KR950031398A - 물품의 이송기구 - Google Patents

물품의 이송기구 Download PDF

Info

Publication number
KR950031398A
KR950031398A KR1019950000648A KR19950000648A KR950031398A KR 950031398 A KR950031398 A KR 950031398A KR 1019950000648 A KR1019950000648 A KR 1019950000648A KR 19950000648 A KR19950000648 A KR 19950000648A KR 950031398 A KR950031398 A KR 950031398A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
linear
link
arms
article
moving
Prior art date
Application number
KR1019950000648A
Other languages
English (en)
Inventor
기요시 나까가와
Original Assignee
오오가 노리오
소니 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오오가 노리오, 소니 가부시끼가이샤 filed Critical 오오가 노리오
Publication of KR950031398A publication Critical patent/KR950031398A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/13—Handlers utilizing parallel links
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/18—Mechanical movements
    • Y10T74/18856—Oscillating to oscillating
    • Y10T74/1888—Geared connections
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/18—Mechanical movements
    • Y10T74/18992—Reciprocating to reciprocating
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/20—Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
    • Y10T74/20305—Robotic arm

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Automatic Disk Changers (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 목적은 2개의 직동아암과 링크기구를 이용함으로써 물품의 이송작업에 있어서의 스페이스 절약화를 도모하는 데 있다.
그 구성은 서로 평행한 위치관계를 유지하고 직선적으로 이동되도록 제1 및 제2직동아암(2a, 2b)을 병설하고, 이들 직동아암의 일단부를 제1 및 제2링크(3a, 3b)를 각각 거쳐서 물품이송부(4)에 연결한다. 제1 및 제2직동아암의 직선이동에 의해 직동아암의 이동방향에 대하여 직교하는 방향에 따라서 물품이송부(4)를 직선이동시키기 위해 직진구동기구(5A)를 설치하고 제1 및 제2직동아암을 동기적이고 또한 서로 반대방향으로 직선이동시킨다. 그때 물품이송부(4)의 자세가 이동중에 불안정하게 되지않도록 제1 또는 제2직동아암과 물품이송부(4)와의 사이에 자세유지수단을 설치한다.

Description

물품의 이송기구
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 물품의 이송기구의 기본구성을 나타내는 개략도이다. 제2도는 자세유지수단에 풀리 및 타이밍벨트를 이용한 예를 나타내는 사시도이다. 제3도는 제2도의 자세유지수단의 분해사시도이다.

Claims (11)

  1. 각각의 중심축이 서로 대략 평행한 위치관계를 유지하고 직선적으로 이동되도록 병설된 제1 및 제2직동아암과 물품을 이송하는 물품이송부와, 그 일단이 제1직동아암의 일단부에 회동자재로 축지지되고, 타단부가 물품이송부에 회동자재로 축지지된 제1링크와, 그 일단이 제2직동아암의 일단부에 회동자재로 축지지되고, 타단부가 물품이송부에 회동자재로 축지지된 제2링크와, 제1, 제2직동아암을 동기적이고 서로 반대방향으로 직선이동시켜서 제1 및 제2링크에 의한 링크기구를 거쳐서 물품이송부를 제1, 제2직동아암의 중심축에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키기 위한 직진구동수단과, 물품이송부의 자세가 이동중에 변화하지 않도록 자세를 유지하기 위해 제1 또는 제2직동아암과 물품이송부와의사이에 개재되는 자세유지수단을 가지는 것을 특징으로 하는 물품의 이송기구.
  2. 제1항에 있어서, 제1 및 제2직동아암과 직진구동수단을 포함하는 기구를 제1 및 제2직동아암에 평행한 축의 주변으로 회전시키는 회전구동수단을 설치한 것을 특징으로 하는 물품의 이송기구.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 자세유지수단이 제1링크의 일단부를 축지지하기 위해 제1직동아암의 회동축에 고정된 제1타이밍풀리와 제1링크의 타단부의 회동축을 중심축으로서 물품이송부에 고정된 제2타이밍풀리와 제1타이밍풀리와 제2타이밍풀리에 걸쳐서 건너질러진 타이밍벨트로 구성된 것을 특징으로 하는 물품의 이송기구.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 자세유지수단이 제1링크의 물품이송부측의 단부에 설치된 제1기어부와 제2링크의 물품이송부측의 단부에 설치되는 또한 제1기어부와 맞물리는 제2기어부로 구성되는 것을 특징으로 하는 물품의 이송기구.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1링크의 단부와 제2링크의 단부가 물품이송부에 동일축을 가지고 회동
  6. 자재로 부착되는 동시에 자세유지수단이 제1 또는 제2링크에 대하여 병설되는 제3링크로 되고, 제3링크와 제1 또는 제2링크에 의해 평행링크기구가 구성되는 것을 특징으로하는 물품의 이송기구.
  7. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항 또는 제5항에 있어서, 직진구동수단이 제1 및 제2직동아암에 각각 별도로 설치된 랙부와, 이들 랙부의 랙에 맞물린 상태에서 회동수단에 의해 회동되는 피니온기어와를 포함하는구동기구를 가지는 것을 특징으로 하는 물품의 이송기구.
  8. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항 또는 제5항에 있어서, 직진구동수단이 회동수단에 의해 회동되는 회동레버와, 제1직동아암 및 제2직동아암과 회동레버의 단부를 각각 연결하는 커넥팅로드를 가지는 것을 특징으로 하는 물품의 이송기구.
  9. 제6항에 있어서, 피니온기어를 포함하는 구동기구를 제1, 제2직동아암의 중심축에 따르는 방향으로 이동시킴므로서 양직동아암을 동일방향으로 이동시키는 이동수단을 설치하는 것을 특징으로 하는물품의 이송기구.
  10. 제7항에 있어서, 회동레버의 회동중심을 제1, 제2직동아암의 중심축에 따른 방향으로 이동시키므로서 양직동아암을 동일방향으로 이동시키는 이동수단을 설치한 것을 특징으로 하는 물품의 이송기구.
  11. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019950000648A 1994-01-25 1995-01-16 물품의 이송기구 KR950031398A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP94-023104 1994-01-25
JP6023104A JPH07205067A (ja) 1994-01-25 1994-01-25 物品の移送機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR950031398A true KR950031398A (ko) 1995-12-18

Family

ID=12101161

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950000648A KR950031398A (ko) 1994-01-25 1995-01-16 물품의 이송기구

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5558487A (ko)
JP (1) JPH07205067A (ko)
KR (1) KR950031398A (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2558080B2 (ja) * 1994-11-02 1996-11-27 株式会社奈和精機製作所 搬送装置
US6062798A (en) * 1996-06-13 2000-05-16 Brooks Automation, Inc. Multi-level substrate processing apparatus
US6003600A (en) * 1997-10-16 1999-12-21 Halliburton Energy Services, Inc. Methods of completing wells in unconsolidated subterranean zones
US6481494B1 (en) 1997-10-16 2002-11-19 Halliburton Energy Services, Inc. Method and apparatus for frac/gravel packs
US6719516B2 (en) 1998-09-28 2004-04-13 Applied Materials, Inc. Single wafer load lock with internal wafer transport
US8166873B2 (en) * 2008-09-09 2012-05-01 Adrian Rivera Automated juice extractor
US20130309048A1 (en) * 2012-05-16 2013-11-21 Lam Research Ag Apparatus and method for transporting wafer-shaped articles
KR102393204B1 (ko) * 2015-03-31 2022-05-02 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치
AT520516B1 (de) * 2017-12-01 2019-05-15 Engel Austria Gmbh Handhabungseinrichtung für eine Formgebungsmaschine
CN116750481A (zh) * 2023-06-09 2023-09-15 未来维度(深圳)科技有限公司 一种转运系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3003392A1 (de) * 1980-01-31 1981-08-06 Bühnenbau Rolf Schnakenberg GmbH & Co KG, 5600 Wuppertal Hoehenverstellbarer podestbock fuer theaterbuehnen o.dgl.
US4909701A (en) * 1983-02-14 1990-03-20 Brooks Automation Inc. Articulated arm transfer device
US4674948A (en) * 1985-07-17 1987-06-23 Industrial Technology Institute High weight capacity robot to pick and place palleted materials in a confined space with specific rotational control
US4951601A (en) * 1986-12-19 1990-08-28 Applied Materials, Inc. Multi-chamber integrated process system
SU1514606A2 (ru) * 1988-01-20 1989-10-15 Voronezh Polt I Пpomышлehhый poбot
US5516732A (en) * 1992-12-04 1996-05-14 Sony Corporation Wafer processing machine vacuum front end method and apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US5558487A (en) 1996-09-24
JPH07205067A (ja) 1995-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR980000805A (ko) 반송장치 및 로보트 아암
KR950031398A (ko) 물품의 이송기구
JPH01183382A (ja) 機械駆動機構
DE59302635D1 (de) Greifer für eine Fördereinrichtung zum Fördern von ein- oder mehrblättrigen Druckereierzeugnissen
KR850000299A (ko) 프레스 또는 유사한 가공물 처리기계에 있어서의 가공물 반출입 장치
KR920003863A (ko) 반죽물 시트 적층 장치
JPH07205064A (ja) 工業用ロボツト
US4946337A (en) Parallel link robot arm
KR20010090752A (ko) 로봇시스템
JPH05501240A (ja) 小物品、特にパッケージを連続的な搬送経路上で位置変えする装置
JP3652211B2 (ja) 搬送装置
JP3903320B2 (ja) 姿勢変更搬送装置
JPH01303218A (ja) コンベアー
KR950031841A (ko) 네거시트 집적장치
JPH0659333U (ja) ガラス板の移載装置
US5727460A (en) Printing machine with gold blocking press type printing station
JP2002086374A (ja) 搬送装置
JPH0432331Y2 (ko)
JP3448935B2 (ja) 移載装置
JP2504181Y2 (ja) 搬送装置
JPH05208231A (ja) 自動搬送装置、ことにプレス機間における被加工材の搬送装置
JPH06263242A (ja) ベルトコンベアの仕分け装置
JP2610572B2 (ja) 適切な精度を必要とする任意に設置出来る任意の位置に、搬送物設置体を有するチエーンコンベアーの両端の回転装置が、適切な精度を必要とする任意に設置出来る任意の位置に、自動又は手動で伸縮作動することによって、確実に搬送物を搬入、搬出する搬送物設置体を有するチエーンコンベアー。
JPH0760673A (ja) 搬送位置決めロボット
JPH11188673A (ja) 物品移載装置及びそれを用いた物品収納設備

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application