KR950035537A - 극박의 전해동박 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

다층인쇄회로 기판에 이용되는 극박의 전해동박 및 그 제조방법에 관한 것으로, 이 동박의 제조를 위한 전해시의 큰 특징은 염소이온의 존재하에 행하는 것이며, 얻어진 극박의 두께는 4 내지 12마이크로미터이고 그 조직은 종래의 (110)조직과는 달리 대략(111)집합조직으로 되어 있고, 이 조직은 절연기판상에 적층성형후에는 재결정으로 (100)집합조직으로 변화여 이후 회로구성중의 에칭시에 기판에 대해 수직방향으로 신속히 에칭될 수 있어 미세회로의 손실을 막을 수 있는 이점을 갖는다.

Description

극박의 전해동박 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 (a)(b)는 본 발명에 의한 동박의 적층성형전과 적층성형 후의 회로의 도식적인 단면조직.

Claims (3)

  1. 절연기판상에 적층성형후에는 (100)집합조직을 갖도록, 실질적으로 (111)집합조직을 갖고 있으며, 또한 4 내지 12마이크로미터의 두께를 가진 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 극박의 전해동박.
  2. 제1항에 있어서, 에칭공정중에 수직방향으로 빠르게 에칭되어 미세회로의 손실을 저감시킬수 있는 특성을 추가적으로 가진 것을 특징으로 하는 극박의 전해동박.
  3. 100g/l 내지 200g/l 농도의 황산구리와 150g/l 내지 250g/l의 황산으로 된 전해액을 사용하고 200ppm 내지 3000ppm의 염소이온의 존재하에 온도 50 내지 80℃, 75A/d㎡내지 100A/㎡의 전류밀도에서 전해함으로써 음극으로서의, 동박위에 전착으로 수득하는 것을 특징으로 하는 제1항 또는 2항에 기재된 극박의 전해 동박의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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