KR950033468A - 압축가스중의 오염물 입자를 분석하는 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 압축가스중의 불순물을 분석하기 위한 방법, 검측된 가스중의 입자 성장을 조절하는 방법 및 개별가스에 대한 적정 검측 온도를 결정하는 방법에 관한 것이다.

Description

압축가스중의 오염물 입자를 분석하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 개별 가스의 적정 온도를 결정하기 위한 본 발명의 시스템의 개요도이다.

Claims (20)

  1. 압축가스중의 불순물을 분석하기 위한 시스템으로서, 압축가스중의 불순물을 측정하기 위한 센서; 상기 가스가 상기 센서로 유입되기 전에 상기 가스의 온도를 조절하기 위한 온도 조절기; 상기 압축가스원과 상기 센서 사이에 위치한 제1밸브를 포함하는 압력평형기; 상기 가스를 시스템에 유입시키기 위한 제2밸브; 상류부재에 의해 유입된 가스원중의 불순물을 상당량 제거하기 위해 상기 제2밸브의 하류에 위치한 필터; 시스템으로부터 가스를 배출시키기 위해 상기 필터의 하류에 위치한 제3밸브; 및 상기 제1밸브에 걸쳐 압력이 평형상태가 될 때까지 상기 센서에 상기 가스를 채우기 위해 상기 필터와 센서 사이에 위치한 구멍으로 구성된 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 가스가 상기 센서가 상기 가스로 완전히 채워졌음을 지시하는, 가스 압력이 상기 제1밸브에 걸쳐 평형상태가 되었을 때 측정하기 위한 상기 밸브에 걸쳐 위치한 차동 압력 게이지를 부가로 포함하는 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제3밸브의 상류에 위치한 세정가스원을 부가로 포함하는 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1밸브와 제2밸브의 상류에 위치한 세정 가스원을 부가로 포함하는 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 세정 가스가 N2, Ar 또는 He인 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 압축가스가 N2, Ar, He, Cl2, HCl, BCl3, HBr, SF6, CF4, C2F6, SiH4, SiH2Cl2, 또는 NH3인 방법.
  7. (a) 압축가스원을 제1항에 따른 시스템내로 유입시키면서, 상기 제1밸브를 폐쇄시키므로써, 상기 제1밸브에 걸쳐 압력이 평형상태로 되기에 충분한 시간동안 상기 압축가스가 상기 제2밸브, 필터 및 구멍을 통과하도록 하고, 상기 제3밸브를 폐쇄시키는 단계; (b) 상기 제1밸브에 걸친 압력이 일단, 상기 압축가스가 상기 구멍과 상기 온도영역을 통과할 수 있을 정도의 소정수준으로 평형상태가 되면 상기 제1밸브와 제3밸브를 개방시키는 단계; (c) 상기 온도영역을 통과하는 상기 가스의 온도를 소정의 수준으로 유지하는 단계; (d) 상기 가스를 상기 센서에 통과시킨 후 상기 시스템으로부터 상기 제3밸브를 통해 배출시키는 단계를 포함하는, 승압하에서 압축가스중의 입자를 분석하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 세정가스를 상기 시스템으로 유입시킨 후 상기 압축가스를 유입시키기 시작하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 세정 가스가 N2, Ar 또는 He인 방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 소정의 온도수준이 가스의 분자 뭉침 및 응축으로 인한 입자 형성을 제거하는 온도인 방법.
  11. (a) 가스내의 입자농도를 측정하기 위한 센서를 포함하는 시스템내로 압축가스를 유입시키는 단계; (b) 상기 유입된 가스의 압력을 원하는 수준으로 평형화하는 단계; (c) 상기 가스의 온도를 바람직한 수준으로 유지하는 단계; (d) 입자 불순물 함량을 측정하기 위해 가스를 샘플링하는 단계를 포함하는, 압축가스중의 불순물을 분속하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 세정가스를 상기 시스템으로 유입시킨 후 상기 압축가스를 유입시키기 시작하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 세정 가스가 N2, Ar 또는 He인 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 바람직한 온도수준이 가스의 분자 뭉침 및 응축으로 인한 입자 형성을 제거하는 온도인 방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 압축가스가 N2, Ar, He, Cl2, HCl, BCl3, HBr, SF6, CF4, C2F6, SiH4, SiH2Cl2, 또는 NH3인 방법.
  16. 상기 제1압력 및 제1온도의 압축가스원을 필터를 통해 입자 센서로 유입시키는 단계; 가스의 입자수를 검측하는 단계; 및 온도를 상승시키면서 입자수가 최소수준에 접근할 때까지 입자수를 검측하고, 상기 제1압력에서의 적정온도는 입자수가 최소수준에 도달하는 온도인 단계를 포함하는, 주어진 압력에서 압축가스의 불순물 함량을 분석하기 위한 최적 온도를 결정하기 위한 방법.
  17. 제16항에 있어서, 세정가스를 상기 시스템으로 유입시킨 후 상기 압축가스를 유입시키기 시작하는 방법.
  18. 제16항에 있어서, 제2압력에서 압축가스원을 유입시키는 단계; 가스의 입자수를 검측하는 단계; 및 온도를 점증적으로 상승시키면서, 입자수가 최소수준에 접근할 때까지 입자수를 검측하며, 상기 제2압력에서 직정온도는 입자수가 최소수준에 도달하는 온도인 단계를 부가로 포함하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제1압력이 상기 제2압력보다 낮은 방법.
  20. 제16항에 있어서, 상기 압축가스가 N2, Ar, He, Cl2, HCl, BCl3, HBr, SF6, CF4, C2F6, SiH4, SiH2Cl2, 또는 NH3인 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950011366A 1994-05-10 1995-05-10 압축가스중의 오염물 입자를 분석하는 방법 KR950033468A (ko)

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Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5814741A (en) * 1996-03-01 1998-09-29 American Air Liquide Inc. Metal sampling method and system for non-hydrolyzable gases
US6004433A (en) * 1997-02-03 1999-12-21 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes George Claude Purification of electronic specialty gases by vapor phase transfilling
KR100251645B1 (ko) * 1997-03-21 2000-04-15 윤종용 반도체 공정용 가스 평가장치에 결합되는 샘플가스 분배 장치 및 구동방법
US6151953A (en) * 1998-01-27 2000-11-28 Rupprecht & Patashnick Company, Inc. Gas stream conditioning apparatus, system and method for use in measuring particulate matter
US6016688A (en) * 1998-05-14 2000-01-25 Rupprecht & Patashnick Company, Inc. In-stack direct particulate mass measurement apparatus and method with pressure/flow compensation
US5970781A (en) * 1998-05-14 1999-10-26 Rupprecht & Patashnick Company, Inc. In-stack direct particulate mass measurement apparatus and method
US6205842B1 (en) * 1999-02-02 2001-03-27 Rupprecht & Patashnick Company, Inc. Differential particulate mass monitor with intrinsic correction for volatilization losses
US6502450B1 (en) 1999-05-10 2003-01-07 Rupprecht & Patashnik Company, Inc. Single detector differential particulate mass monitor with intrinsic correction for volatilization losses
FR2795510B1 (fr) * 1999-06-24 2001-08-03 Air Liquide Installation d'analyse de l'atmosphere d'une enceinte de brasage ou etamage a l'aide d'un alliage metallique
FR2804508A1 (fr) * 2000-02-01 2001-08-03 Air Liquide Procede et dispositif d'echantillonnage de gaz optimalise
US6439027B1 (en) * 2000-08-10 2002-08-27 Rupprecht & Patashnick Company, Inc. Particulate mass measurement apparatus with real-time moisture monitor
US20030063271A1 (en) * 2001-08-17 2003-04-03 Nicholes Mary Kristin Sampling and measurement system with multiple slurry chemical manifold
WO2003062816A1 (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Praxair Technology, Inc. Method for analyzing impurities in carbon dioxide
FR2837924B1 (fr) * 2002-04-02 2004-10-15 Air Liquide Procede et dispositif de prelevement et d'analyse microbiologique et particulaire d'un fluide cryogenique
NL1025042C2 (nl) * 2003-12-17 2005-06-20 Sgt Singapore Holding Pte Ltd Regulator voorzien van een indicatoreenheid alsmede een kit van onderdelen omvattende een indicatoreenheid ten behoeve van een dergelijke regulator en een gasbron.
US7201036B2 (en) * 2004-02-27 2007-04-10 Hunter Manufacturing Co. Residual life indicating system
EP1830173A1 (en) * 2005-02-03 2007-09-05 Air Products and Chemicals, Inc. System and method for measurement and/or analysis of particles in gas stream
EP1688731A1 (en) 2005-02-03 2006-08-09 Air Products and Chemicals, Inc. System and method for measurement and/or analysis of particles in gas stream
US7867779B2 (en) * 2005-02-03 2011-01-11 Air Products And Chemicals, Inc. System and method comprising same for measurement and/or analysis of particles in gas stream
US7592178B2 (en) * 2005-02-23 2009-09-22 Hunter Menufacturing Co. Filter integrity tester
US8205483B1 (en) 2008-03-06 2012-06-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Residual life indicator
DE102009004278A1 (de) * 2009-01-05 2010-07-15 Synthesechemie Dr. Penth Gmbh Messgerät für geringe Kohlenwasserstoffkonzentrationen
AT10542U3 (de) * 2009-01-19 2009-10-15 Avl List Gmbh Kondensationskern-zähler
ES2547957B1 (es) * 2014-04-08 2016-04-29 Tecdican S.L.U. Dispositivo ahorrador de gas
JP2016058642A (ja) * 2014-09-11 2016-04-21 株式会社東芝 粒子供給装置及び方法
CN108507916B (zh) * 2018-03-20 2020-06-16 重庆山楂树科技有限公司 粉尘检测装置
CN108519520B (zh) * 2018-04-08 2023-09-26 华北电力大学（保定） 一种可控温度可调气氛的粉尘比电阻测试装置
US11850458B2 (en) * 2021-04-19 2023-12-26 Kidde Technologies, Inc. Flow control device for particle concentration measurement sensor
CN113984612B (zh) * 2021-10-30 2023-08-04 福州大学 一种gis内颗粒物检测一体化装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU3555571A (en) * 1971-11-10 1973-05-17 Johnson Service Company Gas quality indicator and method for determining gas quality
US3853516A (en) * 1974-02-11 1974-12-10 N Lyshkow Gas dilution apparatus
GB1494451A (en) * 1975-02-12 1977-12-07 Smidth & Co As F L Apparatus for measuring the content of dust in gases
US4704804A (en) * 1984-03-13 1987-11-10 Ve Holding Corp. Method of and apparatus for temperature conditioning of matter
US4878510A (en) * 1987-10-13 1989-11-07 American Air Liquide Method for reducing pressure of highly compressed gases without generation of condensation droplets
US5027642A (en) * 1987-10-13 1991-07-02 American Air Liquide Method of detecting and or removing trace amounts of condensible vapors from compressed gas
US4912985A (en) * 1988-08-23 1990-04-03 The Babcock & Wilcox Company Gas sampling system for reactive gas-solid mixtures
US4964278A (en) * 1989-03-06 1990-10-23 American Air Liquide Method of separating condensible vapors from particles in highly compressed gases
US4962673A (en) * 1989-03-08 1990-10-16 American Air Liquide Pressure reduction device for particle sampling from compressed gases
US5026155A (en) * 1989-09-06 1991-06-25 Air Products And Chemicals, Inc. Process for sizing particles using condensation nucleus counting
JP2646788B2 (ja) * 1990-03-13 1997-08-27 三菱電機株式会社 水蒸気流量測定装置
US5101671A (en) * 1990-10-01 1992-04-07 Elgas David H Compressed gas sampling device
US5214952A (en) * 1991-08-16 1993-06-01 Praxair Technology, Inc. Calibration for ultra high purity gas analysis
US5209102A (en) * 1992-01-31 1993-05-11 American Air Liquide Method of introducing and controlling compressed gases for impurity analysis
US5519490A (en) * 1993-07-23 1996-05-21 Ushiodenki Kabushiki Kaisha Condensation nucleus type device for counting particles in gas utilizing heating means on the connection pipe and measuring chamber
US5673562A (en) * 1996-02-23 1997-10-07 L'air Liquide, S.A. Bulk delivery of ultra-high purity gases at high flow rates

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Publication number Publication date
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DE69515080D1 (de) 2000-03-23
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JPH08101116A (ja) 1996-04-16
US5665902A (en) 1997-09-09
EP0682240B1 (en) 2000-02-16
US5992216A (en) 1999-11-30
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