JP5608444B2 - ガラス製マイクロレンズアレイの製造方法 - Google Patents
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図1は、本発明の実施形態に係るガラス製マイクロレンズアレイの製造方法の概念図である。
B0601 1994)をカットオフ値0.25mmで任意の10箇所以上を測定した際に、いずれもRaが20nm以下となる研磨状態のことを意味し、予めガラス基板を鏡面研磨することによって、より高精度な凹レンズ状部を形成することができる。
B0601 1994)が、カットオフ値0.25mmで任意の10箇所以上を測定した際に、いずれもRaが20nm以下となる様に表面を鏡面研磨したシリカガラス基板1を用意し(図1(a))、シリカガラス基板1の表面に金属アルミニウム膜2を真空蒸着装置で100μm蒸着し、シリカガラス基板1の表面に金属アルミニウム膜2を形成する(図1(b))。
鏡面加工した□20mmの合成シリカガラス基板の表面に金属アルミニウム膜(膜厚:84nm)を抵抗加熱式真空蒸着機にて蒸着し、800×600個の応力場を14μmピッチでレーザにて形成した。その際のレーザ条件は波長355nm、出力710mW、24μJ/パルス(単パルス加工)、焦点距離100mmであった。その後、濃度50%の塩酸にて残存する金属アルミニウム膜を除去し、超純水中にて超音波洗浄を行い、60℃のクリーンオーブン内で乾燥した。この時合成シリカガラス基板の表面には、多数の小径凹部が確認された。その後、49%フッ酸溶液に18分ディップした結果、曲率半径15.8μmの凹レンズ状部が形成された合成シリカガラス凹型マイクロレンズアレイを得た。
1a 小径凹部
2 レーザ光を吸収する膜
3 凹レンズ状(レンズ)部
s 応力発生域
Claims (4)
- 鏡面研磨されたガラス基板上にレーザ光を吸収する膜厚30nm〜1000nmの金属アルミニウムの薄膜を形成し、前記薄膜に該薄膜側から波長355nmのレーザ光を照射してガラス基板に局所的な応力を与え、その後前記薄膜を除去し、前記ガラス基板にドライ・エッチングあるいはウエット・エッチングを施して、前記局所的に応力が存在する部分を凹状に加工することを特徴するガラス基板の加工方法。
- 前記レーザ光を照射した後に前記薄膜を除去し、前記ガラス基板にドライ・エッチングまたはウエット・エッチングを施して、前記局所的に応力が存在する部分を凹レンズ状に加工することにより、ガラス製マイクロレンズアレイを製造することを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の加工方法。
- 前記局所的な応力付与により、レーザ光が照射された前記薄膜の直下のガラス表面に小径凹部が形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板の加工方法。
- 前記レーザ光を照射した後に前記薄膜を除去し、前記ガラス基板にドライ・エッチングまたはウエット・エッチングを施して、前記局所的に応力が存在する部分に断面が凹レンズ状のガラス製マイクロレンズアレイを製造することを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板の加工方法。
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