JP2009146979A - 光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来よりも生産性を向上させることができる光電変換装置を提供する。
【解決手段】ガラス板23の両面のうち、VCSELベアチップ10に対向する側の面に配線パターン30を形成し、配線パターン30とVCSELベアチップ10の電極とをはんだで接合してVCSELモジュール1を形成し、VCSELモジュール1のベアチップを受け入れるための開口を電子回路基板90に形成し、ガラス板23の周縁部を電子回路基板90における開口の周囲箇所に重ね合わせ、その重ね合わせの領域における電子回路基板90の配線パターンとガラス板23の配線パターン30とをはんだで接合し、且つ、電子回路基板90の両面のうち、ガラス板23の周縁部と重ね合わせられる側の面を光電変換装置の図示しない基板保持部材に突き当てることで、VCSELモジュール1を基板保持部材に対して位置合わせした。
【選択図】図9
【解決手段】ガラス板23の両面のうち、VCSELベアチップ10に対向する側の面に配線パターン30を形成し、配線パターン30とVCSELベアチップ10の電極とをはんだで接合してVCSELモジュール1を形成し、VCSELモジュール1のベアチップを受け入れるための開口を電子回路基板90に形成し、ガラス板23の周縁部を電子回路基板90における開口の周囲箇所に重ね合わせ、その重ね合わせの領域における電子回路基板90の配線パターンとガラス板23の配線パターン30とをはんだで接合し、且つ、電子回路基板90の両面のうち、ガラス板23の周縁部と重ね合わせられる側の面を光電変換装置の図示しない基板保持部材に突き当てることで、VCSELモジュール1を基板保持部材に対して位置合わせした。
【選択図】図9
Description
本発明は、電気信号に基づいて光を出射するか、あるいは受光した光を電気信号に変換する光電変換装置に関するものである。
従来、この種の光電変換装置として、特許文献1に記載のようなパッケージ型のVCSEL(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser)モジュールや、これを実装した電子回路基板などを備えるものが知られている。図30は、パッケージ型のVCSELモジュールを備える従来の光電変換装置の要部を示す概略構成図である。同図では、光電変換装置として、VCSELモジュール内のVCSELベアチップ10から発した光を図示しない光照射対象物に向けて照射する光源装置を示している。この光源装置は、パッケージ型のVCSELモジュール900が実装された電子回路基板90や、これの上方に配設された光学系2などを備えている。
パッケージ型のVCSELモジュール900は、VCSELベアチップ10、シリコンからなるパッケージ基板901、同じくシリコンからなるパッケージ側板902、パッケージ側板902の上に固定されたガラス板903などを具備している。そして、VCSELベアチップ10は、その底面に形成された図示しないアース電極と、パッケージ基板901の図示しない電極との間に介在する導電性接着剤905により、パッケージ基板901の表面上に接合されている。VCSELベアチップ10のおもて面側には、図示しない複数の発光部からそれぞれ個別に延びている図示しない複数の駆動電極が形成されている。これら複数の駆動電極は、それぞれ、ワイヤーボンディング工法によって設けられた複数のワイヤ904により、パッケージ基板901の図示しない電極に電気的に接合されている。また、パッケージ基板901の裏面には、VCSELベアチップ10の複数の駆動電極や、VCSELペアチップ10の底面に形成されたアース電極に繋がっている図示しない複数の電極が形成されている。これら複数の電極が、電子回路基板90に設けられた図示しない複数の電極とそれぞれはんだ910によって接合されることで、パッケージ型のVCSELモジュール900が電子回路基板90の表面上に固定されている。
パッケージ型のVCSELモジュール900のVCSELベアチップ10から発せられたレーザー光Lは、モジュールのガラス板903を透過してモジュール外に出る。そして、光学系2のビームスプリッタ202と結像レンズ201とを順次透過した後、図示しないレーザー光照射対象物に至る。この際、ビームスプリッタ202に進入したレーザー光Lの一部が、レーザー進入方向に対してほぼ直角に偏向せしめられて、エネルギーモニター用のレーザー光検知装置203によって検知される。
パッケージ型のVCSELモジュール900が実装された電子回路基板90は、VCSELモジュール900のガラス板901のおもて面を基板保持部材3に突き当てた状態で取り付けネジ301によって基板保持部材3に固定されている。この突き当てにより、VCSELモジュール900の基板保持部材3に対する位置決めが行われている。一方、ビームスプリッタ202やレーザー光検知装置203は、スプリッタ保持板2aに固定されている。基板保持部材3とスプリッタ保持板2aとは、両者間に軸部材302が介在せしめられた状態で、煽り角調整ネジ303によって互いに接続されている。この煽り角調整ネジ303を回転させることで、軸部材302を中心にして基板保持部材3のスプリッタ保持板2aに対する傾きを調整する。これにより、VCSELベアチップ10から発せられたレーザー光Lの光軸調整を行うことができる。
上述したように、図示の光源装置では、電子回路基板90がVCSELモジュール900のガラス板903を基板保持部材3に突き当てた状態で取り付けネジ301によって基板保持部材3に固定されると、VCSELモジュール900が基板保持部材3に対して位置決めされる。このとき、基板保持部材3のモジュール保持面と、VCSELモジュール900内のVCSELベアチップ10との平行度が良好に保たれていたとする。すると、煽り角調整ネジ303を操作しなくても、レーザー光Lの光軸方向をビームスプリッタ202面に対してほぼ垂直な方向に沿わせることができるため、煽り角調整ネジ303の操作による光軸調整を省略することができる。但し、基板保持部材3のモジュール保持面と、VCSELベアチップ10との平行度が良好に保たれていない場合には、VCSELベアチップ10から発せられるレーザー光Lの光軸方向がビームスプリッタ202面に対する垂直方向から傾いてしまう。このため、熟練技術者による煽り角調整ネジ303の操作で光軸方向を調整する必要が生じてしまう。
図示の光源装置においては、基板保持部材3のモジュール保持面と、VCSELモジュール900内のVCSELベアチップ10との間に、ガラス板903と、パッケージ側板902と、パッケージ基板901のおもて面と、導電性接着剤905とが介在している。このため、基板保持部材3のモジュール保持面と、VCSELベアチップ10との平行度を低下させる要因として、次に掲げるものが発生する。
(1)ガラス板903の厚みのばらつき。
(2)パッケージ側板902の高さのばらつき。
(3)パッケージ基板901のおもて面の微妙な歪み。
(4)導電性接着剤905の厚みのばらつき。
(5)ガラス板903とパッケージ側板902との間に存在する接着剤の厚みのばらつき。
(1)ガラス板903の厚みのばらつき。
(2)パッケージ側板902の高さのばらつき。
(3)パッケージ基板901のおもて面の微妙な歪み。
(4)導電性接着剤905の厚みのばらつき。
(5)ガラス板903とパッケージ側板902との間に存在する接着剤の厚みのばらつき。
図示の光源装置では、これらの要因により、VCSELベアチップ10を基板保持部材3のモジュール保持面に対して微妙に傾けてしまうことが多かった。このため、VCSELモジュール900を基板保持部材3に取り付けて両者の一体物であるモジュール保持ユニットを作成する工程において、得られるモジュール保持ユニットの殆どは、光軸調整を行わなければならないものであった。そして、前述の工程で得られたモジュール保持ユニットの殆どについて、それぞれ光軸調整を行うことで生産性を低下させてしまうという問題があった。
なお、光電変換ベアチップとしてVCSELベアチップ10を備える光源装置における問題について説明したが、撮像用のCCD(Charge Coupled Device)ベアチップやCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)ベアチップなど、他の光電変換ベアチップを備える光電変換装置にも同様の問題が生じ得る。
本発明は、以上の背景に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、従来よりも生産性を向上させることができる光電変換装置を提供することである。
上記目的を達成するために、請求項1の発明は、電気信号を光に変換して発光する発光部、又は受光した光を電気信号に変換する受光部を半導体基板の表面上に有する光電変換ベアチップと、該発光部から出射された光を自らに対して厚み方向に透過させるか、あるいは自らを厚み方向に透過した光を該受光部に入射させるかするように、該光電変換ベアチップに対向配設された光透過板とを有する光電変換モジュールと、該光電変換モジュール、及び該光電変換モジュールに電気接続される電子部品が実装された電子回路基板と、該電子回路基板を保持する保持体とを備える光電変換装置において、上記光透過板の両面のうち、上記光電変換ベアチップに対向する側の面に配線パターンを形成し、該配線パターンと該光電変換ベアチップの電極とを導電性接合材で接合して上記光電変換モジュールを形成し、該光電変換モジュールの該光電変換ベアチップを受け入れるための開口又は凹部を上記電子回路基板に形成し、該光電変換ベアチップを該電子回路基板の該開口又は凹部内に受け入れさせつつ上記光透過板の周縁部を該電子回路基板における該開口又は凹部の周囲箇所に重ね合わせ、その重ね合わせの領域における該電子回路基板の配線パターンと該光透過板の配線パターンとを導電性接合材で接合し、且つ、該電子回路基板の両面のうち、該光透過板の周縁部と重ね合わせられる側の面を上記保持体に突き当てることで、該VCSELモジュールを該保持体に対して位置合わせしたことを特徴とするものである。
また、請求項2の発明は、請求項1の光電変換装置であって、上記光電変換モジュールが、上記発光部を有する発光モジュールであることを特徴とするものである。
また、請求項3の発明は、請求項1の光電変換装置であって、上記光電変換モジュールが、上記受光部を有する受光モジュールであることを特徴とするものである。
また、請求項2の発明は、請求項1の光電変換装置であって、上記光電変換モジュールが、上記発光部を有する発光モジュールであることを特徴とするものである。
また、請求項3の発明は、請求項1の光電変換装置であって、上記光電変換モジュールが、上記受光部を有する受光モジュールであることを特徴とするものである。
これらの発明においては、保持体における電子回路基板突き当て面が、電子回路基板を介して光電変換モジュールを保持するモジュール保持面となる。このモジュール保持面と、光電変換モジュール内の光電変換ベアチップとの間には、電子回路基板のモジュール搭載側の面と、光透過板のベアチップ搭載側の面と、それら面の間に存在する導電性接合材と、光透過板のベアチップ搭載面〜ベアチップの間に存在する導電性接合材とを介在させる。これらのうち、電子回路基板のモジュール搭載側の面は、保持体のモジュール保持面に突き当てられることでモジュール保持面に対して平行な姿勢をとることになる。よって、保持体のモジュール保持面と、光電変換ベアチップとの平行度を低下させる要因としては、次に掲げるものが発生する。
(A)電子回路基板のモジュール搭載側の面と、光透過板のベアチップ搭載側の面との間に介在する導電性接合材の厚みのばらつき。
(B)光透過板のベアチップ搭載側の面における微妙な歪み。
(C)光透過板のベアチップ搭載側の面と、光電変換ベアチップとの間に介在する導電性接合材の厚みのばらつき。
本発明における光電変換ベアチップと、図30に示した従来の光源装置(以下、従来装置という)におけるVCSELベアチップ10との大きさが互いに同じであれば、上記要因(A)〜(C)のうち、上記要因(B)による上記平行度の低下量は、従来装置における上記要因(3)による上記平行度の低下量と同程度になる。また、本発明における上記要因(C)による上記平行度の低下量は、従来装置における上記要因(4)による上記平行度の低下量と同程度になる。すると、本発明が上記平行度を上記要因(A)によって低下させるのに対し、従来装置が上記平行度を上記要因(1)、要因(2)及び要因(5)によって低下させる点で、両者が相違する。本発明の上記要因(A)における導電性接合材の厚みについては、従来装置の上記要因(1)におけるガラス板903の厚みと、上記要因(2)におけるパッケージ側板902の高さと、上記要因(5)における接着剤の厚みとの合計よりも、かなり小さな値にすることが可能である。すると、本発明の上記要因(A)による上記平行度の低下量が、従来装置の上記要因(1)、要因(2)及び要因(5)による上記平行度の低下量よりもかなり小さなものになるため、光電変換ベアチップと、保持体のモジュール保持面との平行度が従来よりも向上する。このように平行度が向上すると、光電変換モジュールを保持体に取り付けてモジュール保持ユニットを作成する工程において、光電変換モジュールの光軸調整を行わなくても、光電変換モジュールの光軸を所定の位置に存在させることが可能なモジュール保持ユニットを従来よりも高確率で得ることができる。これにより、モジュール保持ユニットを具備する光電変換装置を複数製造する工程において、光軸調整を行う頻度を低下させて生産性を向上させることができる。
(A)電子回路基板のモジュール搭載側の面と、光透過板のベアチップ搭載側の面との間に介在する導電性接合材の厚みのばらつき。
(B)光透過板のベアチップ搭載側の面における微妙な歪み。
(C)光透過板のベアチップ搭載側の面と、光電変換ベアチップとの間に介在する導電性接合材の厚みのばらつき。
本発明における光電変換ベアチップと、図30に示した従来の光源装置(以下、従来装置という)におけるVCSELベアチップ10との大きさが互いに同じであれば、上記要因(A)〜(C)のうち、上記要因(B)による上記平行度の低下量は、従来装置における上記要因(3)による上記平行度の低下量と同程度になる。また、本発明における上記要因(C)による上記平行度の低下量は、従来装置における上記要因(4)による上記平行度の低下量と同程度になる。すると、本発明が上記平行度を上記要因(A)によって低下させるのに対し、従来装置が上記平行度を上記要因(1)、要因(2)及び要因(5)によって低下させる点で、両者が相違する。本発明の上記要因(A)における導電性接合材の厚みについては、従来装置の上記要因(1)におけるガラス板903の厚みと、上記要因(2)におけるパッケージ側板902の高さと、上記要因(5)における接着剤の厚みとの合計よりも、かなり小さな値にすることが可能である。すると、本発明の上記要因(A)による上記平行度の低下量が、従来装置の上記要因(1)、要因(2)及び要因(5)による上記平行度の低下量よりもかなり小さなものになるため、光電変換ベアチップと、保持体のモジュール保持面との平行度が従来よりも向上する。このように平行度が向上すると、光電変換モジュールを保持体に取り付けてモジュール保持ユニットを作成する工程において、光電変換モジュールの光軸調整を行わなくても、光電変換モジュールの光軸を所定の位置に存在させることが可能なモジュール保持ユニットを従来よりも高確率で得ることができる。これにより、モジュール保持ユニットを具備する光電変換装置を複数製造する工程において、光軸調整を行う頻度を低下させて生産性を向上させることができる。
以下、本発明を適用した光電変換装置である光源装置の一実施形態について説明する。
図1は本実施形態に係る光源装置における光電変換モジュールとしてのVCSELモジュール1の一構成例を示す断面図である。このVCSELモジュール1は、電気信号に基づいて光を発する光電変換ベアチップとしての垂直共振器型面発光レーザーチップ(以下「VCSELベアチップ」という。)10と、VCSELベアチップ10の発光部側に設けられる光透過板としてのガラス板23とを備えている。
図1は本実施形態に係る光源装置における光電変換モジュールとしてのVCSELモジュール1の一構成例を示す断面図である。このVCSELモジュール1は、電気信号に基づいて光を発する光電変換ベアチップとしての垂直共振器型面発光レーザーチップ(以下「VCSELベアチップ」という。)10と、VCSELベアチップ10の発光部側に設けられる光透過板としてのガラス板23とを備えている。
上記VCSELベアチップ10は、端面からではなく、厚さ方向に直交する半導体基板面から所定の波長のレーザー光を出射するものである。なお、本実施形態では、光電変換ベアチップとして、化合物半導体が積層された構造で波長780[nm]のレーザー光を出力するVCSELベアチップ10を有する光源装置について説明するが、VCSELベアチップ10に限定されることなく、他の光電変換ベアチップを有する光電変換装置にも適用することができる。例えば、発光部の代わりに受光部を具備するCCD撮像ベアチップやCMOS撮像ベアチップを光電変換ベアチップとして有する光電変換装置にも、本発明の適用が可能である。
光透過板としてのガラス板23は、VCSELベアチップ10から出力されるレーザー光(本実施形態の場合は波長780nmのレーザー光)を透過させるガラス基板20と、その両面にそれぞれ形成された反射防止膜21とを有している。ガラス板23のVCSELベアチップ10側の面には、VCSELベアチップ10の駆動電極と接続されるチップ接続用電極と、ガラス板23の端部にある基板接続用電極と、これらのチップ接続用電極と基板接続用電極とを結ぶリード部(配線部)とを有する配線パターン30が形成されている。一方、VCSELベアチップ10は、半導体基板表面方向の周縁部に複数の駆動電極を有している。これら駆動電極と、ガラス板23に形成された配線パターン20のチップ接続用電極とが、導電性の接合材料40を介して接合されている。また、VCSELベアチップ10の外縁部とガラス板23の表面との間には樹脂50が固着しており、これにより、VCSELベアチップ10とガラス板23との隙間が密閉空間70になっている。この密閉空間70には、結露を防止するために、乾燥窒素ガス等の乾燥気体が充填されている。また、ガラス板23上の配線パターン30の周縁部にある基板接続用電極には、図示しない電子回路基板の配線パターンと接続するための導電性の接合材料60が設けられている。
ガラス板23のガラス基板20の材料としては、記号BK7、D263又はCG−1等のガラス、比較的安価な合成石英、ソーダライムガラスなどを使用することができる。上記BK7、D263、CG−1等からなるガラス基板20は、図2(a),(b)に示すように780[nm]を含む広い波長範囲で良好な分光透過率を有している。
また、ガラス基板20の両面に形成される反射防止膜21としては、例えば、図3に示すようなSiO膜21a及びSiO2膜21bからなる2層構造のものを採用することができる。図示の例では、まずガラス基板20(例えば、材料:D263,厚さ:0.55mm)の表面にSiO層21a(例えば、厚さ:100nm)が蒸着によって形成され、更にその上にSiO2膜21b(例えば、厚さ:100nm)が蒸着によって形成されている。この反射防止膜21は、配線パターン30などを形成する前に予めガラス基板20の両面に形成してもいいし、配線パターン30などを形成した後、接合材料40、接合材料60を配線パターン30上に設ける前に形成してもよい。また、反射防止膜21は、ガラス基板20の全面に形成してもいいし、少なくともVCSELベアチップ10からのレーザー光が透過する表面部分に選択的に形成してもよい。
反射防止膜12の劣化を防止するために、反射防止膜12の表面を、樹脂(例えばポリイミドからなる樹脂テープ、樹脂シート、フィラーレスの高透明タイプのフィルムなど)で保護してもよい。例えば、240[℃]あるいは260[℃]の耐リフロー性を有する半導体用接着剤シートを貼付して、反射防止膜12の表面を保護することができる。この半導体用接着剤シートは、熱可塑性樹脂、エポキシ樹脂、無機粒子及び硬化剤からなる接着剤層(厚さ:30,50,100μm)がカバーフィルム(PETフィルム,厚さ:38,75μm)で挟まれたサンドイッチ構造になっているものである。リフロー等の高温処理の後においても、高い透明性(波長780nmに対する分光透過率:97%)を発揮することができるシートである。上述したフィラーレスの高透明タイプのフィルムとしては、例えば、滑剤が混練されていない材料からなる樹脂フィルムを用いることができる。
配線パターン30の材料には、後述する接合工程で用いられるレーザー光(例えば波長1064nmのYAGレーザー光)の照射による損傷や劣化を受け難い導電性材料が採用されている。その具体例としては、アルミニウム、金、銅等を挙げることができる。
接合材料40には、後述する接合工程で用いられるレーザー光(例えば波長1064nmのYAGレーザー光)を吸収して溶融する、はんだと同等以下の電気抵抗を有する金属材料や、結晶構造が面心立方格子構造以外の金属材料が採用されている。VCSELベアチップ10がレーザー発光駆動時の発熱によって面方向に沿って伸縮する場合があり、かかる伸縮が発生した場合でもVCSELベアチップ10側の駆動電極とガラス板23表面上に形成されたチップ接続用電極との間の接合を維持できるように、接合材料40としては延性がある金属材料が好ましい。接合材料40として使用可能な金属材料の具体例としては、はんだ、モリブデン、亜鉛、コバルト、タングステン、スズ、カドニウム等がある。また、はんだとしては、比較的溶融温度が低いSn−Ag−Cu系はんだ、Sn−Bi系はんだ等を用いることができる。より具体的には、次の(1)〜(5)に示すはんだペーストを用いることができる。
(1)合金組成:Sn−3Ag−0.5Cu,溶融温度(固相線:217°C,液相線:220°C)
(2)合金組成:Sn−58Bi,溶融温度(固相線:139°C,液相線:141°C)
(3)合金組成:Sn−57Bi−1Ag,溶融温度(固相線:138°C,液相線:204°C)
(4)合金組成:42Sn/Ag/57Bi,溶融温度(138°C)
(5)合金組成:Sn/Bi/Cu,溶融温度(固相線:139°C,液相線:170°C)
(1)合金組成:Sn−3Ag−0.5Cu,溶融温度(固相線:217°C,液相線:220°C)
(2)合金組成:Sn−58Bi,溶融温度(固相線:139°C,液相線:141°C)
(3)合金組成:Sn−57Bi−1Ag,溶融温度(固相線:138°C,液相線:204°C)
(4)合金組成:42Sn/Ag/57Bi,溶融温度(138°C)
(5)合金組成:Sn/Bi/Cu,溶融温度(固相線:139°C,液相線:170°C)
密閉空間70を実現するためにVCSELベアチップ10の外縁部に固定される樹脂50としては、例えばエポキシ樹脂を使用することができる。より具体的には、黒色一液製エポキシ樹脂を塗布し、硬化条件(例えば100°C/1時間+150°C/1時間)で硬化させて使用すればよい。
なお、ガラス板23のVCSELベアチップ10に対向する面に銅箔、アルミ箔等の金属膜付き樹脂(例えばポリイミド)テープを貼り付け、その銅箔の不要部分を、エキシマレーザー(例えば波長248nm)やYAG3倍波レーザー(例えば波長355nm)等の紫外レーザー等で選択的に除去することにより、配線パターン30を形成してもよい。そして、この配線パターン30のチップ接続用電極を構成する部分にある金属膜の表面をはんだメッキし、そのはんだを介して配線パターン30のチップ接続用電極とVCSELベアチップ10の駆動電極とを後述する接合工程で接合するようにしてもよい。
また、ガラス板23のVCSELベアチップ10に対向する面に、次のような配線パターン30を形成してもよい。即ち、まず、VCSELベアチップ10の駆動電極と接続されるチップ接続用電極と基板接続用電極と両電極間を結ぶリード部(配線部)とからなるアルミニウムからなるアルミ層を全面形成した後、それをフォトリソグラフィー法等によってパターン加工する。次いで、パターン化されたアルミ層の表面にニッケルメッキ層と金メッキ層とを順次積層したものである。この場合、配線パターン30の上から、ガラス基板全面に反射防止膜21を形成する。
図4はVCSELベアチップ10の一構成例を示す平面図である。このVCSELベアチップ10は、一辺の長さが例えば1[mm]程度の板状の半導体ベアチップであり、その中央部に複数の発光部11を備え、それら発光部11からは、それぞれチップ外縁部に向けてチップ内配線13が延びている。これら複数のチップ内配線13それぞれの端部には駆動電極12が設けられている。
図5(a)はガラス板23の一構成例を示す平面図である。図示のように、ガラス板23は、基板接続用電極が形成されている周縁部が、VCSELベアチップ10に対向している対向部分20’よりも外側に露出するように、面方向のサイズがVCSELベアチップ10よりも大きくなっている。また、ガラス板23の中央部のVCSELベアチップ10に対向している対向部分20’の表面(紙面の裏側)には、VCSELベアチップ10の駆動電極に接合されるチップ接続用電極31が形成されている(図5(b)参照)。このチップ接続用電極31と、ガラス板23の周縁部に形成された基板接続用電極32と、両電極間を結ぶリード部(配線部)33とにより、配線パターン30が構成されている。
配線パターン30には、VCSELベアチップ10側に接続されるチップ接続用電極と、基板側に接続される基板接続用電極とを結ぶリード部(配線部)の途中に、はんだ供給用の中間パッドを設けてもよい。この場合は、リード部(配線部)の途中にある中間パッドにはんだを供給した後、加熱することにより、中間パッド上のはんだを溶融させて配線パターン表面で濡れ広がらせる。これにより、配線パターンにおけるチップ接続用電極32の上にはんだからなる接合材40を固定することができる。特に、チップ接続用電極のサイズや配線の幅が小さくそれらの表面にはんだを直接付けることが難しい場合でも、中間パッドからの溶融はんだを延ばして供給することにより、配線パターン30のチップ接続用電極及びそこから延びるリード部(配線部)の表面を確実に接合材40であるはんだで覆うことができる。
上述の中間パッドについては、その中間パッドとチップ接続用電極との距離を各配線パターン30で互いに等しくなるように設けることが望ましい。この場合は、複数の配線パターン30におけるはんだ供給用の中間パッドとチップ接続用電極との距離が互いに等しいので、中間パッドにはんだを供給した後、同じ加熱処理条件で中間パッド上の溶融はんだをチップ接続用電極まで行き渡らせることができる。これにより、複数のチップ接続用電極を確実に接合材40であるはんだで覆うことができる。
図6(a)〜(d)ははんだ供給用の中間パッド34を有する配線パターン30の構成例を示す説明図である。図6(a)の配線パターン30には、チップ接続用電極31から外側の基板接続用電極32に向かって互いに平行に且つ直線的に延びるように、中間パッド34が形成されている。この場合、チップ接続用電極31及び中間パッド34の幅が同程度に設定され、複数の配線パターン30をコンパクトにまとめることができる。また、図6(b)及び(c)の配線パターン30にはそれぞれ、正方形及び円形の中間パッド34が形成されている。また、図6(d)の配線パターン30には、チップ接続用電極31から外側の基板接続用電極32に向かってくさび状に延びる中間パッド34が形成されている。これらの図6(a)〜(d)に示す配線パターン30においてはそれぞれ、複数の配線パターン30におけるはんだ供給用の中間パッド34とチップ接続用電極31との距離が互いにほぼ等しくなるように構成され、各配線パターン30のチップ接続用電極31を確実にはんだメッキすることができるようになっている。
図7(a)及び(b)はそれぞれ、正方形のガラス板23において上記中間パッドを形成しない配線パターン30と、中間パッドを形成した配線パターン30との構成例を示す平面図である。なお、図7(b)の例では、円形の中間パッド34を形成しているが、図8に示すように四角形など、他の形状の中間パッド34を形成してもよい。
配線パターン30に設けた中間パッドは、検査パッドを兼ねることができる。例えば、VCSELベアチップ10の電極とガラス板23に形成された電極とを接合した後、それらを備えたVCSELモジュール1を基板に実装する前に、検査装置の検査プローブの先端を配線パターン30の中間パッドに接触させることにより、VCSELベアチップ10を検査することができる。特に、VCSELモジュール1を基板に実装した後は、VCSELベアチップ10の各電極及びガラス板23上の各電極が露出していないため、配線パターン30の中間パッドは検査パッドとしての利用価値が高い。この場合、配線パターン30の中間パッドを露出させるようにVCSELモジュール1を基板に実装し、そのVCSELモジュールの中間パッドに、検査装置の検査プローブの先端を接触させる。
配線パターン30の複数の線におけるそれぞれの電気的特性が同等になるように各線の幅、長さ、電極の形状を設定してもよい。この場合は、図示しないレーザー駆動制御部で複雑な駆動信号の制御回路や制御プログラムを採用することなく、VCSELベアチップ10の複数の発光部11それぞれを所定のタイミングで駆動する同期駆動を行うことができる。
配線パターン30における各リード部(配線部)33の長さが同等になるように構成する構成例としては、例えば、チップ接続用電極31から外側の基板接続用電極32に向かって扇状に延びるようにリード部(配線部)33を形成し、複数の基板接続用電極32を、ガラス板23のVCSELベアチップ10に対向する面の端部に円弧状に配置する。各配線パターン30における外側先端の基板接続用電極32の形状としては各種形状を採用することができる。例えば、前述の中間パッドで例示したような四角形、円形、くさび形状等の基板接続用電極32を形成してもよい。
なお、VCSELベアチップ10内における複数のチップ内配線13についても、各チップ内配線13の電気的特性が同等になるように形成してもよい。例えば、複数のチップ内配線13を、各チップ内配線の長さが同等になるようにVCSELベアチップ10の中央にある各発光部11からチップ周縁部の駆動電極12に向かって扇状に延びるように形成し、複数の駆動電極12を、VCSELベアチップの発光部11がある面の周縁部に円弧状に配置する。この場合は、各発光部の同期駆動をより精度よく行うことができる。
図9は、VCSELベアチップ10を有するVCSELモジュールを実装した電子回路基板90の断面図である。電子回路基板90には、VCSELベアチップ10を基板側に向ける姿勢でVCSELモジュールが装着されたときにVCSELベアチップ10を干渉させないで挿入可能な開口が形成されている。そして、VCSELモジュールを構成するガラス板23のVCSELベアチップ側表面の周縁部に形成されている基板接続用電極32は、その基板接続用電極32に予め固着された接合材料60を介して、電子回路基板90側の電極と接続される。また、VCSELベアチップ10の裏面にあるグランド電極14と、電子回路基板90の裏面にあるグランド電極91との間は、導電性の接着剤93で接続されている。この接続の際、導電性の接着剤93と、乾燥気体封止用の樹脂50とを接触させないように、空気などによる気体層80が形成されるようにする。
図10は、駆動回路部品としての駆動IC95をガラス板23の表面に取り付けたVCSELモジュールを実装した電子回路基板90の断面図である。このVCSELモジュールは、ガラス板23のVCSELベアチップ10が対向していないおもて面の、VCSELベアチップ10からのレーザー光が通過しない部分に、VCSELベアチップ10を駆動する駆動IC95が実装されている。駆動IC95の電極とガラス板23表面上の電極とははんだ等で接合され、ガラス板23上の電極と電子回路基板90との間の配線は、例えば、ガラス板23に予め形成した図示しない貫通孔を通すように形成される。このようにガラス板23上に駆動IC95を実装した場合は、駆動IC95との距離を短くすることができ、VCSELベアチップ10のレーザー発光の高速駆動処理が可能になる。なお、駆動IC95は、ガラス板23のおもて面ではなく、VCSELベアチップ10側の裏面の空きスペースに実装してもよい。
図11はVCSELモジュールを実装した電子回路基板90を組み込んだ光源装置としての光源装置の参考例を示す説明図である。この光源装置は、電子回路基板90に実装したVCSELベアチップ10を含むVCSELモジュールの上方に、光学系2が配置されている。光学系2は、VCSELベアチップ10からのレーザー光Lを照射対象物上に結像する集光レンズとしての結像レンズ201と、VCSELベアチップ10からのレーザー光Lの一部をほぼ直角方向に分割するビームスプリッタ202と、ビームスプリッタ202で分割されたレーザー光Lsを検知するエネルギーモニター用のレーザー光検知装置203とを備えている。レーザー光検知装置203の出力信号は、VCSELモジュールを実装した電子回路基板90側の駆動制御回路にフィードバックされる。
図12は実施形態に係る光源装置を示す説明図である。この光源装置では、VCSELベアチップ10を含むVCSELモジュール1を実装した電子回路基板90が、取り付けネジ301によって保持体としての基板保持部材3に固定されている。そして、この基板保持部材3の上面に対する光学系2のビームスプリッタ保持部2aの煽り角を調整することにより、VCSELベアチップ10から出射されビームスプリッタ202で分割されるレーザー光Lsの光軸を調整できるようになっている。光学系2におけるビームスプリッタ保持部2aの煽り角の調整は、煽り角調整ネジ303を回し、基板保持部材3の上面と光学系2の下面との間隙に配置された軸302を支点として光学系2のビームスプリッタ保持部2aを傾けることにより行うことができる。なお、図12の光源装置において、結像レンズ201は、ビームスプリッタ保持部2aとは別体の集光レンズたる結像レンズ保持部2bに設けられ、ビームスプリッタ保持部2aの光軸と結像レンズ保持部2bの光軸とを互いに独立に調整できるようになっている。
電子回路基板90は、その両面のうち、ガラス板23の周縁部と重ね合わせられる側の面を保持体たる基板保持部材3に突き当てている。これにより、VCSELモジュール1が基板保持部材3に対して位置合わせされている。保持体たる基板保持部材3における電子回路基板突き当て面が、電子回路基板90を介して光電変換モジュールたるVCSELモジュール1を保持するモジュール保持面となる。このモジュール保持面と、VCSELモジュール1内のVCSELベアチップ10との間には、電子回路基板90のモジュール搭載側の面と、光透過板たるガラス板23のベアチップ搭載側の面と、それら面の間に介在するはんだ等の導電性接合材からなる接合層60と、ガラス板23のベアチップ搭載面〜VCSELベアチップ10の間に存在する導電性接合材からなる接合層40とを介在させる。これらのうち、電子回路基板90のモジュール搭載側の面は、基板保持部材3のモジュール保持面に突き当てられることでモジュール保持面に対して平行な姿勢をとることになる。よって、基板保持部材3のモジュール保持面と、VCSELベアチップ10との平行度を低下させる要因としては、次に掲げるものが発生する。
(A’)電子回路基板90のモジュール搭載側の面と、ガラス板30のベアチップ搭載側の面との間に介在する接合層60の厚みのばらつき。
(B’)ガラス板30のベアチップ搭載側の面における微妙な歪み。
(C’)ガラス板23のベアチップ搭載側の面と、VCSELベアチップ10との間に介在する接合層40の厚みのばらつき。
(A’)電子回路基板90のモジュール搭載側の面と、ガラス板30のベアチップ搭載側の面との間に介在する接合層60の厚みのばらつき。
(B’)ガラス板30のベアチップ搭載側の面における微妙な歪み。
(C’)ガラス板23のベアチップ搭載側の面と、VCSELベアチップ10との間に介在する接合層40の厚みのばらつき。
図示のVCSELベアチップ10と、図30に示した従来装置におけるVCSELベアチップ10との大きさが互いに同じであれば、上記要因(A’)〜(C’)のうち、上記要因(B’)による上記平行度の低下量は、従来装置における上記要因(3)による上記平行度の低下量と同程度になる。また、実施形態に係る光源装置の上記要因(C’)による上記平行度の低下量は、従来装置における上記要因(4)による上記平行度の低下量と同程度になる。すると、実施形態に係る光源装置が上記平行度を上記要因(A’)によって低下させるのに対し、従来装置が上記平行度を上記要因(1)、要因(2)及び要因(5)によって低下させる点で、両者が相違する。実施形態に係る光源装置の上記要因(A’)における接合層40の厚みについては、従来装置の上記要因(1)におけるガラス板903の厚みと、上記要因(2)におけるパッケージ側板902の高さと、上記要因(5)における接着剤の厚みとの合計よりも、かなり小さな値にすることが可能である。すると、実施形態に係る光源装置の上記要因(A’)による上記平行度の低下量は、従来装置の上記要因(1)及び(2)による上記平行度の低下量よりもかなり小さなものとなる。
かかる構成においては、VCSELベアチップ10と、保持体たる基板保持部材3のモジュール保持面との平行度を従来よりも向上させることができる。そして、平行度の設計値からのずれ量を所定範囲内に収めることで、電子回路基板90を基板保持部材3に押し当てて位置決めするだけで、光軸のずれ量を所定範囲内に収めることが可能になる。これにより、電子回路基板90を交換しても、光軸のずれ量を所定範囲内に収めることが可能になるので、ユーザーによる光軸調整を不要にすることも可能である。
図13(a)乃至(e)はVCSELモジュールの製造工程の一例を示す説明図である。まず、BK7、D263、CG−1、合成石英又はソーダライムガラスからなるガラス基板20の両面全体に反射防止膜21をコーティングしてガラス板23を得る(図13(a)参照)。なお、反射防止膜21をコーティング済みのガラス板を用いる場合は、この反射防止膜コーティングの工程を省略することができる。
次に、ガラス板23の一方の面(下面)の4辺近傍の端部に、導電性材料である低抵抗金属材料(例えば、アルミニウム、又は、Cr若しくはTiをアンカー層とした銅)で、複数の配線パターン30をパターニングして形成する(図13(b)参照)。配線のベース層としてアルミ層を形成する場合は、例えば次のような蒸着(スパッタリング)装置及び条件で形成することができる。
(1)蒸着装置:
・メーカ名 :神港精機株式会社
・型 式 :SRV4311
・性 能 :3源マグネトロンスパッタ源(500W以上)、
基板冷却加熱回転機構(300°C常用以上)
(2)蒸着条件
・真空度:3.7×10−5Pa
・ターゲット:純アルミ
・スパッタ条件(表1参照)
・成膜厚み:経験からのアルミ成膜条件が0.66[μm/h]であり、90分の成膜処理で0.99[μm]≒1[μm]のアルミ層を形成した。
(1)蒸着装置:
・メーカ名 :神港精機株式会社
・型 式 :SRV4311
・性 能 :3源マグネトロンスパッタ源(500W以上)、
基板冷却加熱回転機構(300°C常用以上)
(2)蒸着条件
・真空度:3.7×10−5Pa
・ターゲット:純アルミ
・スパッタ条件(表1参照)
・成膜厚み:経験からのアルミ成膜条件が0.66[μm/h]であり、90分の成膜処理で0.99[μm]≒1[μm]のアルミ層を形成した。
また、配線パターン30のベース層としてアルミニウムからなるアルミ層を形成し、接合材料としてはんだを用いる場合、アルミとはんだとが接合しにくいので、図14に示すようにアルミ層30aの上に所定の厚さのニッケルメッキ層30b(例えば、厚さ:3μm)をまず形成し、更にその上に金メッキ層30c(例えば、厚さ:450nm)を形成するのが好ましい。接合材料としてのはんだ60のパターンは、金メッキ層30cの上に形成する。この金メッキ層がはんだの接合を助ける触媒のような働きをする。
なお、ニッケルメッキは次の(1)〜(8)の工程で行うことができる。ここで、亜鉛置換を2回行うのは、亜鉛の被膜を均一にして密着性を高めるためである。
(1)脱脂:メッキ対象の表面に付着した加工油や汚れなどを除去する。
(2)エッチング:表面を薄く溶かし自然酸化被膜などを除去する。
(3)デスマット:エッチングで表面に生じた不純物を除去する。
(4)第一亜鉛置換:アルミの表面に薄い亜鉛被膜を生成する。
(5)置換層剥離:亜鉛被膜を除去する。
(6)第二亜鉛置換:再度、アルミの表面に薄い亜鉛被膜を生成する。
(7)無電解Niメッキ:次亜リン酸による還元反応でニッケルをメッキする。
(8)乾燥:水分を除去する。
(1)脱脂:メッキ対象の表面に付着した加工油や汚れなどを除去する。
(2)エッチング:表面を薄く溶かし自然酸化被膜などを除去する。
(3)デスマット:エッチングで表面に生じた不純物を除去する。
(4)第一亜鉛置換:アルミの表面に薄い亜鉛被膜を生成する。
(5)置換層剥離:亜鉛被膜を除去する。
(6)第二亜鉛置換:再度、アルミの表面に薄い亜鉛被膜を生成する。
(7)無電解Niメッキ:次亜リン酸による還元反応でニッケルをメッキする。
(8)乾燥:水分を除去する。
次に、各配線パターン30の内側端部にチップ接続用電極31の表面に、接合材料として、接合用レーザー光を吸収して溶融可能な導電性材料である低抵抗金属材料(例えば、前述のはんだクリーム、モリブデン、亜鉛等)からなる接合層を、印刷、蒸着やメッキ等の方法によって形成する(図13(c)参照)。また、配線パターン30の外端部に形成された基板接続用電極32の表面に、その配線電極材料表面の酸化を防止するとともに基板への接続時のはんだ付け性を向上させるためプリフラックス(PF)をコートする(図13(c)参照)。プリフラックス(PF)をコートする代わりに、金メッキ層等を設けてもよい。例えば、前述の図14に示すように配線パターン30のベース層としてアルミ層30aを形成する場合は、そのアルミ層30aの表面に更にニッケル層30bと金層30cを設け、さらに金層30cの表面にはんだ60層でコーティングしてもよい。なお、図14に示しているVCSELベアチップ10側の駆動電極12は、下からCr層(例えば厚さ2nm)、Au/Zn層(例えば厚さ12nm)及びAu層(例えば厚さ450nm)の3層構造になっている。
VCSELベアチップ10とガラス板23との接合や、ガラス板23と基板の接合については、接合材としてメッキ処理によって形成したものを用いることで、接合部の厚みを所定範囲内に留めることが可能である。例えば、7[mm]角のガラス板23を用い、メッキ厚さを10[μm]としたとき、メッキの厚さのバラツキを0.1[μm]以下に留めることが可能である。本実施形態では、このような厚みの調整により、光軸のずれ量を0.5[°]以下に留めることができる。
次に、接合工程を実施する。この接合工程では、接合材料40を介してガラス板23上の配線パターン30のチップ接続用電極31にVCSELベアチップ10の駆動電極を密着させながら、ガラス板23のVCSELベアチップ10と対向する対向面とは反対側の表面からガラス板23を通過させて接合材料40に到達させるように、ガラス板23を透過可能な波長の加工用レーザー光(例えば、YAGレーザー光)Lpを照射する(図13(d)、図15参照)。加工用レーザー光Lpの照射時に、接合材料40を介したガラス板23の配線パターン30のチップ接続用電極31とVCSELベアチップ10の駆動電極との密着力を高めるように圧力を加えてもよい。そして、加工用レーザー光Lpの照射により接合材料40を溶融させ、ガラス板23上の配線パターン30のチップ接続用電極31とVCSELベアチップ10の駆動電極とを接合する(以下、レーザー接合という)。
次に、VCSELベアチップ10の光出力部が露出する面とガラス板23との隙間に密閉された密閉空間70が形成されるように、VCSELベアチップ10の端部とガラス板23の表面とを樹脂50で封止する(図13(e)参照)。この場合、上記樹脂50による封止の際に樹脂50がVCSELベアチップ10の発光部への流入を阻止する樹脂流入阻止部を、ガラス板23の対向面表面に設けてもよい。例えば、上記樹脂流入阻止部として、ガラス板23の表面(反射防止膜21の表面)の樹脂50に対する撥水性を高めた部分を設けたり、凸部又は凹部を設けたりする。
また、樹脂50で密閉された密閉空間70に乾燥窒素ガスなどの乾燥気体が封止されるように、樹脂50固定前に予め乾燥気体を密閉空間に送り込むようにしてもよい。例えば、接合材料40を介したVCSELベアチップ10の駆動電極とガラス板23のチップ接続用電極31とをレーザー接合により、ガラス板23とVCSELベアチップ10との隙間に密閉空間70が形成されるようにガラス板23の表面とVCSELベアチップ10の端部とを封止してもよい。より具体的には、図16(a)に示すようにガラス板23及び配線パターン30(チップ接続用電極31)を貫通する貫通孔55を形成しておき、その貫通孔55を通して、接合後に密閉空間になる空間71に乾燥窒素ガスなどの乾燥気体56を送り込む。そして、図16(b)に示すように空間71に乾燥気体56を満たした状態でレーザー接合を行うことにより、貫通孔55が接合材料40で封止されるとともに、レーザー接合で形成される密閉空間70には乾燥気体56が充填される。
図17(a)乃至(e)はVCSELモジュールにおける他の製造工程の例を示す説明図である。この例では、配線パターン30をアルミ層で形成する。ガラス基板20の表面に形成された反射防止膜21は、アルミ層を固着させ難く、その上に形成した配線パターン30は剥離し易くなってしまう。そこで、ガラス基板20の表面にアルミ層を直接固着させて配線パターン30を形成した後に反射防止膜21を形成している。まず、BK7、D263、CG−1、合成石英又はソーダライムガラスからなるガラス基板20の一方の面(下面)の4辺近傍の端部に、導電性材料であるアルミでアルミ層を形成し、これをフォトリソグラフィー法等によってパターニングする(図17(a)参照)。次に、パターン化されたアルミ層の上に、前述のようにしてニッケルメッキ層と金メッキ層を形成して配線パターン30を得る。かかる構成では、ガラス基板20の表面にアルミ層を良好に固着させるので、配線パターン30の材料として銅を用いる場合のようなTiやCrのアンカー層をガラス基板表面に設けておく必要がない。
このような配線パターン30を得たら、次に、ガラス基板20の表面が露出している部分に反射防止膜21を形成する(図17(b)参照)。図示の例では、ガラス基板20の上面(おもて面)の全面と、下面(うら面)の配線パターン30が形成されていない部分とに、反射防止膜21を形成している。なお、図示の例では、配線パターン30の表面に反射防止膜21を形成し難い金メッキ層があるため、ガラス基板20の下面(うら面)の全面に反射防止膜21を形成したとしても、配線表面から反射防止膜21を容易に除去でき、その結果、ガラス基板20の下面(うら面)の配線パターン30が形成されていない部分にのみ反射防止膜21が形成される。また、反射防止膜21はVCSELベアチップ10からのレーザー光が通過する面にのみ形成してもよい。
その後の図17(c)〜(e)に示すはんだ層(接合材料)の形成、レーザー接合等については、前述の図13(c)〜(e)の場合と同様に行うことができる。
図18(a)乃至(e)はVCSELモジュールの更なる他の製造工程の例を示す説明図である。この例では、銅箔やアルミ箔等の金属膜付きシート(例えば、前述の半導体用接着剤シート)35を用いて配線パターン30を形成している。まず、BK7、D263、CG−1、合成石英又はソーダライムガラスからなるガラス基板20における一方の面の全体に金属膜付き半導体用接着剤シート35を貼り付ける(図18(a)参照)。このとき、金属膜付き半導体用接着剤シート35の金属膜35a側を表面に露出させるように貼り付ける。
次に、ガラス板23における金属膜付き半導体用接着剤シート35の配線形成部分以外の部分に、上記金属膜を除去する配線パターニング用のエキシマレーザー(例えば波長248nm)やYAG3倍波レーザー(例えば波長355nm)等の紫外レーザーLp(UV)を照射する(図18(b)参照)。これにより、所定パターンの配線パターン30をガラス板23の表面に形成することができる。なお、図示の例では、配線パターニング用の紫外レーザーがガラス板23を通過するレーザー光であり、ガラス板23の金属膜付き半導体用接着剤シート35が貼り付けられた面とは反対側から、上記配線パターニング用の紫外レーザーを照射している。
ここで、ガラス板23の配線パターン30が形成される面とは反対側の表面のうち、配線パターン30に対向する領域には、予め所定パワーのエキシマレーザー(例えば波長248nm)等の紫外レーザー光を照射して表面を荒らすような防眩加工を施しておいてもよい。この場合は、ガラス板23の金属膜付き半導体用接着剤シート35が貼り付けられた面とは反対側から比較的大きな照射スポット配線パターニング用の紫外レーザーを照射したとしても、上記防眩加工により、配線を形成したい部分には上記レーザー光が到達しにくくなるので、ガラス板23の配線パターン30を簡易に且つ確実に形成できる。また、配線パターニング用の紫外レーザーがガラス板23を通過しない場合には、ガラス板23の金属膜付き半導体用接着剤シート35が貼り付けられた面から、上記配線パターニング用の紫外レーザーを照射する。
その後の図18(c)〜(e)に示すはんだ層(接合材料)の形成、レーザー接合等については、前述の図13(c)〜(e)の場合と同様に行うことができる。なお、金属膜付き半導体用接着剤シート35の代わりに、金属膜付きのポリイミド等の樹脂テープや、金属膜付きのフィラーレスで高透明タイプのフィルムを貼り付けてもよい。
図19はVCSELモジュールのレーザー接合に用いるレーザー加工装置の一構成例を示す説明図である。このレーザー加工装置は、波長1064[nm]のレーザー光を出射するYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)レーザー装置101、入射光学系102、ステップインデックス型の光ファイバ103、結像光学系104、ワークWを保持するワーク保持装置106が装着されたXYテーブル105、加工制御手段を構成する図示しないメインコントローラ等を備えている。上記ワーク保持装置105及びXYテーブルは、(VCSELベアチップ10とガラス板23を有するワークWに対するレーザー光照射ポイントとワークWとを相対移動させる相対移動手段として用いている。
上記YAGレーザー装置101は、適量のNd(ネオジウム)が添加されたYAGの棒状結晶体であるレーザーロッド及びこれの励起用のランプを内蔵するレーザーチャンバと、これから発せられる誘導放出光の光路に沿って所定の距離を隔てて対向配置されたフロントミラー及びリアミラーを備えている。また、リアミラーとレーザーチャンバとの間には、シャッタ及びQスイッチが取り付けられている。フロントミラーは、一部の光の透過が可能な反射率を有するミラーであり、レーザーチャンバの光路にその鏡面の中心を正対せしめて取り付けてある。リアミラーは、実質的な全反射が可能な鏡面を有しており、フロントミラーと対向するように取り付けてある。シャッタは、レーザーチャンバの光路を遮断するものである。Qスイッチは、フロントミラーとリアミラーとの間での共振器のQ値を瞬間的に高め、高出力のレーザーパルスを取り出すものである。
上記YAGレーザー装置101としては、例えば、最大出力40[W]、最大加工周波数50[kHz]、ビームサイズ3[mm]のものを用いることができる。加工条件によっては、このQスイッチを用いなくてもよい。また、上記YAGレーザー装置101の構成は一例であって、これに限られるものではない。他の構成としては、例えばLD励起を用いたものがある。
入射光学系102は、レーザービームエキスパンダ及び集光レンズを備えている。YAGレーザー装置101から出射されたビーム径3[mm]程度のレーザー光は、レーザービームエキスパンダによってそのビーム径が拡大された後、集光レンズにより、ステップインデックス型の光ファイバ103の光入射端(コア部端面)にビーム径0.8[mm]程度まで集光されて案内される。光ファイバ103の光出射端(コア部端面)から出射するレーザー光は、後述する結像光学系104を通ってそれぞれXYテーブル105上のワークWに対して照射される。
上記ステップインデックス型の光ファイバ103は、所定の直径(例えば0.8mm)を有する軸芯部のコアがその外周部のクラッド層よりも屈折率が大きく、そのコアとクラッド層との境界で屈折率がステップ上に変化しているものである。このステップインデックス型の光ファイバ103のコアにレーザー光を絞って入射すると、レーザー光の互いに異なる角度で入射した複数の光成分がコアとクラッド層との境界で多重に反射されながらコア内を伝送される。このようにレーザー光の複数の光成分が光ファイバ103のコア内で多重に反射されながら伝送されることにより、光ファイバ103の光出射端から出射したレーザー光の断面におけるエネルギー密度は均一になっている。すなわち、YAGレーザー装置101から出射したレーザー光が、図20(a)に示すガウシアンエネルギー分布のシングルモードのレーザー光や、図20(b)に示すマルチモードのレーザー光であっても、光ファイバ103を通過すると、図20(c)に示すようにエネルギー密度が均一になったレーザー光になる。
図21は、ワーク保持装置106の一構成を示す側面図である。このワーク保持装置106は、ワークWをワーク台110の中央のワークセット部111に保持し、加工中に位置がズレないようにする役割を果たすものである。ワーク台110のワークセット部111にセットされるワークWの位置は、XYθ手動ステージを用いた位置調整部112で微調整される。ワーク保持装置106全体を移動させるXYテーブル105は、XYテーブル本体と、XYテーブル本体を制御するXYテーブルコントローラとから主に構成されている。このXYテーブル本体の上に、上記ワーク保持装置106が取り付けられている。
また、上記ワークセット部111のワーク周辺の領域111aには、図22に示すようにレーザー接合時にワークWから発生するおそれがある有毒物質(例えば、GaAs系の化合物半導体を用いたベアチップの場合には砒素:As)を気体と一緒に吸引する複数の吸引口115が設けられている。この吸引口115から吸引された気体は、継ぎ手114から、図23に示す所定のフィルターを備えた吸引装置120へと導かれる。この吸引装置120は、ワークセット部111から吸引した気体を複数のフィルター121に通すことにより砒素等の有毒物質を除去する。フィルター装置120を通った気体は、集塵器125によって他のゴミなどが除去された後、排気ダクトへと導かれる。
また、上記ワークセット部111には、図24に示すバネなどを用いたワーク押圧機構が設けられている。このワーク押圧機構では、VCSELベアチップ10及びガラス板23からなるワークWがワークホルダー116に保持され、そのワークWの上側に位置するガラス板23の上面に接触するように、中間押圧部材119がフローティング状態でセットされる。この中間押圧部材119の複数の端部(2箇所又は3箇所以上)を、押圧部材117によりバネ118を介して押圧することにより、VCSELベアチップ10に過剰な応力を与えることなく、ガラス板23をVCSELベアチップ10に対して均一に押圧することができる。この状態でレーザー接合を行うことにより、VCSELベアチップ10のクラックを発生させることなく、ガラス板23のチップ接続用電極とVCSELベアチップ10の駆動電極との間の複数の接合箇所において接合材料(例えば、ハンダ)の厚さにばらつきがあっても、各接合箇所での電極同士の押圧力がほぼ等しくなり、均一なレーザー接合を行うことができる。
上記結像光学系104は、光ファイバ7の先端部を保持するファイバ保持部や複数のレンズで構成され、光ファイバ103を通過したレーザー光Lpを集光してワークW上に結像するものである。結像光学系66の倍率は例えば1/2に設定されるが、この倍率に限られるものではない。
上記メインコントローラは、本レーザー加工装置全体を制御するものであり、YAGレーザー装置101、XYテーブルコントローラ等が接続されている。
図25はレーザー接合に用いるQスイッチYAGレーザー光の繰り返し周波数(加工周波数)とピークエネルギー及びパルス幅との関係を示すグラフである。繰り返し周波数が低いほど1ショット当たりのエネルギーが大きく、繰り返し周波数が高いと1ショット当たりのエネルギーは小さくなる。そこで、レーザー接合時の接合材料の溶融やはんだの溶融を行う場合には、高い繰り返し周波数を用いる。一方、配線の一部の金属膜をとばして除去する場合には、低い繰り返し周波数を用いる。なお、図25におけるピークエネルギーは、レーザーパルス1ショット当たりのエネルギーをパルス幅で割ることにより求められる。
図26はレーザー接合に用いるQスイッチYAGレーザー光のランプ電流値と出力パワーとの関係を示すグラフである。YAGレーザー装置101から出射するレーザー出力は、図示のようにランプ電流値で変化し、例えば23W〜40Wの範囲で調整することができる。ここで、図26におけるレーザー出力は繰り返し周波数にレーザーパルス1ショット当たりのエネルギーをかけることによって求めることができる。
図27はレーザー接合に用いるレーザー光のビームサイズの説明図である。
VCSELベアチップ10の駆動電極12と同程度のビームサイズLB1(例えばφ30μm程度)を有するレーザー光を用いる場合は、パルス状のレーザー光が各レーザー接合箇所(駆動電極12)上に照射されるように、ワークWとレーザー光Lpとの間の相対的な移動速度とレーザー光の繰り返し周波数との同期させる。
また、VCSELベアチップ10の複数の駆動電極12をカバーするようなビームサイズLB2(例えばφ400μm程度)を有するレーザー光を用いてもよい。この場合は、比較的少ない回数のレーザー光のスキャンでVCSELベアチップ10全面にある複数の駆動電極12についてレーザー接合を確実に行うことができる。特に、本実施形態のようにエネルギー分布が均一になっている大きなビームサイズLB2のレーザー光を用いた場合は、図28に示すようにレーザー光の照射スポットSを一部重複させながらレーザー光を4回程度スキャンすることにより、VCSELベアチップ10全面にある複数の駆動電極12についてレーザー接合を確実に行うことができる。
VCSELベアチップ10の駆動電極12と同程度のビームサイズLB1(例えばφ30μm程度)を有するレーザー光を用いる場合は、パルス状のレーザー光が各レーザー接合箇所(駆動電極12)上に照射されるように、ワークWとレーザー光Lpとの間の相対的な移動速度とレーザー光の繰り返し周波数との同期させる。
また、VCSELベアチップ10の複数の駆動電極12をカバーするようなビームサイズLB2(例えばφ400μm程度)を有するレーザー光を用いてもよい。この場合は、比較的少ない回数のレーザー光のスキャンでVCSELベアチップ10全面にある複数の駆動電極12についてレーザー接合を確実に行うことができる。特に、本実施形態のようにエネルギー分布が均一になっている大きなビームサイズLB2のレーザー光を用いた場合は、図28に示すようにレーザー光の照射スポットSを一部重複させながらレーザー光を4回程度スキャンすることにより、VCSELベアチップ10全面にある複数の駆動電極12についてレーザー接合を確実に行うことができる。
図29は他の実施形態にかかるガラスウェーハを用いたVCSELモジュールの製造工程の説明図である。この製造方法では、上記ガラス板23のガラス基板としてのガラスウェーハ22に、複数のVCSELベアチップ10が形成された半導体ウェーハ110から分離した各VCSELベアチップ10を装着し、上記レーザー接合及び乾燥気体を充填した封止を行う。その後、ガラスウェーハ22を各VCSELベアチップ10の装着部分ごとに分離するよう切断する。これにより、VCSELベアチップ10をそれぞれ備えた多数のVCSELモジュールをまとめて製造することができる。上記ガラスウェーハ22の切断方法としては、(1)円盤刃を高速回転させてカッティングするダイシング方法、(2)回転しないダイヤモンド刃で引きながら傷を入れるウェハスクライブ後、ブレーキングで割る方法、(3)エキシマレーザー等の紫外レーザーでカッティングする方法などがある。上記レーザーを用いてカッティングする方法では、レーザー光源として、ガラス基板の材料であるガラスウェーハ22が良く吸収する波長のレーザー光を出力できるレーザーを用いる。例えば、ガラスの材料がD263の場合は、そのD263が良く吸収する波長248nmのレーザー光を出力できるエキシマレーザーを用いる。この場合の加工条件としては、加工周波数:100[Hz]、出力:350[mJ]、照射回数:700ショット、加工スポット:0.5×1[mm]が好適である。この加工条件でレーザー光を照射することにより、切断箇所を上記長方形(0.5×1mm)で貫通させ、井桁状に加工していく。なお、貫通加工ではなくハーフ加工を行い、その後、ブレーキングで割ってもよい。また、実装工程においてマウンターで割りながら基板に実装するようにしてもよい。また、上記エキシマレーザーの代わりに、非線形光学結晶を組み合わせたYAGレーザーの4倍波(波長:255nm)のレーザー光を用いてもよい。特に、非線形光学結晶とYAGレーザーとを組み合わせたレーザー装置の場合には、次の(1)乃至(3)のような1台で3役となり、経済的である。
(1)YAG(基本波:1064nm):レーザー接合
(2)YAG(2倍波:532nm,3倍波:355nm):レーザーによる配線パターニング
(3)YAG(4倍波:255nm):レーザーダイシング
(1)YAG(基本波:1064nm):レーザー接合
(2)YAG(2倍波:532nm,3倍波:355nm):レーザーによる配線パターニング
(3)YAG(4倍波:255nm):レーザーダイシング
1:VCSELモジュール(光電変換モジュール)
3:基板保持部材(保持体)
10:VCSELベアチップ(光電変換ベアチップ)
11:発光部
12:駆動電極(電極)
23:ガラス板(光透過板)
30:配線パターン
40:接合層(導電性接合材)
60:接合層(導電性接合材)
90:電子回路基板
90a:開口
201:結像レンズ(集光レンズ)
3:基板保持部材(保持体)
10:VCSELベアチップ(光電変換ベアチップ)
11:発光部
12:駆動電極(電極)
23:ガラス板(光透過板)
30:配線パターン
40:接合層(導電性接合材)
60:接合層(導電性接合材)
90:電子回路基板
90a:開口
201:結像レンズ(集光レンズ)
Claims (3)
- 電気信号を光に変換して発光する発光部、又は受光した光を電気信号に変換する受光部を半導体基板の表面上に有する光電変換ベアチップと、該発光部から出射された光を自らに対して厚み方向に透過させるか、あるいは自らを厚み方向に透過した光を該受光部に入射させるかするように、該光電変換ベアチップに対向配設された光透過板とを有する光電変換モジュールと、該光電変換モジュール、及び該光電変換モジュールに電気接続される電子部品が実装された電子回路基板と、該電子回路基板を保持する保持体とを備える光電変換装置において、
上記光透過板の両面のうち、上記光電変換ベアチップに対向する側の面に配線パターンを形成し、該配線パターンと該光電変換ベアチップの電極とを導電性接合材で接合して上記光電変換モジュールを形成し、該光電変換モジュールの該光電変換ベアチップを受け入れるための開口又は凹部を上記電子回路基板に形成し、該光電変換ベアチップを該電子回路基板の該開口又は凹部内に受け入れさせつつ上記光透過板の周縁部を該電子回路基板における該開口又は凹部の周囲箇所に重ね合わせ、その重ね合わせの領域における該電子回路基板の配線パターンと該光透過板の配線パターンとを導電性接合材で接合し、且つ、該電子回路基板の両面のうち、該光透過板の周縁部と重ね合わせられる側の面を上記保持体に突き当てることで、該VCSELモジュールを該保持体に対して位置合わせしたことを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1の光電変換装置であって、
上記光電変換モジュールが、上記発光部を有する発光モジュールであることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1の光電変換装置であって、
上記光電変換モジュールが、上記受光部を有する受光モジュールであることを特徴とする光電変換装置。
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