävissä itsenäises-t i .
6 PATENTTIVAATIMUKSET 70347
7. Jonkin patenttivaatimuksista 4-6 mukainen laite, tunnettu siitä, että kammion (1) seinämä on magneettisesti kovaa ainetta.
8 70347
FI831524A 1983-05-03 1983-05-03 Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao FI70347C (fi)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI831524A FI70347C (fi) 1983-05-03 1983-05-03 Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao
DE19843416198 DE3416198A1 (de) 1983-05-03 1984-05-02 Verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines elektronenvorhangs mit regulierbarer intensitaetsverteilung
US06/606,719 US4543487A (en) 1983-05-03 1984-05-03 Procedure and means for creating an electron curtain with adjustable intensity distribution
GB08411346A GB2139416B (en) 1983-05-03 1984-05-03 Procedure and means for creating an electron curtain with adjustable intensity distribution
JP59088582A JPS6035447A (ja) 1983-05-03 1984-05-04 電子流生成方法及び装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI831524A FI70347C (fi) 1983-05-03 1983-05-03 Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao
FI831524 1983-05-03

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI831524A0 FI831524A0 (fi) 1983-05-03
FI831524L FI831524L (fi) 1984-11-04
FI70347B true FI70347B (fi) 1986-02-28
FI70347C FI70347C (fi) 1986-09-15

Family

ID=8517142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI831524A FI70347C (fi) 1983-05-03 1983-05-03 Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4543487A (fi)
JP (1) JPS6035447A (fi)
DE (1) DE3416198A1 (fi)
FI (1) FI70347C (fi)
GB (1) GB2139416B (fi)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3529310A1 (de) * 1985-08-16 1987-03-05 Hoelter Heinz Verfahren zur reinigung von be- und entlueftungsschaechten in wohn- und krankenhaeusern, schulen, altenheimen usw.
US4763005A (en) * 1986-08-06 1988-08-09 Schumer Steven E Rotating field electron beam apparatus and method
FI84961C (fi) * 1989-02-02 1992-02-10 Tampella Oy Ab Foerfarande foer alstrande av hoegeffektelektronridaoer med hoeg verkningsgrad.
US5329129A (en) * 1991-03-13 1994-07-12 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Electron shower apparatus including filament current control
DE4432984C2 (de) * 1994-09-16 1996-08-14 Messer Griesheim Schweistechni Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen
DE19844720A1 (de) * 1998-09-29 2000-04-06 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Dimmbare Entladungslampe für dielektrisch behinderte Entladungen
WO2007107211A1 (de) 2006-03-20 2007-09-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur eigenschaftsänderung dreidimensionaler formteile mittels elektronen
KR101463483B1 (ko) * 2014-03-31 2014-11-27 우영산업(주) 원형 톱이 장착된 커팅 어셈블리의 중량 부여 타입 절삭 장치
CN115529710B (zh) * 2022-09-28 2024-02-20 中国原子能科学研究院 一种电子帘加速器

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3013154A (en) * 1958-11-14 1961-12-12 High Voltage Engineering Corp Method of and apparatus for irradiating matter with high energy electrons
US3144552A (en) * 1960-08-24 1964-08-11 Varian Associates Apparatus for the iradiation of materials with a pulsed strip beam of electrons

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0526539B2 (fi) 1993-04-16
GB2139416A (en) 1984-11-07
US4543487A (en) 1985-09-24
JPS6035447A (ja) 1985-02-23
GB2139416B (en) 1987-09-09
DE3416198C2 (fi) 1992-11-12
FI70347C (fi) 1986-09-15
DE3416198A1 (de) 1984-11-22
GB8411346D0 (en) 1984-06-06
FI831524L (fi) 1984-11-04
FI831524A0 (fi) 1983-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1282400C (zh) 应用粒子束处理目标体积的方法和实施这种方法的装置
JP5409521B2 (ja) 粒子線治療装置
FI70347B (fi) Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao
JP2005142034A (ja) 粒子線治療装置
JPS6486435A (en) Flood-gun device and method of neutralize charge on wafer
KR970030240A (ko) 중성 입자 비임 조사 장치
KR920013626A (ko) 이온 주입 방법
JPH02115800A (ja) 製品の両面照射装置
KR101726560B1 (ko) 이온 주입에서 강화된 저 에너지 이온 빔 이송
US3013154A (en) Method of and apparatus for irradiating matter with high energy electrons
US2866902A (en) Method of and apparatus for irradiating matter with high energy electrons
CA2129403C (en) Ion implanting apparatus and ion implanting method
FI70346C (fi) Anordning foer aostadkommande av en elektronridao
US6683319B1 (en) System and method for irradiation with improved dosage uniformity
RU143673U1 (ru) Устройство развертки электронного пучка
JPH07318698A (ja) 電子線照射装置
KR100933010B1 (ko) 펄스 반복률 변조를 이용한 빔 조사량 조절 장치 및 조절 방법
JP3873493B2 (ja) 荷電粒子ビーム出射装置及び荷電粒子ビーム照射方法
JP6486141B2 (ja) 粒子線治療装置および粒子線調整方法
JPH06290725A (ja) イオン源装置およびそのイオン源装置を備えたイオン打ち込み装置
JP2003156600A (ja) 電子線均一照射方法及び装置
RU1797392C (ru) Устройство для облучения пучком частиц
SU949855A1 (ru) Устройство дл облучени электронами
JPH02112140A (ja) 低速イオン銃
JP2006051064A (ja) 放射線治療装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed

Owner name: OY TAMPELLA AB