KR950024009A - 액정 배향 제어막의 제조방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 표시 소자의 대표적인 액정 표시 소자에 관한 것으로, 상세하게는 액정을 균일하게 배향하기 위한 액정 배향 제어막 및 그 제조 방법과 그 제조 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
즉 엑시머 레이저의 평행광과 이를 스트라이프 상의 광으로 집속시켜주는 반구형 단면 마이크로 렌즈 어레이가 형성된 마스크를 사용하여 도포된 폴리이미드를 용융증발 시킴으로써, 배향막 제작시 정전기 발생을 근원적으로 없애 TFT 소자의 파손을 방지하고, 단파장의 펄스파를 광원으로 사용하므로 제작 속도가 빨라 생산성이 높으며, 동일한 기판에 같은 제작 공정을 반복적으로 행할 수 있어 기판 크기에 대한 제약이 없어 대면적의 기판에도 적용 가능한 장점이 있다.
또한 마스크의 반구형 단면 마이크로 렌즈 어레이의 설계 및 제작에 있어서 변형이 용이하므로 배향막의 홈의 두께 및 폭의 조절이 매우 쉬운 장점이 있다. 더우기 배향막 제작시 기판을 기울인다든가 한번 제작된 배향막에 덧 씌우기를 함으로써 배양 및 홈의 폭에 대한 조절성은 매우 뛰어나다는 장점이 있다.

Description

액정 배향 제어막의 제조방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 액정 배향 제어막 단면도.
제4도는 본 발명에 따른 액정 배향 제어막의 제조장치의 개략적 배치도.
제5도 내지 제9도는 액정 배향 제어막의 제조 공정에 사용되는 마스크 제조 공정도.

Claims (13)

  1. 액정이 접촉되는 액정 표시 소자의 기판 내면에 소정의 두께와 폭을 가지고, 그 측면이 기판면과 수직이거나 수직선에 대해 소정 각도만큼 기울어진, 소정의 간격으로 다수 나란하게 스트라이프 상으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 배향 제어막.
  2. 제1항에 있어서, 액정 배향 제어막은 상기 기판 상면에 상기 스트라이프상 또는 상기 소정의 각도만큼 기울어진 형태의 스트라이프 상으로 형성된 다음, 상기 기판 전면에 걸쳐 소정의 두께로 상기 스트라이프 상으로 형성된 것과 같은 재료를 거듭 도포하여 상기 액정 배향 제어막의 홈의 두께 및 폭이 조절될 수 있는 점에 특징이 있는 액정 배향 제어막.
  3. 액정 배향 제어막을 광학적 수단으로 형성하기 위한 광원과, 상기 광원에서 방사되는 광을 평행광으로 만들어 주는 평행광 형성용 광학계와, 상기 광학계에서 나온 상기 평행광을 스트라이프 상으로 집속시켜주는 소정 길이의 반구형 단면 마이크로 렌즈가 다수 나란하게 배열된 렌즈 어레이가 형성된 마스크를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 액정 배향 제어막 제조 장치.
  4. 제3항에 있어서, 광원은 단파장의 펄스파를 발생시키는 것을 특징으로 하는 액정 배향 제어막 제조 장치.
  5. 제3항에 있어서, 반구형 단면 마이크로 렌즈 어레이가 일측면에 형성된 마스크는 그 기판이 투명기판으로 만들어지며, 상기 렌즈 어레이 사이 마다 불필요한 광을 차단하는 광 차단층이 마련되고, 상기 반구형 단면 렌즈 어레이 및 상기 차단층이 형성된 상기 기판면의 대응면에는 광 무반사 코팅막이 형성된 점에 특징이 있는 액정 배향 제어막 제조 장치.
  6. 제3항 내지 제5항에 있어서, 마이크로 렌즈 어레이는 Al, Mo, Ta, Ti, Cr, Ni의 금속을 산화시켜 제작되는 것을 특징으로 하는 액정 배향 제어막 제조 장치.
  7. 제5항에 있어서, 차단층은 A1, Cr, Mo, Ta의 금속이나 SiO2, TiO2, ZnS, MF2, ThF4, ZrO2의 유전체를 적어도 한가지 이상 사용하여 형성된 것을 특징으로 하는 액정 배향 제어막 제조 장치.
  8. 투명 기판 상면에 소정의 금속 패턴을 스트라이프 상으로 형성하는 금속 패턴 형성 단계와, 상기 금속 패턴 형성 단계에서 기판 상에 형성된 금속 패턴을 소정의 온도로 가열하면서 소정의 단위 면적당의 에너지로 광을 조사하여 상기 금속 패턴을 용융시킨후 냉각시켜 반구형 단면의 금속 패턴 스트라이프를 다수 나란하게 형성하는 반구형 단면 마이크로 렌즈 어레이 형성 단계와, 상기 반구형 단면 마이크로 렌즈 형성 단계를 마친 기판을 양극 산화법으로 금속 패턴을 산화시켜 물리적 구조를 치밀화시킴으로써 반구형 단면의 마이크로 렌즈 어레이를 형성하는 단계와, 상기 산화 단계에서 형성시킨 상기 렌즈 어레이 사이에 반사성이 높은 금속이나 유전체를 각각 증착법이나 사진 식각법을 사용하여 광차단층을 형성하는 차단층 형성 단계와, 상기 차단층이 형성된 기판의 대응면에 무반사 코팅막을 형성하는 코팅 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 배향 제어막 제조 장치의 마스크 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 산화 단계에서의 양극 산화법은 상기 반구형 단면의 금속 패턴이 형성된 기판을 암모늄 주석산염 3% 수용액에 담궈서 상기 금속 패턴을 산화시키는 점에 특징이 있는 상기 장치의 마스크 제조 방법.
  10. 제8항에 있어서, 마스크의 반구형 단면 렌즈 어레이는 이온 교환법, 사진 식각법, 실리콘 열 산화막법에 의해서도 형성될 수 있는 점에 특징이 있는 상기 장치의 마스크 제조 방법.
  11. 액정이 접촉되는 액정 표시 소자의 투명 기판 표면에 소정의 두께로 액정 배향 제어막을 도포하는 액정 배향 제어막 도포 단계와, 상기 액정 배향 제어막에 반구형 단면 마이크로 렌즈 어레이에서 나오는 스트라이프 형태의 집속된 광을 입사시켜 광이 닿은 상기 도포된 액정 배향 제어막을 증발시켜 스트립 상의 막을 소정의 간격으로 다수 나란하게 형성하는 액정 배향 제어막 형성 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 배향 제어막 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서, 스트라이프 구조 형성 단계에서 상기 기판을 소정의 각도 만큼 기울여 스트라이프 상의 액정 배향 제어막이 일정 방향으로 기울어지게 형성할 수도 있는 점에 특징이 있는 액정 배향 제어막 제조 방법.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서, 스트라이프 구조의 액정 배향 제어막 형성후 같은 재료로 상기 기판 전면에 걸쳐 거듭 도포함으로써, 스트라이프 구조 형성으로 생긴 홈의 두께 및 폭을 조절할 수 있는 점에 특징이 있는 액정 배향 제어막 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980040604A (ko) * 1996-11-29 1998-08-17 손욱 액정의 배향처리방법
KR100762174B1 (ko) * 2001-09-05 2007-10-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치용 배향막 및 그의 제조방법

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2708382B2 (ja) * 1994-10-14 1998-02-04 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 液晶表示装置用基板の製造方法、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置
KR100201841B1 (ko) * 1996-11-29 1999-06-15 구자홍 액정셀 제조방법
JPH11142850A (ja) * 1997-11-05 1999-05-28 Hitachi Ltd 偏光照射方法とその装置
US6924860B2 (en) * 1997-11-05 2005-08-02 Hitachi, Ltd. Polarized UV light irradiation method for liquid crystal display device
GB9902404D0 (en) * 1999-02-03 1999-03-24 Rolic Ag Method of imparting preferred alignment, and liquid crystal device elements incorporating a preferred alignment
DE19915666A1 (de) * 1999-04-07 2000-10-19 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur selektiven Kontaktierung von Solarzellen
US6483969B1 (en) * 1999-12-01 2002-11-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Apparatus, assembly, and method for making micro-fixtured lensed assembly for optoelectronic devices and optical fibers
KR100570973B1 (ko) * 2003-05-02 2006-04-13 삼성에스디아이 주식회사 광차단용 기판을 구비한 표시장치 및 그의 제조방법
DE10342674B4 (de) * 2003-09-16 2007-07-19 Leonhard Kurz Gmbh & Co. Kg Verfahren und Foliensystem zur Herstellung eines individualisierten optisch variablen Elements
JP4244909B2 (ja) * 2004-11-04 2009-03-25 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置の製造方法
JP2006166275A (ja) * 2004-12-10 2006-06-22 Seiko Epson Corp 水晶デバイスの製造方法
TWI412079B (zh) 2006-07-28 2013-10-11 Semiconductor Energy Lab 製造顯示裝置的方法
US7994021B2 (en) * 2006-07-28 2011-08-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing semiconductor device
US10401729B2 (en) * 2012-05-14 2019-09-03 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Roller mold manufacturing apparatus and method
JP5953512B2 (ja) * 2012-07-05 2016-07-20 株式会社ブイ・テクノロジー 光配向露光装置及び光配向露光方法
US10324370B2 (en) * 2016-09-06 2019-06-18 Unimicron Technology Corp. Manufacturing method of circuit substrate and mask structure and manufacturing method thereof
KR102018215B1 (ko) * 2017-11-28 2019-09-04 한국세라믹기술원 미세 패턴 및 패턴의 형상 제어방법.

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5619030A (en) * 1979-07-25 1981-02-23 Sharp Corp Production of liquid crystal display element
JPS60217339A (ja) * 1984-04-13 1985-10-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JPH01243024A (ja) * 1988-03-24 1989-09-27 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd パターン化された高分子膜を用いる液晶配向膜およびその製法
JPH05134103A (ja) * 1991-11-15 1993-05-28 Omron Corp マイクロレンズ・アレイ，そのスタンパおよびそれらの製造方法
JPH05224206A (ja) * 1992-02-15 1993-09-03 Seiko Instr Inc 液晶用配向膜の配向処理装置および方法
JPH06130389A (ja) * 1992-10-19 1994-05-13 Nissin Electric Co Ltd 配向膜の配向処理方法
JPH06130390A (ja) * 1992-10-19 1994-05-13 Nissin Electric Co Ltd 配向膜の配向処理方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980040604A (ko) * 1996-11-29 1998-08-17 손욱 액정의 배향처리방법
KR100762174B1 (ko) * 2001-09-05 2007-10-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치용 배향막 및 그의 제조방법

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Publication number Publication date
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US5587822A (en) 1996-12-24

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